After-sales Service: | on-Line Service |
---|---|
Warranty: | One Year |
Uygulama: | Endüstri, Okul, Laboratuvar |
Özelleştirilmiş: | Özelleştirilmiş |
Sertifika: | CE |
Yapı: | Taşınabilir |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Için 300W RF Jeneratörlü Laboratuvar Tüpü Fırın PECVD Sistemi Silikon Nitrür Filmi Büyüyor
PECVD tüp fırınının teknik özellikleri
Tüp fırını |
Öğe | Ayrıntı |
Voltaj | AC220V Hz | |
Maks. Güç | 3 W | |
Isıtma bölgesi | Çift bölge 200 mm + 200 mm | |
Çalışma sıcaklığı | ≤ 1200 ºC | |
Sıcaklık kontrolü doğruluğu | ±1 ºC | |
Sıcaklık kontrolü yöntemi | AI-PID 30 aşamalı işlem eğrisi, birden fazla | |
Tüp malzemesi | Yüksek saflıkta kuvars | |
Tüp boyutu | Φ80 mm I.D x 1400 mm U | |
Sızdırmazlık modu | Paslanmaz çelik vakum flanşı | |
Vakum ölçümü | Direnç göstergesi | |
Çalışma gazı | Hidrojen, nitrojen, argon ve oksijen gibi aşındırıcı olmayan gazlar | |
Vakum pompası | Bipolar döner kanatçık vakum pompası | |
Üstün vakum | 10^-1 Pa | |
Üç yollu kütle akış ölçer |
Öğe | Ayrıntı |
Valf tipi | Paslanmaz çelik iğne valfi | |
Gaz kanalları | Üç yönlü | |
Basınç aralığı | 0.05 ~ 0,3 MPa | |
Aralık | 0 ~ 100 SCCM (AR) 0 ~ 200 SCCM (H2) 0~500 SCCM (CH4) |
|
Akış kontrol aralığı | ±%1.5 | |
Karıştırma tankı hacmi | 750 ml | |
Gaz yolu malzemesi | 304 paslanmaz çelik | |
Boru arabirimi | 6,35 mm Bite tipi bağlantı | |
Güç kaynağı | AC220V 50 Hz | |
RF güç kaynağı |
Öğe | Ayrıntı |
Çıkış Gücü | 500 W | |
Çıkış doğruluğu | ±%1 | |
RF frekansı | 13,56 MHz | |
RF kararlılığı | ±%0.005 | |
Soğutma yöntemi | Su soğutmalı |
1.Gaz besleme sistemi + vakum sistemi + tüp fırını + plazma jeneratör içeren CVD/PECVD MAKINEMIZ var.
2.Tüp fırını (sıcaklık): 1200C, 1400C, 1600C, özelleştirilmiş sıcaklık mevcuttur.
3. Tüp fırını (ısıtma bölgesi): Tek bölge, çift bölge, üç bölge, özelleştirilmiş Isıtma bölgesi sayısı kullanılabilir.
4.Tüp Malzemesi: Kuvars, korindon, alaşım ve diğer tüp malzemeleri özelleştirilebilir.
5.farklı çap ve uzunluğa sahip tüp özelleştirilebilir.
6.Plazma jeneratör: 100W, 150W, 300W, 500W, 1000W, plazma jeneratörünün diğer gücü özelleştirilebilir.
7.Debiölçer: 1~3 veya çok kanallı akış ölçer, işleğinize bağlı olarak isteğe bağlıdır.
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd., tasarım, araştırma ve geliştirme, üretim ve satışları bir araya getiren kapsamlı bir şirkettir.
Şirketimizin ana ürünleri: Döner koy, termal buharlaşma kovası, manyetron sputter kovası, plazma sputter kovası, E-Beam buharlaşma kovası, PLD darbeli lazer kaplama makinesi, plazma temizleyici, CVD sistemi, PECVD sistemi, elmas tel kesme makinesi, eriyen fırın/Ocak, ark eritme fırını vb.
Ürünlerimiz, bilim alanında yaygın olarak kullanılmaktadır. Yurt içi üniversiteler, laboratuvarlar ve yeni malzeme şirketleriyle kapsamlı bir işbirliği içiyoruz. Ülke, ABD, İngiltere, Almanya, Rusya, İsviçre dahil 20'den fazla ülke ve bölgeye başarıyla ihraç edildi. Kanada, Brezilya vb. yerel bayilerle uzun vadeli işbirliği ilişkileri kurmuştur.
Malzeme araştırması gerçekleştiriyorsanız lütfen bizimle iletişime geçin; size araştırma denemelerinizi daha sorunsuz hale getirmek için özelleştirilmiş hizmetler sunacağız!
CVD, PECVD makinesini deniz yoluyla, hava yoluyla, kara yoluyla ve Express ile de gönderimi ihtiyaçlarınıza göre düzenleyebiliriz.
S. Üretici veya ticari şirket misiniz?
A. Profesyonel laboratuvar cihazı üreticiyiz. Profesyonel AR-GE ekibimiz ve atölyemiz var ve bu da yeterli ve satış sonrası hizmeti vaat edebilir.
S. garantiniz nasıl?
A. 12 aylık garanti süresi ve ömür boyu bakım olanağı sağlar. 24 saat çevrimiçi hizmet sağlıyoruz.
S. Teslimat zamanınız ne kadar? Cihazı özelleştirmek istersem ne kadar sürer?
A. 5-10 gün -- mağazada. Özel ürünler -- gereksinimlerinize bağlı olarak genellikle 30-60 gün sürer.
Q.Güç kaynağı ve fiş?
A. Yerel gerilim ve fiş standartlarınıza uygun ürünler sağlayabiliriz.
S. nasıl ödeme yapılır?
A. T T, L/C, D/P VB.
S. malların paketi nasıl? Teslimat yöntemleri?
A. Standart ihracat fumigation işareti ahşap kutu ambalaj veya sizin gereksinimleriniz doğrultusunda.
PROJENIZI TARTIŞALIM MI?
Lütfen iletişime geçin ve ihtiyacınız olan yanıtları ve çözümleri almak için işbirliği yapabiliriz.
Hedeflerinize ulaşmanıza nasıl yardımcı olabiliriz? Mühendislik ekibimiz hangi teknik engelleri aşmanıza yardımcı olabilir? Bizimle iletişime geçmek için lütfen "İletişim kurun" düğmesine basın, araştırmanızı duymaktan ve size yardımcı olmaktan mutluluk duyarız.
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler