Lityum Pil İletken Katman için üç Bölgeli Otomatik döner CVD Fırını

• After-sales Service: on-Line Service
• Warranty: One Year
• Application: Industry, School, Lab
• Customized: Customized
• Certification: CE
• Structure: Portable
• Hayır. Modeli.: TN-PECVD-R
• Material: Stainless Steel
• Type: Tubular Furnace
• ürün adı: Pecvd System
• tüp malzemesi: yüksek saflıkta kuvars
• sıcaklık: 1200 c
• isıtma bölgesi: 200mm*1
• fırın borusu boyutu: 50 * 450 mm
• rf gücü: 150 w
• rf frekansı: 13,56 mhz
• Taşıma Paketi: Fumigated Wooden Box
• Ticari Marka: TN
• Menşei: China
• HS Kodu: 8401200000
• Üretim Kapasitesi: 20 Sets Per Month

Ürün Açıklaması

Ürün Açıklaması

Lityum Pil İletken Katman için üç Bölgeli Otomatik döner CVD Fırını

Vakum otomatik besleyicili tek ısıtma bölgeli döner PECVD ve fırın tüpünün ucunda ayrılmış KF40 arabirim alıcı depoya bağlanabilir. Besleyici vida beslemeyi benimser, toz fırın borusuna nominal bir hızda beslenebilir ve besleme hızı döner hız ayarlanarak değiştirilebilir. Sürekli kaplama ve toz malzemelerin, atmosfer koruma ortamı altında PECVD yöntemiyle değiştirilmesini sağlar. Alıcı depo, işlenmiş tozu atmosfer koruma ortamı altında toplayabilir.

Cihaz 13,56 MHz'de 100W RF gücüyle donatılmıştır. Vakum içinde plazma üretebilir. Yüksek enerjili plazma numune yüzeyini etkinleştirebilir, reaksiyon etkisini etkili bir şekilde artırabilir ve reaksiyon hızını artırabilir. Bu yardımcı yöntem, grafik hazırlama ve parçacık kaplama gibi bilimsel deneylerde yaygın olarak kullanılır.

Bu ekipman özellikle tanecikli numune deneyleri için uygundur.  Mekanik iletim yoluyla, ayarlanabilir dönüş hızıyla çalışma tüpünün sürekli dönüşünü 360° kontrol edebilir, böylece tüpteki malzemeler sürekli olarak karıştırılır ve karışır, gaz ve plazmayla tam olarak temas eder, böylece numunenin reaksiyonu daha homojen ve kararlı olur.

Ürün Parametreleri

PECVD sisteminin özellikleri
 

RF güç kaynağı	Çıkış Gücü	150 W
	Çıkış doğruluğu	±%1
	RF frekansı	13,56 MHz
	RF kararlılığı	±%0.005
	Soğutma yöntemi	Hava soğutmalı
1200 ºC Tek ısıtma bölgeli tüp fırını	Besleme gerilimi	AC220V Hz
	Maksimum güç	2 KW
	Isıtma  bölgesi	Tek ısıtma bölgesi 200 mm
	Çalışma sıcaklığı	Maksimum 1200 ºC, sürekli çalışma sıcaklığı ≤ 1100 ºC olmalıdır
	Sıcaklık  hassasiyeti	±1 ºC
	Sıcaklık kontrolü yöntemi	AI-PID 30 aşamalı işlem eğrisi, birden fazla Aşırı ısınma ve termokapıl arıza koruması ile üç sıcaklık bölgesinden bağımsız kontrol
	Fırın borusu malzemesi	Yüksek saflıkta kuvars
	Fırın borusu boyutu	Çap 50 x 800 mm
	Sızdırmazlık yöntemi	Vakum paslanmaz çelik flanş, KF16 flanş
	Ayarlanabilir hız	0 dev/dak
	eğim	0 - 15°
	Vakum pompası	Döner kanatlı mekanik pompa
	Üstün vakum	1,0E-1Pa
	Besleme yöntemi	Vakum hunisi ve vida besleme

 

Ayrıntılı fotoğraflar

1.Gaz besleme sistemi + vakum sistemi + tüp fırını + plazma jeneratör içeren CVD/PECVD MAKINEMIZ var.

2.Tüp fırını (sıcaklık): 1200C, 1400C, 1600C, özelleştirilmiş sıcaklık mevcuttur.

3. Tüp fırını (ısıtma bölgesi): Tek bölge, çift bölge, üç bölge, özelleştirilmiş Isıtma bölgesi sayısı kullanılabilir.

4.Tüp Malzemesi: Kuvars, korindon, alaşım ve diğer tüp malzemeleri özelleştirilebilir.

5.farklı çap ve uzunluğa sahip tüp özelleştirilebilir.

6.Plazma jeneratör: 100W, 150W, 300W, 500W, 1000W, plazma jeneratörünün diğer gücü özelleştirilebilir.

7.Debiölçer: 1~3 veya çok kanallı akış ölçer, işleğinize bağlı olarak isteğe bağlıdır.

CVD--1200C tek ısıtma alanlı tüp fırını  

CVD/PECVD - 1200C üçlü ısıtma bölgeli tüp fırını  

PECVD- rulodan ruloya
PECVD -- döner tip
 

Diğer makineler:

Şirket Profili

Ambalaj ve Nakliye

CVD, PECVD makinesini deniz yoluyla, hava yoluyla, kara yoluyla ve Express ile de gönderimi ihtiyaçlarınıza göre düzenleyebiliriz.

SSS

S. Üretici veya ticari şirket misiniz?
A.  Profesyonel laboratuvar cihazı üreticiyiz. Profesyonel AR-GE ekibimiz ve atölyemiz var ve bu da yeterli ve satış sonrası hizmeti vaat edebilir.  

S. garantiniz nasıl?
A.  12 aylık garanti süresi ve ömür boyu bakım olanağı sağlar. 24 saat çevrimiçi hizmet sağlıyoruz.

S. Teslimat zamanınız ne kadar? Cihazı özelleştirmek istersem ne kadar sürer?
A. 5-10 gün -- mağazada. Özel ürünler -- gereksinimlerinize bağlı olarak genellikle 30-60 gün sürer.

Q.Güç kaynağı ve fiş?
A. Yerel gerilim ve fiş standartlarınıza uygun ürünler sağlayabiliriz.

S. nasıl ödeme yapılır?
A.  T T, L/C, D/P VB.

S. malların paketi nasıl? Teslimat yöntemleri?
A.  Standart ihracat fumigation işareti ahşap kutu ambalaj veya sizin gereksinimleriniz doğrultusunda.

Bize ulaşın

PROJENIZI TARTIŞALIM MI?

Lütfen iletişime geçin ve ihtiyacınız olan yanıtları ve çözümleri almak için işbirliği yapabiliriz.
Hedeflerinize ulaşmanıza nasıl yardımcı olabiliriz? Mühendislik ekibimiz hangi teknik engelleri aşmanıza yardımcı olabilir? Bizimle iletişime geçmek için lütfen "İletişim kurun" düğmesine basın, araştırmanızı duymaktan ve size yardımcı olmaktan mutluluk duyarız.