Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Denetlenen Tedarikçi Laboratuvar için MPCVD tek kristal elmas depozisyon ekipmanı
Uygulama
Yüksek kaliteli tek kristal elmas hazırlama, Elmas yetişkin;
Yüksek kaliteli polikristalli serbest duran elmas filmlerin hazırlanması;
Yüksek kaliteli polikristalli elmas filmlerin hazırlanması;
Grafik, karbon nanomestler, doluluk dolusu ve elmas filmler gibi çeşitli karbon nano filmlerin hazırlanması.
Özellikler:
a. Paslanmaz çelik boşluk tipi 10kw mikrodalga plazma ekipman, yüksek güç yoğunluğu;
b. Su soğutmalı substrat aşaması ve su soğutmalı metal bölme, sistemin uzun süre boyunca sürekli çalışmasını sağlar;
c. Alt tabaka sıcaklığı, mikrodalga plazmanın kendi kendine ısıtılmasıyla elde edilir;
d. Vakum ölçüm aleti, arka plan vakumu ve çalışma gazı basıncını doğru bir şekilde ölçebilen tam aralıklı bir vakum göstergesi kullanır;
e. Vakum pompası ve valfi turbo moleküler pompayı (en yüksek vakum 1 × 10 Pa'dır) ve döner kanatlı mekanik vakum pompasını (en yüksek vakum 1 Pa'dır) benimser ve sistem, konum tahliye basıncını otomatik olarak kontrol edebilir;
f. Cihazın yüksek güç altında uzun süreli güvenli ve dengeli çalışmasını sağlamak için soğutma suyu devridaim sistemi;
g. 15 inç dokunmatik ekran, PLC otomatik kontrol, sıcaklığı veya basıncı sabit olarak ayarlayabilir, 20 set proses dosyası kaydedebilir ve yeniden kullanılabilir;
H. Yüksek kaliteli elmas filmleri ve kristalleri sağlam ve güvenilir bir şekilde hazırlayabilen tam otomatik proses kontrol modülü.
Avantajlar:
1) Yüksek üretim verimliliği, büyük çıktı, yüksek kalite, boyut 7 * 7,8 * 8,10 * 10,12 * 12,15 * 15 aynı anda takılabilir. Ayda yaklaşık 250~480 dolar kabaca elmaslar üretebilir .
2) Ekipman endüstriyel üretime ulaşmıştır. Molibden aşaması 90 mm geniştir ve yüksek büyüme hızı, yüksek verim oranı ve iyi stabilite sağlar. İşlenmiş bileşenlerin hassasiyeti ve kalitesi son derece yüksektir ve ekipmanlarımızın işleme kalitesi oldukça incedir.
3) Ekipman şu anda hem yurtiçi hem de yurtdışında tek kristal elmas üretimine ulaşmayı sağlayan ilk ana ekipmandır. Müşterilerin nitelikli ürünler üretmesini sağlamak için gelişmiş üretim teknolojisiyle donatılmıştır. Netlik vs.'ye ulaşabilir. Müşterinin gereksinimlerine göre renk D, E, F, G düzeyine ulaşabilir.
| EVacuum | Vakum ölçümü | Piezo dirençli gösterge 0.1-100kpa Kapasitans göstergesi 0-1000Pa |
| Çalışma basıncı aralığı | 4 kPa | |
| Vakum sızıntı oranı | 1 * 10-9 Pa·m 3 /s | |
| Basınç kontrolü | Otomatik Kontrol | |
| Boşluk malzemesi | Alüminyum alaşım uyarma odası, kuvars vakum odası | |
| Gözlem penceresi | 10 mm çaplı sıcaklık ölçüm deliği ve gözlem penceresi delikli | |
| Soğutma modu | Soğutma modu | Su soğutma + hazne hava soğutma |
| Örnek tablo boyutu | Molibden kademe Φ 85 mm, tek tip alan Φ 50 mm | |
| Sıcaklık ölçümü | Kızılötesi termometre, aralık 300-1400 ºC | |
| Soğutma suyu akışı | 50 L/dak | |
| Soğutma suyu sıcaklığı | 20 ºC | |
| Soğutma suyu arabirimi | 1 inç dış kablo arabirimi | |
| İşletim sistemi | İşletim sistemi | PLC kontrolü, 15 inç dokunmatik ekran kontrolü |
| İşlem Menüsü | 10 i̇şlem menüsü, her biri için 25 satır | |
| Mikrodalga ve güç kaynağı | Mikrodalga frekansı | 2.45 ± 0,1 GHz |
| Çıkış gücü | 1.5-10Kw (10 kw ev tipi mikrodalga güç kaynağı ile donatılmıştır) | |
| Giriş gücü elektrik | 380 AC/50 Hz, üç fazlı beş kablo (3 * 10 + 2 * 6 güç hattı), > 15 kW | |
| Mikrodalga sızıntı hızı | Mikrodalga sızıntı hızı ekipmandan 5 cm veya daha fazla mesafede | |
| Proses gazı | Debiölçer ve arabirim | H2 (1000SCCM) CH4 (50SCCM) N2 (10SCCM) O2 (10SCCM) 1/4 INÇ VCR Dişi basınçlı hava 8 mm PU boru hızlı fiş |
| Debimetre, ile kullanılan gaz tipini değiştirebilir yazılım | ||
| Hava besleme basıncı | 0.3 MPa | |
| Basınçlı hava basıncı | 0.5 MPa | |
| Vakum pompası | Döner kanatlı vakum pompası | Yağ pompası |
| Pompalama hızı | 4 L/SN | |
| Güç kaynağı | AC 380 V (±%10) | |
| Arabirim | Hava çıkışı KF25, hava çıkışı KF25 | |
| Çalışma ortamı | Ortam sıcaklığı ve nem | Oda sıcaklığı 26 ºC'nin altında ve nem oranı %40'den düşük |
| Ekipmanın genel boyutları | Boyut | 1250 (U) × 800 (G) × 2100 (Y) MM |
| Ekipman kabul koşulları: | 1.Ekipman kurulumu: Ekipman kurulumu tamamlandıktan sonra, A ve B Partisi tesis içi devreye alma işlemini yürütür ve B Partisi teknisyenleri A Partisinden sorumlu kişi için ekipman kullanımı, güvenlik ve bakım eğitimi yürütür | |
| 2. Sistem testi: Sistem normal şekilde başlatılabiliyor ve çalıştırılabiliyor ve yerinden çıkmış ateş topu atlamadan sabit. | ||
| 3. Mikrodalga sızıntısı: Mikrodalga sızıntısı 5mW/cm2'den azdır (mikrodalga kaynağının çıkış gücü %80'den, ekipmandan 10 cm uzaktır) | ||
| Öğe | model | Miktar (set/parça) |
üretici veya menşei | not |
mikrodalga kaynağı |
10 kW/2450 MHz |
1 |
yurt içi |
|
| mikrodalga iletim sistemi | Karıştırıcı MPT-2012dalga kılavuzu |
1 | yurt içi | |
| mod dönüştürücü | ORTA FIYAT NOKTASI - 2050 | 1 | yurt içi | |
| mikrodalga reaksiyon boşluğu | Aşağı akış ORTA FIYAT NOKTASI - 2050 |
1 | yurt içi | |
| numune tablosu ve braket sistemi | YOK |
1 |
yurt içi |
Su soğutmalı, tek katmanlı kaldırma |
gaz akış sistemi |
5 gaz kütle akış kontrolörü: H2, CH4, O2, N2, AR |
5 |
Japonya |
|
| gaz vakum valfi ve filtresi | 1 set | Japonya | ||
| Gaz sistemi bağlantı bileşenleri | 1 set | Japonya | ||
| vakum sistemi | vakum valfi ve filtresi | 1 | Japonya | |
| vakum boşluğu, vakum borusu | 1 | yurt içi | ||
| mekanik pompa ve vakum valfi | 1 | yurt içi | ||
| moleküler pompa ve destekleyici vakum valfi | yurt içi |
|||
ölç |
direnç vakum ölçer | 1 | yurt içi | |
| film vakumu ölçer | 1 | yurt içi | ||
| kızılötesi termometre | 1 | yurt içi | ||
| elektrik kontrol sistemi | PLC | 1 | Almanya | |
| dokunmatik ekran | 1 | yurt içi | ||
| su soğutma sistemi | soğutma suyu sıcaklığı, akış izleme |
3 |
Japonya |
|
| Kontrol kutusu/kabin | 1 | yurt içi | ||
| gerilim dengeleme güç kaynağı | Kullanıcı yapılandırması gerektirir | |||
| devridaim soğutucu | Kullanıcı yapılandırması gerektirir | |||
| gaz silindiri, paslanmaz çelik gaz borusu, su borusu, güç dağıtımı, egzoz borusu |
Kullanıcı kurulumu gerektirir |
Ekipman fotoğrafları:
S. bir üretici veya ticari şirket misiniz?
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Denetlenen Tedarikçi 
