After-sales Service: | on-Line Service |
---|---|
Warranty: | One Year |
Application: | Industry, School, Lab |
Customized: | Customized |
Certification: | CE |
Structure: | Portable |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Sürekli toz besleme Sistemli Laboratuvar üç Bölgeli döner CVD Fırını
CVD tüp fırının özellikleri
İki ısıtma bölgesi borusu | Ürün modeli | TN-PE-HPCVD-50R-1100-Q | |
Fırın borusu malzemesi | Yüksek saflıkta kuvars | ||
Tüp Çapı | 50 mm | ||
Fırın borusu uzunluğu | 1200 mm | ||
Fırın odası uzunluğu | 440 mm | ||
Isıtma bölgesi uzunluğu | 200 mm + 200 mm | ||
Çalışma sıcaklığı | 0 ~ 1100 ºC | ||
Sıcaklık kontrolü doğruluğu | ±1 ºC | ||
Sıcaklık kontrol modu | 30 veya 50 segmentli program sıcaklık kontrolü | ||
Ekran modu | HD tam renkli LCD dokunmatik ekran | ||
Sızdırmazlık yöntemi | 304 paslanmaz çelik vakum flanşı | ||
Güç kaynağı | AC: 220V 50/60Hz 2,5kw | ||
RF çıkış sistemi | Güç aralığı | 0 ~ 500 W ayarlanabilir | |
çalışma frekansı | 13,56 MHz + %0.005 | ||
Çalışma modu | Sürekli çıkış | ||
Eşleşen empedans modu | Bu, eşleştirilebilir ve ısıtma, fırın borusu boyunca eşit şekilde dağıtılır | ||
Güç kararlılığı | ≤ 2 W | ||
Normal çalışma yansıyan güç | ≤ 3 W | ||
Yansıtılan gücü güçlendirin | ≤70 W | ||
Harmonik bileşen | ≤ -50 dBc | ||
Genel Verimlilik | ≥ %70 | ||
Güç Faktörü | ≥ %90 | ||
Besleme gerilimi/frekansı | Tek fazlı AC (187 V ~ 153 V) frekans 50/60 Hz | ||
Kontrol modu | Dahili kontrol/PLC analog miktar/RS232/485 iletişim | ||
Güç koruma ayarları | DC aşırı akım koruması, aşırı sıcaklık koruması, yansıyan güç koruması | ||
Soğutma yöntemi | Zorlamalı hava soğutma | ||
Ateşleme bölgesi | AR altında, radyo frekansı güç kaynağı ve bobin fırın tüpünü doldurmak için ışımaya yardımcı olur | ||
Buharlaşma teknesi | Çalışma sıcaklığı | 1300 ºC | |
Buharlaşma kaynağı | Tungsten tel sepet, isteğe bağlı konik alüminyum çarmıha gerilebilir | ||
Termokupl | S tipi termokupl | ||
Çalışma akımı | ≤ 30 A | ||
Maks . Güç | 500 W | ||
Gaz dağıtım sistemi | Akışölçer | Dört kanallı kütle akış ölçer | |
Akış aralığı | MFC1 aralığı: 0 ~ 200 sccm MFC2 aralığı: 0 ~ 200 sccm MFC3 aralığı: 0 ~ 500 sccm MFC4 aralığı: 0 ~ 500 sccm H2, CH4, N2, AR gazlarına karşılık gelir. |
||
Ölçüm doğruluğu | ±%1.5 F.S | ||
Tekrarlanabilirlik | ±%0.2 FS | ||
Doğrusal doğruluk | ±%1 F.S. | ||
Yanıt süresi | ≤4 sn | ||
Çalışma basıncı | -0,15 Mpa~0,15 Mpa | ||
Akış kontrolü | LCD dokunmatik ekran kontrolü, dijital ekran, her kanal gazı, ayrı ayrı kontrol için iğne valf içerir. | ||
Giriş Arabirimi | 1/4NPS veya 6 mm dış çap ile bağlanabilir paslanmaz çelik boru | ||
Çıkış Arabirimi | 1/4NPS veya 6 mm dış çap ile bağlanabilir paslanmaz çelik boru | ||
Bağlantı yöntemi | Çift yüksfer konektörü | ||
Çalışma sıcaklığı | 5 ~ 45 ºC | ||
Gaz galası | Gaz prömiyeri ile donatılmış | ||
Egzoz sistemi | Ürün modeli | TN-GZK103-A | |
Moleküler pompa | Turbo moleküler pompa | ||
Destek pompası | İki aşamalı döner kanatlı pompa | ||
Pompalama hızı | Moleküler pompa: 600L/S | Kapsamlı pompalama performansı: 30 dakikalık vakum 5×10E-3Pa'ya ulaşabilir | |
Döner kanatlı pompa: 1,1 L/S | |||
Üstün vakum | 5 × 10E - 4 Pa | ||
Pompalama portu | KF40 | ||
Egzoz arabirimi | KF16 | ||
Vakum ölçümü | Bileşik vakum göstergesi |
1.Gaz besleme sistemi + vakum sistemi + tüp fırını + plazma jeneratör içeren CVD/PECVD MAKINEMIZ var.
2.Tüp fırını (sıcaklık): 1200C, 1400C, 1600C, özelleştirilmiş sıcaklık mevcuttur.
3. Tüp fırını (ısıtma bölgesi): Tek bölge, çift bölge, üç bölge, özelleştirilmiş Isıtma bölgesi sayısı kullanılabilir.
4.Tüp Malzemesi: Kuvars, korindon, alaşım ve diğer tüp malzemeleri özelleştirilebilir.
5.farklı çap ve uzunluğa sahip tüp özelleştirilebilir.
6.Plazma jeneratör: 100W, 150W, 300W, 500W, 1000W, plazma jeneratörünün diğer gücü özelleştirilebilir.
7.Debiölçer: 1~3 veya çok kanallı akış ölçer, işleğinize bağlı olarak isteğe bağlıdır.
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd., tasarım, araştırma ve geliştirme, üretim ve satışları bir araya getiren kapsamlı bir şirkettir.
Şirketimizin ana ürünleri: Döner koy, termal buharlaşma kovası, manyetron sputter kovası, plazma sputter kovası, E-Beam buharlaşma kovası, PLD darbeli lazer kaplama makinesi, plazma temizleyici, CVD sistemi, PECVD sistemi, elmas tel kesme makinesi, eriyen fırın/Ocak, ark eritme fırını vb.
Ürünlerimiz, bilim alanında yaygın olarak kullanılmaktadır. Yurt içi üniversiteler, laboratuvarlar ve yeni malzeme şirketleriyle kapsamlı bir işbirliği içiyoruz. Ülke, ABD, İngiltere, Almanya, Rusya, İsviçre dahil 20'den fazla ülke ve bölgeye başarıyla ihraç edildi. Kanada, Brezilya vb. yerel bayilerle uzun vadeli işbirliği ilişkileri kurmuştur.
Malzeme araştırması gerçekleştiriyorsanız lütfen bizimle iletişime geçin; size araştırma denemelerinizi daha sorunsuz hale getirmek için özelleştirilmiş hizmetler sunacağız!
CVD, PECVD makinesini deniz yoluyla, hava yoluyla, kara yoluyla ve Express ile de gönderimi ihtiyaçlarınıza göre düzenleyebiliriz.
S. Üretici veya ticari şirket misiniz?
A. Profesyonel laboratuvar cihazı üreticiyiz. Profesyonel AR-GE ekibimiz ve atölyemiz var ve bu da yeterli ve satış sonrası hizmeti vaat edebilir.
S. garantiniz nasıl?
A. 12 aylık garanti süresi ve ömür boyu bakım olanağı sağlar. 24 saat çevrimiçi hizmet sağlıyoruz.
S. Teslimat zamanınız ne kadar? Cihazı özelleştirmek istersem ne kadar sürer?
A. 5-10 gün -- mağazada. Özel ürünler -- gereksinimlerinize bağlı olarak genellikle 30-60 gün sürer.
Q.Güç kaynağı ve fiş?
A. Yerel gerilim ve fiş standartlarınıza uygun ürünler sağlayabiliriz.
S. nasıl ödeme yapılır?
A. T T, L/C, D/P VB.
S. malların paketi nasıl? Teslimat yöntemleri?
A. Standart ihracat fumigation işareti ahşap kutu ambalaj veya sizin gereksinimleriniz doğrultusunda.
PROJENIZI TARTIŞALIM MI?
Lütfen iletişime geçin ve ihtiyacınız olan yanıtları ve çözümleri almak için işbirliği yapabiliriz.
Hedeflerinize ulaşmanıza nasıl yardımcı olabiliriz? Mühendislik ekibimiz hangi teknik engelleri aşmanıza yardımcı olabilir? Bizimle iletişime geçmek için lütfen "İletişim kurun" düğmesine basın, araştırmanızı duymaktan ve size yardımcı olmaktan mutluluk duyarız.
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler