Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Denetlenen Tedarikçi Altı yönlü kütle akış ölçerle laboratuvar PECVD kaplama makinesi
Plazma ile geliştirilmiş kimyasal buhar deposition (PECVD) , kimyasal buhar depozisyon reaksiyonunu geliştirmek için düşük sıcaklıklarda plazma aktivasyonunun kullanımıyla karakterize edilen bir kimyasal buhar deposition tipidir. Bu yöntemin avantajları arasında, konum bozma sıcaklığının düşük olması, konum alma hızının hızlı olması ve üretilen filmin mükemmel elektrik özellikleri, iyi alt tabaka yapışması ve mükemmel adım kapsamı olması yer alır.
PECVD sisteminin özellikleri
| Model numarası | TN-PECVD-200SST | ||
| Boşluk boyutu | Phi 500 - | ||
| Sıcak bölge uzunluğu | 200 | ||
| RF güç kaynağı | 500W (1000W isteğe bağlıdır) | ||
| Sıcaklık | 1000 ºC | ||
| Elektrik besleme pompası | Moleküler pompa seti | ||
| Ekran tipi | T tipi | ||
| Sıcak bölge | Tek bölge | ||
| Su soğutucu | CW5200 | ||
| Boşluk malzemesi | SS | ||
| Numune Isıtma sıcaklık |
RT-1000ºC üzerinde , sıcaklık kontrolü doğruluğu: ±1.C, sıcaklık kontrolü için sıcaklık kontrol ölçeri kullanarak; Ayarlanabilir hız: 1 dev/dak. Ayarlanabilir |
||
| Püskürtme başlığı boyutu | Φ90 mm, püskürtme başlığı ile çevrimiçi 40 mm' lik örnek arasındaki elektrot aralığı sürekli ayarlanabilir ( prosese göre ayarlanabilir) ve cetvel dizin ekranı | ||
| Örnek Tablo | 200 mm çap | ||
| Yer dekonumlandırma için çalışma vakumu | 0.133 Pa (prosese göre ayarlanabilir) | ||
| Üst flanş | Motorla kaldırılabilir, alt tabakanın değiştirilmesi kolaydır ve bir görsel bağlantı noktası vardır | ||
| Substrat Tablosu | Substrat masasının doğrusal ve azimut hareketi, substrat ısıtma ve sıcaklık kontrolü, montaj masası ve dokunmatik ekran kontrolü, substrat doğrusal hareketi manuel olarak kontrol edilir ve substrat rotasyonu DC motorları tarafından kontrol edilir | ||
| Vakum odası | Ön kapı açma tipi , φ500 mm X 500 mm paslanmaz çelik | ||
| Gözlem penceresi | φ100 mm, bölme ile | ||
| Kütle akış ölçer | Altı yönlü kütle akış ölçer | ||
| Gaz yolu sayısı | Altı yol | ||
| Basınç aralığı | 0.15 MPA - 0.15 MPA | ||
| Aralık | 0 ila 100 SCCM (oksijen) 0 ila 100 SCCM (CF4) 0 ila 200 SCCM (SF6) 0 ila 200 SCCM (argon) 0 ila 500 SCCM (diğer gazlar hava) 0-500 SCCM (diğer gazlar nitrojen) |
||
| Akış kontrol aralığı | Artı veya eksi %1.5 | ||
| Gaz yolu malzemesi | 304 paslanmaz çelik | ||
| Boru bağlantısı | 6,35 mm burç bağlantısı | ||
| Vakum sistemi | Ön pompa: Yağsız vakum pompası 4,7 L/S Moleküler pompa: 1200 L/S |
||
| Ölçüm aralığı | 1 x 10-5 - 1 x 105 Pa | ||
| Ölçüm doğruluğu | 1 x 10-5 ~ 1 x 10 Pa ±%40 okuma 1 x 10-4 ~ 1 x 105 Pa / ±%20 |
||
1.Gaz besleme sistemi + vakum sistemi + tüp fırını + plazma jeneratör içeren CVD/PECVD MAKINEMIZ var.
2.Tüp fırını (sıcaklık): 1200C, 1400C, 1600C, özelleştirilmiş sıcaklık mevcuttur.
3. Tüp fırını (ısıtma bölgesi): Tek bölge, çift bölge, üç bölge, özelleştirilmiş Isıtma bölgesi sayısı kullanılabilir.
4.Tüp Malzemesi: Kuvars, korindon, alaşım ve diğer tüp malzemeleri özelleştirilebilir.
5.farklı çap ve uzunluğa sahip tüp özelleştirilebilir.
6.Plazma jeneratör: 100W, 150W, 300W, 500W, 1000W, plazma jeneratörünün diğer gücü özelleştirilebilir.
7.Debiölçer: 1~3 veya çok kanallı akış ölçer, işleğinize bağlı olarak isteğe bağlıdır.
Diğer makineler:
CVD, PECVD makinesini deniz yoluyla, hava yoluyla, kara yoluyla ve Express ile de gönderimi ihtiyaçlarınıza göre düzenleyebiliriz.
S. Üretici veya ticari şirket misiniz?
A. Profesyonel laboratuvar cihazı üreticiyiz. Profesyonel AR-GE ekibimiz ve atölyemiz var ve bu da yeterli ve satış sonrası hizmeti vaat edebilir.
S. garantiniz nasıl?
A. 12 aylık garanti süresi ve ömür boyu bakım olanağı sağlar. 24 saat çevrimiçi hizmet sağlıyoruz.
S. Teslimat zamanınız ne kadar? Cihazı özelleştirmek istersem ne kadar sürer?
A. 5-10 gün -- mağazada. Özel ürünler -- gereksinimlerinize bağlı olarak genellikle 30-60 gün sürer.
Q.Güç kaynağı ve fiş?
A. Yerel gerilim ve fiş standartlarınıza uygun ürünler sağlayabiliriz.
S. nasıl ödeme yapılır?
A. T T, L/C, D/P VB.
S. malların paketi nasıl? Teslimat yöntemleri?
A. Standart ihracat fumigation işareti ahşap kutu ambalaj veya sizin gereksinimleriniz doğrultusunda.
PROJENIZI TARTIŞALIM MI?
Lütfen iletişime geçin ve ihtiyacınız olan yanıtları ve çözümleri almak için işbirliği yapabiliriz.
Hedeflerinize ulaşmanıza nasıl yardımcı olabiliriz? Mühendislik ekibimiz hangi teknik engelleri aşmanıza yardımcı olabilir? Bizimle iletişime geçmek için lütfen "İletişim kurun" düğmesine basın, araştırmanızı duymaktan ve size yardımcı olmaktan mutluluk duyarız.
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Denetlenen Tedarikçi 
