After-sales Service: | on-Line Service |
---|---|
Warranty: | One Year |
Type: | Magnetron Sputtering |
Coating: | Vacuum Coating |
Substrate: | Steel |
Certification: | CE |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Kütle akışıyla yüksek vakumlu üç hedef manyetron sputtering sistemi film pozisyonu ölçüm cihazı
MANYETRON HAVALANDIRMA: GENEL BAKIŞ
Sputtering, enerji iyonlarının hedefe doğru hızlandırılmasında plazma tabanlı bir depozisyon işlemidir. İyonlar hedefe çarpır ve yüzeyden atomlar çıkarılır (veya parçalanır). Bu atomlar alt tabakaya doğru hareket eder ve büyüyen filme dahil olur.
Manyetron sputtering Coater'ın özellikleri:
1.üç hedef manyetron sputtering kovası, uygun maliyetli bir manyetron sputtering kaplama ekipmanıdır. Standart, modüler ve özelleştirilebilir.
2.1 inç, 2 inç ve 3 inç manyetron hedefleri vardır. Hedefi kapanacak alt tabakanın boyutuna göre seçebilirsiniz.
3.Manyetron sputtering COater , 500W DC güç ve 500W RF güç ile donatılmıştır. İletkenlik malzemeleri için DC gücü, yalıtım malzemeleri için RF gücü kullanılır. Gereksinimlerinize göre 300 W - 1000 W arasında güç.
4.Manyetron sputtering kovası , iki kanallı yüksek hassasiyetli kütle akış ölçerle donatılmıştır. Dört kanallı kütle debimetreleri
kullanılabilir
5.Manyetron sputtering kovası turbo moleküler pompayla donatılmıştır ve en yüksek vakum değeri 10E-5Pa'dır; diğer moleküler pompa tipleri de satın alınabilir.
6. Moleküler pompa gaz yolu birden fazla solenoid valf tarafından kontrol edilir, numuneyi almadan çıkarmak için odayı açabilirsiniz
pompayı kapatma.
7. Bu ürün, sistemi kontrol etmek için entegre bir endüstriyel bilgisayarla donatılabilir.
Manyetron sputtering Coater'ın özellikleri:
Örnek aşaması | Boyut | Çap 140 mm |
Isıtma sıcaklığı | Maks. 500 ºC | |
Sıcaklık hassasiyeti | ±1 ºC | |
Dönüş hızı | 1 dev/dak ayarlanabilir | |
Manyetron Sputtering başlığı | Miktar | 2 inç × 3 (1 inç, 2 inç isteğe bağlı) |
Soğutma modu | Su soğutmalı | |
Su soğutucu | Akış hızı 10 L/dak olan devridaim yapan su soğutucu | |
Vakum odası | Oda boyutu | Çap 300 mm × 300 mm |
Hazne malzemesi | Paslanmaz çelik | |
Saat penceresi | Çap 100 mm | |
Açılma modu | Üst kapak açık | |
Kütle akış ölçer | 2 kanal; 100SCCM; 100SCCM ölçüm aralığı (müşteri ihtiyaçlarına göre özelleştirilebilir) | |
Vakum sistemi | Model | TN-GZK103-A |
Moleküler pompa | CY-600 | |
Destek pompası | Döner kanatlı pompa | |
Üstün vakum | 1,0E-5Pa | |
Pompalama arayüzü | CF160 | |
Egzoz arabirimi | KF40 | |
Vakum ölçümü | Bileşik vakum göstergesi | |
Güç kaynağı | AC; 220V 50 Hz | |
Pompalama hızı | Moleküler pompa: 600L/S döner kanatlı pompa: 1,1L/S Kapsamlı gaz pompalama performansı: 20 dakikada 1,0E-3Pa'ya kadar vakum |
|
Güç yapılandırması | Miktar | DC güç kaynağı x2 RF güç kaynağı x1 |
Maks. Çıkış gücü | DC 500 W, RF 500 W | |
Diğer parametreler | Besleme gerilimi | AC220V Hz |
Toplam güç | 4 KW | |
Genel boyut | 600 mm × 650 mm × 280 mm | |
Toplam Ağırlık | Yaklaşık 300 kg |
1. 1 hedef, 2 hedef, 3 hedef, 4 hedef vb. içeren manyetron sallama koğulları var. Hedef, odanın üst veya alt kısmında tasarlanabilir.
2.0-1000W DC güç veya RF güç hedefi bulunmaktadır. Sapma işlevi isteğe bağlıdır.
3.Hedef boyut: 1 inç, 2 inç, 3 inç, 4 inç vb.
4.güçlü manyetik hedef ve Pernanent magenetik hedef isteğe bağlıdır.
5. Buharlaşmayla manyetron sputtering kovası, E-ışını mevcuttur.
6.Özel servis her zaman kullanılabilir!
Manyetron sputtering sistemini kara, deniz, hava ve Express ile birlikte göndermemiz de ihtiyacınıza göre paket ve gönderiyi ayarlayabiliyor.
S. Üretici veya ticari şirket misiniz?
A. Profesyonel laboratuvar cihazı üreticiyiz. Profesyonel AR-GE ekibimiz ve atölyemiz var ve bu da yeterli ve satış sonrası hizmeti vaat edebilir.
S. garantiniz nasıl?
A. 12 aylık garanti süresi ve ömür boyu bakım olanağı sağlar. 24 saat çevrimiçi hizmet sağlıyoruz.
S. Teslimat zamanınız ne kadar? Cihazı özelleştirmek istersem ne kadar sürer?
A. 5-10 gün -- mağazada. Özel ürünler -- gereksinimlerinize bağlı olarak genellikle 30-60 gün sürer.
Q.Güç kaynağı ve fiş?
A. Yerel gerilim ve fiş standartlarınıza uygun ürünler sağlayabiliriz.
S. nasıl ödeme yapılır?
A. T T, L/C, D/P VB.
S. malların paketi nasıl? Teslimat yöntemleri?
A. Standart ihracat fumigation işareti ahşap kutu ambalaj veya sizin gereksinimleriniz doğrultusunda.
MANYETRON, İŞİNİZE UYGUN SÜREÇ MI?
Lütfen iletişime geçin ve projeniz üzerinde işbirliği yapabiliriz.
Hedeflerinize ulaşmanıza nasıl yardımcı olabiliriz? Mühendislik ekibimiz hangi teknik engelleri aşmanıza yardımcı olabilir? Bizimle iletişime geçmek için lütfen "İletişim kurun" düğmesine basın, araştırmanızı duymaktan ve size yardımcı olmaktan mutluluk duyarız.
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler