Yarı İletken IGBT Modülü MEMS için Elektrikli Plazma Temizleyici

• After-sales Service: Engineer Go Oversea for Training
• Warranty: 1 Year
• Application: Industry, School, Lab, Institute
• Customized: Customized
• Certification: ISO
• Structure: Vertical
• Hayır. Modeli.: VPC3I
• Material: Steel
• güç: 380 vac 20 a
• gaz: basınçlı hava cda, 0,5 mpa
• nitrojen: 0,5 mpa
• sıcaklık sensörü: abd omegası
• tek temizleme alanı: 350 * 350 mm
• 15 mm katmanlar: 0 khz 2 kw ara frekans
• 50 mm katmanlar: 13,56 hz 300 w radyo frekansı
• boyut: 85 * 170 * 96 cm
• Taşıma Paketi: Polywood Case
• Ticari Marka: Torch
• Menşei: Beijing
• Üretim Kapasitesi: 50sets/Month

Ürün Açıklaması

Yarı iletken IGBT modülü MEMS için Elektrikli Plazma Temizleyici

I. Ekipman adı, tip numarası, çıkış ve teslimat tarihi
1.1 Ekipman adı: Sıralı vakum plazma temizleme makinesi
1.2 Model No.: VPC3i
1.3 Menşei (Ülke, Üretici): Beijing Torch SMT Incorporated Company
1.4 Teslimat tarihi: Sözleşmenin yürürlüğe girmesinden 4-8 hafta sonra
1.5 esas olarak silikon plaka, cam substrat, seramik substrat, IC taşıyıcı plakası, bakır kurşun çerçeve gibi yarı iletken muhafaza alanlarında plazma yüzey işleme işlemi için kullanılır, Büyük boyutlu tek taraflı alt tabaka güç kartı, IGBT modülü, fikstür içeren MEMS sensörü, mikrodalga cihazı, filtre, RF cihazı vb.
II başlıca teknik performans parametreleri:
2.1 vakum haznesi hacmi: 3 L
2.2 vakum derecesi:
VPC3i plazma elektrikli süpürgenin maksimum vakum derecesi 10 Pa'dan az (mekanik kuru pompa 8L)
2.3 etkili temizleme alanı:
Tek temizleme alanı: 350 * 100 * 85 mm
Plazma frekansı: 13,56 hz 300 W  RF (hacim işleme, su soğutmalı)
2.4 vakum odasının yüksekliği:
Fırın yüksekliği: 100 mm (etkin boyut)
2.5 Temizleme sıcaklığı:
Düşük sıcaklıkta temizleme (oda sıcaklığının altında).
2.6 Temizleme frekansı: 30 sn
2.7 Temizleme etkisi: Boyahanne değeri 70'e ulaşabilir. Su damlama açısı 15 derecedir ve 10 derece içinde optimum şekilde kontrol edilebilir (100. Sınıf hava temizliğine sahip atölye tozsuz 4 saat içinde temizlenebilir)
2.8 Gaz şu durumlarda kullanılabilir:
Argon, nitrojen, oksijen, nitrojen hidrojen karışımı, hidrojen ve formik asit vb.



Şirket Bilgileri


Odayı Göster