Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Yüksek saflıkta malzeme olarak %99.7 Al2O3 Alumina substrat ve büyük boyutlu yeni malzeme, mükemmel fiziksel özelliklere ve kararlı kimyasal karakterlere sahiptir, diğer malzemelerle karşılaştırıldığında iyi bir fiyat sunar. Dünya çapında en yüksek araştırma ve gelişmiş seramikler ve ince seramik fabrikaları, yüksek saflıkta alüminyum üretimin gelişimini sürdürmektedir. Farcera %99.7 Alumina Ceramics serisi ürünler çoğunlukla CMP işleminin taşlama paneli olarak yarı iletken endüstride, LCD endüstrisinde kullanılan büyük boyutlu uzun alumina seramik substrat ve seramik panel olarak litografi olarak kullanılır.
Burada, yarı iletken endüstrideki CMP sürecinde kullanılan yüksek saflıkta Chemshun %99.7 Alumina plaka/sapphire polisaj plakasını tanıtıyoruz.
Uygulama:
Alumina seramik plaka cilalama ve yarı iletken, elmas cilalama gibi alanlarda kullanılan sapphire tortu diskleri olarak
İşlem: CMP kimyasal mekanik parlatma, Mekanik parlatma, Hassas parlatma gibi tüm polisaj ve lapping işlemi türleri.
Özellik:
Yüksek saflık ve kimyasal dayanıklılık
Yüksek Mekanik dayanım ve Sertlik
Yüksek korozyon direnci
Yüksek Voltaj direnci
1700 ºC'ye kadar yüksek sıcaklığa dayanıklı
Aşırı aşınma direnci Performansı
Mükemmel yalıtım Performansı
Tüm Boyut 180,360, 450, 600 mm vb.
| Ürün adı | 99.7 yüksek saflıkta Alumina seramik polisaj diskleri |
| Malzeme | %99.7 alumina |
| Normal Boyut | D180, 360, 450, 600 mm, özelleştirilmiş boyut kabul edilir. |
| Renk | Fildişi |
| Uygulama | Yarı iletken endüstride Pah ve Safir CMP süreci |
| Min. Sipariş | 1 adet |
| Birim | 99.7 Alumina Seramik | ||
| Genel Özellikler | Al2O3 içeriği | i̇zlenme süresi yüzdesi | 99.7 - 99.9 |
| Yoğunluk | gm/cc | 3.94 - 3.97 | |
| Renk | - | Fildişi | |
| Su emilimi | % | 0 | |
| Mekanik Özellikler | FleLüks Kuvvet (MOR) 20 ºC | MPA (dondur10^3) | 440-550 |
| Elastikiyet Modülü 20ºC | GPA (dondur10^6) | 375 | |
| Vickers Sertliği | GPA (kg/mm2) R45N | = 17 | |
| Bükme Kuvveti | GPA | 390 | |
| Çekme Mukavemeti 25 ºC | MPA (dondur10^3) | 248 | |
| Çatlak sertliği (K I c) | MPA * m^1/2 | 4-5 | |
| Termal Özellikler | Termal iletkenlik (20ºC) | mk ile | 30 |
| Termal genleşme katsayısı (25-1000ºC) | 1x 10^-6 /ºC | 7.6 | |
| Termal Şok direnci | ºC | 200 | |
| Maksimum kullanım sıcaklığı | ºC | 1700 | |
| Elektrik Özellikleri | Dielektrik Kuvveti (1 MHz) | ac-kv/mm (ac v/mil) | 8.7 |
| Dielektrik sabiti (1 MHz) | 25 Cº | 9.7 | |
| Hacim direnci | ohm-cm (25 ºC) | 10^14 | |
| ohm-cm (500ºC) | 2x10^12 | ||
| ohm-cm (1000 ºC) | 2x10^7 |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
