After-sales Service: | on-Line Service |
---|---|
Warranty: | One Year |
Type: | Magnetron Sputtering |
Coating: | Vacuum Coating |
Certification: | CE |
Condition: | New |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
DC RF Güç kaynağına sahip Tripe Hedef Manyetron Çöküntü Kovası Ve Sapma fonksiyonu
MANYETRON HAVALANDIRMA: GENEL BAKIŞ
Sputtering, enerji iyonlarının hedefe doğru hızlandırılmasında plazma tabanlı bir depozisyon işlemidir. İyonlar hedefe çarpır ve yüzeyden atomlar çıkarılır (veya parçalanır). Bu atomlar alt tabakaya doğru hareket eder ve büyüyen filme dahil olur.
Manyetron sputtering kaplama ekipmanı , şirketimiz tarafından geliştirilen özel bir laboratuvar kaplama cihazıdır. Ekipman DC güç kaynağı ve RF güç kaynağı ile donatılabilir. Güç 500W ile 1000W arasında değişir. Tek veya çok katmanlı ferroelektrik ince filmler, iletken filmler, alaşımlı filmler, yarı iletken filmler, seramik filmler, dielektrik filmler, optik filmler vb.
Geleneksel plazma sputtering ile karşılaştırıldığında, manyetron sputtering yüksek enerji, yüksek hız, yüksek depozisyon hızı ve düşük numune sıcaklığı artışının avantajlarına sahiptir. Magnetron hedefi su soğutmalı ara katmanla donatılmıştır. Su soğutucu, ısıyı etkili bir şekilde alabilir ve hedef yüzeyde ısı birikmesini önleyebilir, böylece manyetron kaplama uzun süre boyunca düzgün çalışabilir.
Manyetron sputtering Coater'ın özellikleri:
Ürün Adı | Üç Hedefli Manyetron Dallandırıcı Tokmağı | |
Örnek aşaması | Boyut | Çap 150 mm |
Isıtma sıcaklığı | Maks. 500 ºC | |
Sıcaklık hassasiyeti | ±1 ºC | |
Dönüş hızı | 1 dev/dak ayarlanabilir | |
Manyetron Sputtering Hedefi | Miktar | 2 inç × 3 (1 inç, 2 inç isteğe bağlı) |
Soğutma modu | Su soğutmalı | |
Su soğutucu | Akış hızı 10 L/dak olan devridaim yapan su soğutucu | |
Vakum odası | Oda boyutu | Çap 300 * 300 mm |
Hazne malzemesi | Paslanmaz çelik | |
Saat penceresi | Çap 100 mm | |
Açılma modu | Üst açıklık | |
Kütle Akış Ölçer | 2 kanal; 100SCCM; 100SCCM ölçüm aralığı (müşteri ihtiyaçlarına göre özelleştirilebilir) | |
Vakum sistemi | Model | CY-GZK103-A |
Moleküler pompa | 600 L/sn | |
Destek pompası | 1,1 L/sn | |
Üstün vakum | 1,0E-5Pa | |
Pompalama arayüzü | CF160 | |
Egzoz arabirimi | KF40 | |
Vakum ölçümü | Bileşik vakum göstergesi | |
Güç kaynağı | AC; 220V 50 Hz | |
Pompalama hızı | 20 dakikada 1,0E-3Pa'ya kadar vakum | |
Güç yapılandırması | Miktar | DC güç kaynağı x2 RF güç kaynağı x1 |
Maks. Çıkış gücü | DC 500 W, RF 300 W | |
Diğer parametreler | Besleme gerilimi | AC220V Hz |
Toplam güç | 4 KW | |
Genel boyut | 600 mm × 650 mm × 280 mm | |
Toplam Ağırlık | Yaklaşık 350 kg |
1. 1 hedef, 2 hedef, 3 hedef, 4 hedef vb. içeren manyetron dalama koğulları var. Hedef, odanın üst veya alt kısmında tasarlanabilir.
2.0-1000W DC güç veya RF güç hedefi bulunmaktadır. Sapma işlevi isteğe bağlıdır.
3.Hedef boyut: 1 inç, 2 inç, 3 inç, 4 inç vb.
4.güçlü manyetik hedef ve kalıcı manyetik hedef isteğe bağlıdır.
5. Buharlaşmayla manyetron sputtering kovası, E-ışını mevcuttur.
6.Özel servis her zaman kullanılabilir!
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd., tasarım, araştırma ve geliştirme, üretim ve satışları bir araya getiren kapsamlı bir şirkettir.
Şirketimizin ana ürünleri: Döner koy, termal buharlaşma kovası, manyetron sputter kovası, plazma sputter kovası, E-Beam buharlaşma kovası, PLD darbeli lazer kaplama makinesi, plazma temizleyici, CVD sistemi, PECVD sistemi, elmas tel kesme makinesi, eriyen fırın/Ocak, ark eritme fırını vb.
Ürünlerimiz, bilim alanında yaygın olarak kullanılmaktadır. Yurt içi üniversiteler, laboratuvarlar ve yeni malzeme şirketleriyle kapsamlı bir işbirliği içiyoruz. Ülke, ABD, İngiltere, Almanya, Rusya, İsviçre dahil 20'den fazla ülke ve bölgeye başarıyla ihraç edildi. Kanada, Brezilya vb. yerel bayilerle uzun vadeli işbirliği ilişkileri kurmuştur.
Malzeme araştırması gerçekleştiriyorsanız lütfen bizimle iletişime geçin; size araştırma denemelerinizi daha sorunsuz hale getirmek için özelleştirilmiş hizmetler sunacağız!
Manyetron sallayan koğulu deniz yoluyla, hava yoluyla, Express ile karaya sevk edebiliriz. Ayrıca paketi ve gönderiyi ihtiyaçlarınıza göre ayarlayabiliriz.
S. Üretici veya ticari şirket misiniz?
A. Profesyonel laboratuvar cihazı üreticiyiz. Profesyonel AR-GE ekibimiz ve atölyemiz var ve bu da yeterli ve satış sonrası hizmeti vaat edebilir.
S. garantiniz nasıl?
A. 12 aylık garanti süresi ve ömür boyu bakım olanağı sağlar. 24 saat çevrimiçi hizmet sağlıyoruz.
S. Teslimat zamanınız ne kadar? Cihazı özelleştirmek istersem ne kadar sürer?
A. 5-10 gün -- mağazada. Özel ürünler -- gereksinimlerinize bağlı olarak genellikle 30-60 gün sürer.
Q.Güç kaynağı ve fiş?
A. Yerel gerilim ve fiş standartlarınıza uygun ürünler sağlayabiliriz.
S. nasıl ödeme yapılır?
A. T T, L/C, D/P VB.
S. malların paketi nasıl? Teslimat yöntemleri?
A. Standart ihracat fumigation işareti ahşap kutu ambalaj veya sizin gereksinimleriniz doğrultusunda.
MANYETRON, İŞİNİZE UYGUN SÜREÇ MI?
Lütfen iletişime geçin ve projeniz üzerinde işbirliği yapabiliriz.
Hedeflerinize ulaşmanıza nasıl yardımcı olabiliriz? Mühendislik ekibimiz hangi teknik engelleri aşmanıza yardımcı olabilir? Bizimle iletişime geçmek için lütfen "İletişim kurun" düğmesine basın, araştırmanızı duymaktan ve size yardımcı olmaktan mutluluk duyarız.
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler