After-sales Service: | 12 Months |
---|---|
Warranty: | 12 Months |
Type: | Coating Sputtering |
Certification: | CE |
örnek boyutu: | φ100 mm |
isıtma sıcaklığı: | / |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
1.Bu tür küçük plazma sputtering kaplama makinesi , SEM için yaygın olarak kullanılan tek aşamalı sputtering yöntemini kullanır
numune hazırlama veya metal kaplama denemesi.
2. Düşük ısıda plazma sputtering işlemi kullanıldığında, kaplama işlemi sırasında yüksek sıcaklık olmaz, termal hasar
çok az şey olur.
3. Bu küçük plazma sputtering Coater , kullanımı kolay PLC+ dokunmatik ekran kontrol sistemi kullanır. Döndürülebilir örnek aşaması
donanımlı.
4. Küçük boyutlu olarak gelir ve laboratuvar araştırma süreci için uygundur.
Çift hedef plazma su oluğu COater'ın özellikleri
Ürün modeli | TN-PLZ180-II-DC-Q | |
Örnek aşaması | Boyut | 100 mm |
Örnek aşamadan hedef yüzeye olan mesafe | 20 ~ 35 mm yükseklik ayarı | |
Dönme hızı | 1 ~ 20 dev/dak ayarlanabilir | |
Isıtma sıcaklığı | / | |
Sıcaklık kontrolü doğruluğu | / | |
Plazma sputtering kaynağı | Miktar | 2 inç * 2 |
Soğutma yöntemi | Doğal SERİNLİK | |
Vakum odası | Oda boyutu | φ180 mm x 200 mm |
Gözlem penceresi | Çok yönlü görünürlük | |
Hazne malzemesi | Yüksek saflıkta kuvars | |
Açık yöntem | Üst kapak çıkarılabilir | |
Üst ve alt kapak malzemesi | 304 paslanmaz çelik | |
Pompalama portu | KF16 | |
Giriş portu | 1/4 inç yüksfer konektörü | |
Güç yapılandırması | Miktar | DC güç kaynağix1 |
Çıkış gücü | Maks. 150 W | |
Püskürtme gücü | 1200 V | |
Maksimum sputtering akımı | 50 mA | |
Vakum sistemi | Vakum pompası tipi | Çift aşamalı döner kanatlı vakum pompası |
Pompalama portu | KF16 | |
Egzoz arabirimi | KF16 | |
Pompalama hızı | 1,1 L/sn (4 m3/sa) | |
Üstün vakum | ≥ 0,1 Pa | |
Vakum ölçümü | Vakum göstergesi direnci | |
Diğerleri | Güç kaynağı | AC 220 V 50 Hz |
Toplam güç | 1,5 kW | |
Boyut | 570 mm * 450 mm * 500 mm | |
Ağırlık | 30 kg |
1.1/2/3 hedef ile plazma sputter koğuz var,
2.Su soğutmalı hedef, dönüş substratı isteğe bağlıdır
3.Isıtma substratı mevcut
Tek hedef plazma su oluğu
Çift hedef plazma su oluğu
Üç hedef plazma su oluğu
S. bir üretici veya ticari şirket misiniz?
A. Profesyonel laboratuvar cihazı üreticileriz, kendi tasarım ekibimize ve fabrikamız, olgun teknik deneyimimiz vardır ve ürünlerin kalitesini ve optimum fiyatı garanti edebiliriz.Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler