After-sales Service: | 12 Months |
---|---|
Warranty: | 12 Months |
Type: | Coating Production Line |
Coating: | Vacuum Coating |
Substrate: | Steel |
Certification: | CE |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Üç hedef manyetron sputtering kaplama makinesi (DC güç kaynağı + RF güç kaynağı) | ||
Örnek tablo |
Püskürtme modu | Sputtering orientation up (Sputtering yönü yukarı doğru), numune aşaması casusluk hedefi; Orta üst ayar numune tutucu, bir kapaklı |
Numune tutucu | φ150 mm | |
Kontrol doğruluğu | ±1 ºC | |
Isıtma aralığı | Oda sıcaklığı ~500ºC | |
Ayarlanabilir hız | 1 dev/dak ayarlanabilir | |
Hedef taban mesafesi ayarlanabilir |
Hedef ile alt tabaka arasındaki mesafe elektriksel olarak ayarlanır | |
Manyetron hedef tabanca |
Hedef düzlem | Dairesel düzlem hedefi |
Püskürtme vakumu | 10 Pa~0,2 Pa | |
Hedef Çap | 50 ~ 50,8 mm | |
Hedef kalınlık | 2 ~ 5 mm Not: Hedef manyetik malzemese (Fe, Co, ni gibi) , kalınlık 1,5mm'den fazla olamaz ve güçlü manyetik sputtering tabancası gerekir, ekstra ücret gerekir. |
|
Yalıtım gerilimi | 2000 V | |
Miktar | 2 inç * 3; her tabanca için kapaklarla | |
Kablo özellikleri | SL-16 | |
Hedef baş sıcaklığı | <= 65 ºC | |
Vakum oda |
İç duvar uygulaması | Elektrolitik polisaj |
Oda boyutu | φ325mm * 500mm | |
Hazne malzemesi | 304 paslanmaz çelik | |
Gözlem penceresi | Quartz pencere, kapakla birlikte çap φ100 mm | |
Sızdırmazlık yöntemi | Viton contası | |
Açık yöntem | Üst açıklık, silindir yardımcı desteği | |
Gaz kontrol sistemi |
Akış kontrolü | 1 yollu kütle akış ölçer: Oksijen: Aralık 0 ~ 100 SCCM veya Argon gazı: Aralık 0 ~ 200SCCM veya Nitrojen: Aralık 0 ~ 500SCCM (Not: Oksijensiz ortamda daha yüksek bir vakum elde etmek için hazne en az 3 kez yüksek saflıkta soy gaz ile temizlenmelidir.) |
Gaz tipi | Argon, nitrojen, oksijen ve diğer atıl gazlar | |
Kontrol valfi tipi | Solenoid valfi | |
Kontrol valfi statik durumu | Normalde Kapalı | |
Doğrusallığı ölçme | ±%1.5 F.S | |
Ölçüm tekrarlanabilirliği | ±%0.2 F.S | |
Yanıt süresini ölçme | ≤ 8 saniye (T95) | |
Çalışma basıncı aralığı | 0,3 MPa | |
Valf gövdesi basıncı | 3 MPa | |
Çalışma sıcaklığı | (5 ~ 45) Cº | |
Gövde malzemesi | Paslanmaz çelik 316L | |
Valf gövdesi sızıntı hızı | 1 × 10 Pa.m3/sn | |
Boru bağlantıları | 1/4> Sıkıştırma bağlantısı | |
Giriş ve çıkış sinyali | 0 ~ 5 V | |
Güç kaynağı | ±15 V (±%5) (+15 V 50 mA, -15 V 200 mA) | |
Genel boyutlar (mm) | 130 (genişlik) × 102 (yükseklik) × 28 (kalınlık) | |
İletişim Arabirimi | RS485 MODBUS protokolü | |
DC güç kaynağı | Güç kaynağı | 500 W |
Çıkış gerilimi | 0 ~ 600 V | |
Maksimum çıkış akımı | 1 A | |
Zamanlama uzunluğu | 65000 S | |
Başlangıç zamanı | 1 ~ 10 SN | |
Miktar | 2 set | |
RF gücü sunulup |
Güç kaynağı | 500 W |
Güç çıkış aralığı | 0 W - 500 W, otomatik eşleşme ile | |
Maksimum yansıyan güç | 100 W | |
RF frekansı | 13,56 MHz +/- %0.005 kararlılık | |
Güç kararlılığı | ≤ 5 W | |
Harmonik bileşen | 50 dbc'den az | |
Miktar | 1 set |
S. bir üretici veya ticari şirket misiniz?
A. Profesyonel laboratuvar cihazı üreticileriz, kendi tasarım ekibimize ve fabrikamız olgun teknik deneyime sahip ve ürünlerin kalitesini ve optimum fiyatı garanti edebiliriz.
S. şirketinizin ürün satış sonrası servis sistemi nasıl?
A. Ürün garanti süresi 12 aydır, ömür boyu bakım sağlayabiliriz. Teknik sorunları çözmek için 24 saat içinde size yanıt verebilecek profesyonel satış öncesi ve satış sonrası departmanlarımız var.
S. Teslimat zamanınız ne kadar? Cihazı özelleştirmek istersem ne kadar sürer?
A. 1. Mallar stokta ise 5-10 gündür. 2.Müşterilerimiz için özelleştirilmiş hizmetler sağlayabiliriz. Özel cihazın teknik özelliklerine bağlı olarak genellikle 30-60 gün sürer.
S. Ülkemizin güç kaynağı ve fişi farklıdır. Nasıl çözüyorsunuz?
A. farklı ülkelerin elektrik fişlerine göre yerel gereksinimlerinize uygun bir transformatör ve fiş tedarik edebiliriz.
S. nasıl ödeme yapılır?
A.T/T, L/C, D/P vb..., Alibaba Ticaret Garantisi'nin kullanılması önerilir.
S. malların paketi nasıl? Teslimat yöntemleri?
A. 1. Standart ihracat fumigation işareti ahşap kutu ambalaj 2. Müşteri gereksinimlerine göre hızlı hava, deniz taşımacılığı, en uygun yolu bulun.
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler