Boru Fırını ile Pecvd Kaplama Makine Kaplama Ekipmanı

• After-sales Service: on-Line Service
• Warranty: One Year
• Application: Industry, School, Lab
• Customized: Customized
• Certification: CE
• Structure: Portable
• Hayır. Modeli.: TN-1200X-III-50IC
• Material: Stainless Steel
• Type: Tubular Furnace
• ürün adı: CVD Tuber Furnace
• tüp malzemesi: yüksek saflıkta kuvars
• sıcaklık: 1200 c
• isıtma bölgesi: 200 mm * 2
• fırın borusu boyutu: 50 * 450 mm
• sıcaklık hassasiyeti: 1 yç
• Taşıma Paketi: Fumigated Wooden Box
• Ticari Marka: TN
• Menşei: China
• HS Kodu: 8401200000
• Üretim Kapasitesi: 20 Sets Per Month

Ürün Açıklaması

Ürün Açıklaması

 CVD kaplamalı makine kaplama ekipmanı, boru fırınlı

1.Bu CVD sistemi, yüksek -
   hassas kütle akış ölçer ve ince film vakum göstergesi.

2.Geleneksel Pirani direnç göstergesine göre ince film ölçerin değeri doğrudur ve
   vakumlu kaplama işlemi için çok uygun olan gaz türü.

3.CVD tüpünde fırın, havadaki bir solenoid valfe bağlı olan yanıcı bir gaz algılama cihazı ile donatılmıştır
   çıkış. Sızıntı olduğunda, güvenliği sağlamak için solenoid valf kapatılabilir.

4.CVD tüp fırını, ayak iziyle gelir ve CVD'nin laboratuvar hazırlığı için çok uygundur.

Ürün Parametreleri

CVD Kaplama makinesinin özellikleri

RF güç kaynağı	Sinyal frekansı	13,56 MHz ± %0.005
	Güç çıkış aralığı	0 ~ 300 W
	Maksimum yansıyan güç	100 W
	Yansıyan güç (maksimum güçte)	3 W
	Güç kararlılığı	±%0.1
Tüp fırını	Tüp malzemesi	Yüksek saflıkta kuvars
	Borunun dış çapı	100 mm
	Tüp uzunluğu	1200 mm
	Fırın odası uzunluğu	440 mm
	Isıtma bölgesi uzunluğu	200 mm + 200 mm (iki sıcaklık bölgesi)
	Sabit sıcaklık bölgesi uzunluğu	200 mm
	Sürekli çalışma sıcaklığı	Maks. 1100°C
	Sıcaklık kontrolü doğruluğu	±1 ºC
	Sıcaklık kontrol modu	30 segmentli program sıcaklık kontrolü
	Ekran modu	LCD
	Sızdırmazlık yöntemi	304 paslanmaz çelik vakum flanşı
Gaz beslemesi sistem	Model	CY-6Z
	Kanal Numaraları	6
	Ölçüm birimi	Kütle akış kontrolörü
	Ölçüm aralığı	A kanalı: H2 için 0 ~ 200SCCM	Açıklamalar: Başka aralıklar gerekiyorsa, lütfen sipariş verirken belirtin.  Müşterinin özel gereksinimlerine göre, ilgili gaz tipi ve aralığı akış ölçüm cihazı isteğe bağlıdır.
		B kanalı: CH4 için 0 ~ 200SCCM
		C kanalı: C2H4 için 0 ~ 200SCCM
		C kanalı: N2 için 0 ~ 500SCCM
		D kanalı: NH3 için 0 ~ 500SCCM
		E kanalı: AR için 0 ~ 500SCCM
	Ölçüm doğruluğu	±%1.5 F.S
	Çalışma basıncı farkı	-0,15 Mpa~0,15 Mpa
	Bağlantı borusu	304 paslanmaz çelik
	Gaz kanalı	304 paslanmaz çelik iğne valf
	Arabirim özellikleri	gaz girişi ve çıkışı için 1/4" yüksfer soket
Vakum sistemi	Mekanik pompa	Çift aşamalı döner kanatlı pompa
	Pompalama hızı	1,1 L/S
	Vakum ölçümü	Direnç göstergesi
	Üstün vakum	1,0E-1Pa
	Pompalama arayüzü	KF16
Kayar ray		Hızlı sıcaklık artışı ve düşüşü sağlamak için iki sıcaklık bölgesi fırının kaymasını sağlar.
Güç kaynağı		AC220V 50 Hz

 

 

Ayrıntılı fotoğraflar

1.Gaz besleme sistemi + vakum sistemi + tüp fırını + plazma jeneratör içeren CVD/PECVD MAKINEMIZ var.

2.Tüp fırını (sıcaklık): 1200C, 1400C, 1600C, özelleştirilmiş sıcaklık mevcuttur.

3. Tüp fırını (ısıtma bölgesi): Tek bölge, çift bölge, üç bölge, özelleştirilmiş Isıtma bölgesi sayısı kullanılabilir.

4.Tüp Malzemesi: Kuvars, korindon, alaşım ve diğer tüp malzemeleri özelleştirilebilir.

5.farklı çap ve uzunluğa sahip tüp özelleştirilebilir.

6.Plazma jeneratör: 100W, 150W, 300W, 500W, 1000W, plazma jeneratörünün diğer gücü özelleştirilebilir.

7.Debiölçer: 1~3 veya çok kanallı akış ölçer, işleğinize bağlı olarak isteğe bağlıdır.

Şirket Profili

Ambalaj ve Nakliye

CVD, PECVD makinesini deniz yoluyla, hava yoluyla, kara yoluyla ve Express ile de gönderimi ihtiyaçlarınıza göre düzenleyebiliriz.

SSS

S. Üretici veya ticari şirket misiniz?
A.  Profesyonel laboratuvar cihazı üreticiyiz. Profesyonel AR-GE ekibimiz ve atölyemiz var ve bu da yeterli ve satış sonrası hizmeti vaat edebilir.  

S. garantiniz nasıl?
A.  12 aylık garanti süresi ve ömür boyu bakım olanağı sağlar. 24 saat çevrimiçi hizmet sağlıyoruz.

S. Teslimat zamanınız ne kadar? Cihazı özelleştirmek istersem ne kadar sürer?
A. 5-10 gün -- mağazada. Özel ürünler -- gereksinimlerinize bağlı olarak genellikle 30-60 gün sürer.

Q.Güç kaynağı ve fiş?
A. Yerel gerilim ve fiş standartlarınıza uygun ürünler sağlayabiliriz.

S. nasıl ödeme yapılır?
A.  T T, L/C, D/P VB.

S. malların paketi nasıl? Teslimat yöntemleri?
A.  Standart ihracat fumigation işareti ahşap kutu ambalaj veya sizin gereksinimleriniz doğrultusunda.

Bize ulaşın

PROJENIZI TARTIŞALIM MI?

Lütfen iletişime geçin ve ihtiyacınız olan yanıtları ve çözümleri almak için işbirliği yapabiliriz.
Hedeflerinize ulaşmanıza nasıl yardımcı olabiliriz? Mühendislik ekibimiz hangi teknik engelleri aşmanıza yardımcı olabilir? Bizimle iletişime geçmek için lütfen "İletişim kurun" düğmesine basın, araştırmanızı duymaktan ve size yardımcı olmaktan mutluluk duyarız.