Için Geçiş Odası ile üç Hedefli Manyetron Sökümü Kovası Metal İnce Filmler

• Satış Sonrası Hizmet: 12 ay
• Garanti: 12 ay
• Tip: Kaplama üretim Hattı
• Kaplama: Vakumlu kaplama
• Substrat: Çelik
• Sertifika: CE
• Hayır. Modeli.: TN-MSH325G-III-DCDCRF-SS
• Koşulunu: Yeni
• soğutma modu: su soğutmalı
• isıtma sıcaklığı: maks. 500 ºc
• dönme hızı: 1 dev/dak ayarlanabilir
• alt tabaka boyutu: çap 150 mm
• vakum odası: paslanmaz çelik
• Magnetron Sputtering Target Head: 3 Magnetron Sputtering Heads
• örnek aşama boyutu: Maximum 4" Substrate Can Be Placed
• dönme hızı: 1-20 Rpm (Adjustable)
• en yüksek ısıtma sıcaklığı: 500 fº
• sıcaklık kontrolü doğruluğu: +/- 1.0 °c
• gaz akışı kontrol cihazı: 2 Mass Flow Meters Installed Inside The Instrument
• vakum pompası: a Set of Molecular Pump System, Using One-Button O
• Taşıma Paketi: Fumigated Wooden Box
• Ticari Marka: TN
• Menşei: Çin
• HS Kodu: 8486209000
• Üretim Kapasitesi: 200/Month

Ürün Açıklaması

Geçiş Odası ile üç Hedefli Manyetron Dallandırıcı Kovası
Metal İnce Filmler için

Ürün Açıklaması

Bu ekipman   , metal ince filmlerin hazırlanması için kullanılabilen üç hedef manyetron sputtering coater cihazıdır. Elektronik, optik ve özel seramik hazırlık alanlarında uygulamalar bulunmaktadır. Ayrıca laboratuvar SEM numune hazırlığı için de kullanılabilir.
Üç  hedef manyetron  sallama Tokmağı üç manyetron hedefi ve çok katmanlı iletken metal filmleri kaplamak için kullanılabilen iki DC güç kaynağı setiyle donatılmıştır.  Aynı zamanda, ekipmanın iki parçası vardır: Ana oda ve geçiş odası. Geçiş odasında manyetik itme çubuğu bulunur ve iki bölme arasına vakum geçit valfi takılır;  kullanıcı ana odada dağıtım işi yaparken numuneleri geçiş odasına yükleyebilir ve vakum ön pompası gerçekleştirebilir. Ana odacıktaki sputlama tamamlandıktan sonra numune, manyetik itme çubuğu aracılığıyla ana odanın numune aşamasına itilebilir.  Bu tür bir tasarım, ana haznedeki vakum pompalama sürelerini kısaltabilir ve bu da hem daha iyi bir yerel vakum sağlar hem de kaplamanın kalitesini etkin bir şekilde artırır.

Ürün Parametreleri

Çalışma gerilimi		VAC 220, 60 Hz
Püskürtme vakum Odası		Boyut:~φ325xH510mm Malzeme: 304 paslanmaz çelik İç duvar işleme: Elektrolitik polisaj Sızdırmazlık yöntemi: Florin kauçuk conta Görünüm Penceresi (pencere): ~4'' (100 mm), obtüratör ile
Numune tutucu		Orta alt ayar numune tutucu, bir kapaklı Numune tutucu: Dia. 150 mm Dönüş devri: 0 ~ 20 dev/dak ayarlanabilir Isıtma sıcaklığı: RT~500oC
Manyetron Püskürtme tabancası		Miktar: 3 set Ayarlanabilir açı - 45° ~ 45° Sputtering orientation (Sputtering yönü) aşağı Hedef boyut: Çap 2'', kalınlık maks. 3 mm
Kuvars Kristal Monitör		Kanal numaraları:tek kanallı Doğruluk: 0,1 Ã Ölçüm hızı: 100 ms-1 S ayarlanabilir Ölçüm aralığı: 500 (alüminyum referans olarak) Standart sensör kuvars kristal: 6 MHz
Vakum Sistemi	Destek pompası	Çift aşamalı döner kanatlı pompa Pompalama hızı: 1,1 L/sn
	Moleküler pompa	Pompalama hızı: 600 L/sn Nominal dönme hızı: 27.000 dev/dak Başlangıç süresi: < 5 dak Soğutma yöntemi: Su soğutma   Vakum derecesi: 5 * 10^Pa
	Kompozit vakum Göstergesi	Direnç göstergesi + iyonizasyon göstergesi Ölçüm aralığı: 10^Pa~105 Pa
DC Güç Kaynağı		Miktar: 2 set Çıkış gücü: 0 ~ 500 W Çıkış gerilimi: 0 ~ 600 V Maksimum çıkış akımı: 1A Başlangıç saati: 1 ~ 10 sn
RF güç kaynağı		Miktar: 1 set Çıkış gücü: 0 ~ 500 W RF frekansı: 13.56 MHz Eşleştirme yöntemi:otomatik eşleşme Yansıyan güç: <=100W Güç kararlılığı: ±%0.1
Kütle Akış Denetleyicisi		AR gaz için tek kanallı MFC Ölçüm aralığı: 0 ~ 200 sccm
Su soğutucu		Akış hızı: 10 L/dak Güç: 0,1 kW Soğutma gücü: 50 W/ºC Depo kapasitesi: 9 L
Kontrol		PLC otomatik kontrol
Geçiş odası		Oda boyutu maks 4 inç plakalar. Bir kompakt moleküler pompa grubu ile donatılmıştır Destek pompası: VRD-4, pompalama hızı: 1,1 L/sn Moleküler pompa modeli: TG60F Moleküler pompanın pompalama hızı: 60 L/sn

 

Ayrıntılı fotoğraflar

 

SSS

S. bir üretici veya ticari şirket misiniz?

A. Profesyonel laboratuvar cihazı üreticileriz, kendi tasarım ekibimize ve fabrikamız var, olgun teknik deneyime sahibiz ve ürünlerin kalitesini ve optimum fiyatı garanti edebiliriz.

S. şirketinizin ürün satış sonrası servis sistemi nasıl?

A.  Ürün garanti süresi 12 aydır, ömür boyu bakım sağlayabiliriz. Teknik sorunları çözmek için 24 saat içinde size yanıt verebilecek profesyonel satış öncesi ve satış sonrası departmanlarımız var.

S. Teslimat zamanınız ne kadar? Cihazı özelleştirmek istersem ne kadar sürer?

A. 1. Mallar stokta ise 5-10 gündür. 2.Müşterilerimiz için özelleştirilmiş hizmetler sağlayabiliriz. Özel cihazın teknik özelliklerine bağlı olarak genellikle 30-60 gün sürer.

S. Ülkemizin güç kaynağı ve fişi farklıdır. Nasıl çözüyorsunuz?

A. farklı ülkelerin elektrik fişlerine göre yerel gereksinimlerinize uygun bir transformatör ve fiş tedarik edebiliriz.

S. nasıl ödeme yapılır?

A.T/T, L/C, D/P vb... Çin'de yapılan Ticaret Garantisini kullanmanız önerilir.

S. malların paketi nasıl? Teslimat yöntemleri?

A. 1. Standart ihracat fumigation işareti ahşap kutu ambalaj 2. Müşteri gereksinimlerine göre hızlı hava, deniz taşımacılığı, en uygun yolu bulun.

Daha fazla soru için lütfen bizimle iletişime geçin.

 Dünyayı daha iyi hale getirme çabalarınız için teşekkür ederiz!
Döner koltuğumuzla ilgili sorularınız için lütfen bizimle iletişime geçin.