Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Denetlenen Tedarikçi Tek hedef DC manyetron sputtering Coater ekipmanları, şirketimiz tarafından bağımsız olarak araştırılan ve geliştirilen, uygun maliyetli bir manyetron sputtering kaplama ekipmanıdır. Standardizasyon, modülerleştirme ve özelleştirme özelliklerine sahiptir. Manyetron hedefleri 1 inç, 2 inç ve 3 inç arasından seçilebilir ve müşteriler kaplanmış alt tabakanın boyutuna göre seçim yapabilir; güç kaynağı, yüksek enerjili metal sputlama kaplaması için kullanılabilen 1500W yüksek güçlü DC güç kaynağıdır. Deneysel gereksinimlere göre, çeşitli malzemelerin kaplama işlemlerini gerçekleştirmek için diğer teknik özelliklere ait DC veya RF güç kaynakları da seçilebilir.
Kaplama aleti iki yüksek hassasiyetli kütle akış ölçerine sahiptir ve müşteriler karmaşık gaz ortamı yapısının gereksinimlerini karşılamak için başka gereksinimleri varsa dört kütle akış ölçerinin gaz yolunu özelleştirebilirler; Cihaz, standart olarak ayarlanmış gelişmiş bir turbo moleküler pompa ile donatılmıştır ve en yüksek vakum değeri 1,0E-5Pa'ya ulaşabilir. Aynı zamanda, diğer moleküler pompa tipleri de satın alınabilir. Moleküler pompanın gaz yolu, pompayı kapatmadan numune almak için boşluğu açan çoklu solenoid valfler tarafından kontrol edilir ve bu da çalışma verimliliğinizi büyük ölçüde artırır. Bu ürün, sistemi kontrol etmek için entegre bir endüstriyel kontrol bilgisayarı ile donatılabilir. Bilgisayar programı, vakum pompası grubunun kontrolü ve dolayısıyla, deneme uygulamanınızın verimliliğini daha da artırabilecek olan, sıçrayan güç kaynağının kontrolü gibi birçok işlevi gerçekleştirebiliyor.
Tek hedef manyetron sputtering kotolunun uygulama kapsamı:
Tek hedef DC manyetron salma kovası tek katmanlı ferroelektrik filmler, iletken filmler, alaşım filmler vb. hazırlamak için kullanılabilir. Benzer ekipmanlarla karşılaştırıldığında, bu tek hedef manyetron sallama cihazı sadece yaygın olarak kullanılmakla kalmaz, aynı zamanda küçük boyut ve kolay kullanım avantajlarına da sahiptir. Malzeme inceliğinde filmlerin laboratuvar hazırlıkları için ideal bir ekipmandır ve özellikle katı elektrolitler ve OLED vb. üzerinde yapılan laboratuvar araştırmaları için uygundur
Tek hedef manyetron sputtering coater'ın teknik parametreleri:
| Tek hedef DC manyetron sputtering kaplama aleti | ||
| Örnek aşaması | Boyutlar | φ185mm |
| Isıtma aralığı | Oda sıcaklığı ~500ºC | |
| Ayarlanabilir hız | 1 dev/dak ayarlanabilir | |
| manyetik kontrol hedef tabanca |
Hedef düzlem | Dairesel düzlem hedefi |
| Püskürtme vakumu | 10 Pa~0,2 Pa | |
| Hedef Çap | 50 ~ 50,8 mm | |
| Hedef kalınlık | 2 ~ 5 mm | |
| Yalıtım gerilimi | 2000 V | |
| Kablo özellikleri | SL-16 | |
| Hedef baş sıcaklığı | <= 65 ºC | |
| gerçek boş Boşluk gövde |
İç duvar uygulaması | Elektrolitik polisaj |
| Boşluk boyutu | φ325mm * 500mm | |
| Boşluk malzemesi | 304 paslanmaz çelik | |
| Gözlem penceresi | Quartz pencere, çap φ100 mm | |
| Açık yöntem | Üst açıklık, silindir yardımcı desteği | |
| gaz gövde kontrol sistem |
Akış kontrolü | Kütle akış ölçer, aralık 0 ~ 200SCCM argon gazı |
| Kontrol valfi tipi | Solenoid valfi | |
| Kontrol valfi statik durumu | Normalde Kapalı | |
| Doğrusallığı ölçme | ±%1.5 F.S | |
| Ölçüm tekrarlanabilirliği | ±%0.2 F.S | |
| Yanıt süresini ölçme | ≤ 8 saniye (T95) | |
| Çalışma basıncı aralığı | 0,3 MPa | |
| Valf gövdesi basıncı | 3 MPa | |
| Çalışma sıcaklığı | (5 ~ 45) Cº | |
| Gövde malzemesi | Paslanmaz çelik 316L | |
| Valf gövdesi sızıntı hızı | 1 × 10 Pa.m3/sn | |
| Boru bağlantıları | 1/4> Sıkıştırma bağlantısı | |
| Giriş ve çıkış sinyali | 0 ~ 5 V | |
| Güç kaynağı | ±15 V (±%5) (+15 V 50 mA, -15 V 200 mA) | |
| Toplam boyutlar mm | 130 (genişlik) × 102 (yükseklik) × 28 (kalınlık) | |
| İletişim Arabirimi | RS485 MODBUS protokolü | |
| DC güç kaynağı | Güç | 500 W |
| Çıkış gerilimi | 0 ~ 600 V | |
| Zamanlama uzunluğu | 65000 saniye | |
| Başlangıç zamanı | 1~10 saniye | |
| Film kalınlığı ölçümü | Güç gereksinimleri | DC: 5 V (±%10) maksimum akım 400 mA |
| Çözünürlük | ±0,03Hz (5 MHz), 0,0136Å /Ölçüm (alüminyum) | |
| Ölçüm doğruluğu | ±%0.5 kalınlık + 1 sayım | |
| Ölçüm periyodu | 100 ms~1 SN/süre (ayarlanabilir) | |
| Ölçüm aralığı | 500,000 Å (alüminyum) | |
| Kristal frekans | 6 MHz | |
| İletişim Arabirimi | RS-232/485 seri arayüzü | |
| Ekran rakamları | 8 basamaklı LED ekran | |
| Moleküler pompa | Moleküler pompa pompa pompa pompa pompa pompa pompa pompa pompa pompa devri | 80 L/SN |
| Nominal hız | 65000 dev/dak | |
| Titreşim değeri | <= 0,1 um | |
| Başlangıç zamanı | <= 4,5 dak | |
| Arıza süresi | 7 dk | |
| Soğutma yöntemi | Hava soğutmalı | |
| Soğutma suyu sıcaklığı | <= 37 ºC | |
| Soğutma suyu akış hızı | 1 L/dak | |
| Montaj yönü | Dikey ± 5° | |
| Emme portu | 150 CF | |
| Egzoz bağlantısı | KF40 | |
| Ön pompa | Pompalama hızı | 1,1 L/S (VRD-4) |
| Üstün vakum | 5 × 10 Pa | |
| Güç kaynağı | AC: 220 V/50 Hz | |
| Güç | 400 W | |
| Gürültü | <= 56 db | |
| Emme portu | KF40 | |
| Egzoz bağlantısı | KF25 | |
| Tahliye valfi | Pnömatik ve elektronik olarak kontrol edilen hava tahliye valfi vakum odası | |
| Tüm makinenin en yüksek vakumu | <= 5×10 Pa | |
| Vakum haznesi takviye hızı | <= 2,5 Pa/sa | |
| Yazılım sistemi | 1 izleme ve yönetim yazılımı seti | |
| Test hedefi | 2 inç çapında 2 bakır hedef ve 3 mm kalınlığında | |
S. bir üretici veya ticari şirket misiniz?
A. Profesyonel laboratuvar cihazı üreticileriz, kendi tasarım ekibimize ve fabrikamız var, olgun teknik deneyime sahibiz ve ürünlerin kalitesini ve optimum fiyatı garanti edebiliriz.
S. şirketinizin ürün satış sonrası servis sistemi nasıl?
A. Ürün garanti süresi 12 aydır, ömür boyu bakım sağlayabiliriz. Teknik sorunları çözmek için 24 saat içinde size yanıt verebilecek profesyonel satış öncesi ve satış sonrası departmanlarımız var.
S. Teslimat zamanınız ne kadar? Cihazı özelleştirmek istersem ne kadar sürer?
A. 1. Mallar stokta ise 5-10 gündür. 2.Müşterilerimiz için özelleştirilmiş hizmetler sağlayabiliriz. Özel cihazın teknik özelliklerine bağlı olarak genellikle 30-60 gün sürer.
S. Ülkemizin güç kaynağı ve fişi farklıdır. Nasıl çözüyorsunuz?
A. farklı ülkelerin elektrik fişlerine göre yerel gereksinimlerinize uygun bir transformatör ve fiş tedarik edebiliriz.
S. nasıl ödeme yapılır?
A.T/T, L/C, D/P vb..., Alibaba Ticaret Garantisi'nin kullanılması önerilir.
S. malların paketi nasıl? Teslimat yöntemleri?
A. 1. Standart ihracat fumigation işareti ahşap kutu ambalaj 2. Müşteri gereksinimlerine göre hızlı hava, deniz taşımacılığı, en uygun yolu bulun.
Daha fazla soru için lütfen bizimle iletişime geçin.
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Denetlenen Tedarikçi 
