Fırın Yapısı
|
Tek ısıtma bölgesi
- Yüksek saflıkta Al2O3 yalıtım haznesi, mükemmel sıcaklık eşitliğini garanti eder.
- Soğutma fanları, verimli havalandırma sağlamak için fırının altına takılır.
- Kayar flanş grubu paslanmaz çelikten yapılmıştır.
- Çift kuvars tüp: 100 mm Çap dış tüp ve 80 mm Çap iç tüp ile askıya alınır. CVD reaksiyonu için metal folyo (Grafik büyüme substratı) tüp yüzeyinin içine sarılır
- Isıtma bölgesi uzunluğu: 440 mm
Sabit sıcaklık ısıtma bölgesi uzunluğu: 400 ~ 1100°C'de 120 (± 1°C
|
Çift ısıtma bölgesi
- Yüksek saflıkta Al2O3 yalıtım haznesi, mükemmel sıcaklık bütünlüğü sağlar.
- Soğutma fanları, verimli havalandırma sağlamak için fırının altına takılır.
- Maks. Sıcaklık: 1200°C ve sürekli sıcaklık: 1100°C.
- Ayrı ayrı kumanda edilen iki Isıtma Bölgesi:
Fırının yumuşak bir şekilde hareket etmesini sağlamak için çift yönlü kayar raylar.
- her ısıtma bölgesi için 200 mm uzunluk, 400 mm toplam ısıtma uzunluğu
- i̇ki bölge de ısınıyorsa 250 mm sabit sıcaklık bölgesi aynı sıcaklık
- 500oC maksimum sıcaklık farkı, içine bir termal blok yerleştiriyorsanız i̇ki bölge arasında
|
| Güç |
Tek ısıtma bölgesi
Güç: 208 VAC, 50/60Hz, tek fazlı, 2,5 KW (20 A kırıcı gerekir) |
Çift ısıtma bölgesi
Güç: 208 VAC, 50/60Hz, tek fazlı, 4 KW (50 A Kesici gerekir)
fişsiz 10 fit güç kablosu (fişi yetkili bir elektrikçiye takın) |
| Isıtma sıcaklığı |
- Maks. Sıcaklık: 1100°C
- Sürekli sıcaklık: 1000°C
|
| Isıtma ve Soğutma Hızı |
Maks. Isıtma ve soğutma hızları çalışma sıcaklığına bağlıdır. Maks. Isıtma ve soğutma hızının farklı sıcaklık aralıklarında değiştiğini görmek için lütfen aşağıdaki tablolara tıklayın.
(Kullanmadan önce çalışma koşulunuzda sıcaklığı ve ısıtma soğutma hızını kalibre etmelisiniz)
Isıtma grafiği Soğutma grafiği
|
| Birleştirilmiş Kuvars Tüpler |
- Yüksek saflıkta kuvars tüpü:
Su soğutmalı ceketlere sahip iki çift vakumlu sızdırmaz flanş ve paslanmaz çelik iğneli valfler
- Dış tüp EQ-QZTube-101D-1400: OD: 4" x ID: 3.8" X 55" Uzunluk (OD 100 x ID 96 x 1400 mm)
- İç tüp EQ-QZTube-80D-1800: OD:3.15:x ID x 2.95" x 70.8" Uzunluk (OD 80 x ID 75 x 1800 mm
|
Vakum flanşları |
Metal folyoda CVD büyümesini tetiklemek için çift tüp kullanma (iç tüp yüzeyine sarılmış):
- 1 - 1 . Aşağıda gösterildiği gibi, hem dış boruyu hem de dış boru ile tüp içindeki boşluğu kapatmak için SS304 flanştan oluşan bir çift (bu alan bir reaksiyon odası olarak kabul edilir).
- Sol flanş: Gaz girişi olarak iğne valfli Barb bağlantı parçası, 10^-4 - 1000 torr ölçüm aralığına sahip dijital vakum göstergesi, su soğutma girişi/çıkışı dahil
- Sağ flanş: KF25 flanş bağlantılı dik açılı valf, vakum tahliye iğneli valfi, su soğutma girişi/çıkışı dahildir
- 1 - 2 . Gaz soğutması için iç borunun her iki ucunu açık bırakın.
-
En yüksek vakum basıncı: 10^-2 torr (mekanik pompa ile)
10^-5 torr (turbo moleküler pompa ile) |
Sıcaklık Kontrol Cihazı |
- Isıtma hızı, soğutma hızı ve yerleştirme süresinin hassas kontrolü için 30 programlanabilir segmentli PID otomatik kontrolü.
- Dahili aşırı sıcaklık alarmı ve koruması, herhangi bir operatör olmadan çalışmaya olanak tanır.
- Aşırı sıcaklık koruması ve alarm , katılımcı(lar) olmadan çalışmaya olanak sağlar.
- /- 1 ºC sıcaklık doğruluğu.
- RS485 İletişim Bağlantı Noktası.
- Gelişmiş Sıcaklık Kontrolü (İsteğe bağlı)
- MTS02-Y sıcaklık kontrolü yazılım kiti (YD518P serisi denetleyiciler için) + 15" dizüstü bilgisayar paketi seçenekler çubuğunda mevcuttur. Sıcaklık kontrol cihazını LabVIEW ile tam uyumlu Eurotherm 3504 Sıcaklık Kontrol cihazına yükseltebilirsiniz. Bu pakette bir Eurotherm 3504 programlayıcı, bir iletişim kablosu (RS485-USB) ve bir yazılım CD'si bulunur. Eurotherm 3504 sıcaklık kontrolörünün tüm özelliklerini görüntülemek için aşağıdaki resmi tıklayın.
-
|
Kütle Akış Ölçüm cihazları ve Gaz Karıştırma İstasyonu
|
- Gaz akış hızını kontrol etmek için sol alt kısma dijital ekranlı ve ayar düğmeli 4 hassas kütle akış kontrolörü (MFC) takılmıştır:
- 4 Gaz kanalı (daha fazla bilgi için MTI satış ile iletişime geçin)
- MFC 1: 0~100 SCCM arasında kontrol aralığı
- MFC 2: 0~200 SCCM arasında kontrol aralığı
- MFC 3: 0~200 SCCM arasında kontrol aralığı
- MFC 4: 0~500 SCCM arasında kontrol aralığı
- Akış hızı doğruluğu: ±%1 FS
- Gaz girişi ve çıkışı: 1/4" Svajlok boru konektörü
- Alt çantada bir adet 80 ml gaz karıştırma tankı bulunur
- Her gaz kanalı kolay açma/kapama
- Akış hızı MFC panelinden ayarlanabilir
|
| Vakum pompası İstasyonu ve valfleri |
İsteğe bağlı 1:
- Pfeiffer'ın Yüksek Hızlı (226 l/dak) yağı olmayan Kuru vakum pompası, 10E-3 Torr Limiti ağır hizmet tipi mobil arabalara takılır. Daha fazla ayrıntı için lütfen aşağıdaki resme tıklayın.
- KFD25 adaptör ve paslanmaz çelik boru , pompa ile boru flanşı arasına hassas bir bilyalı valf ile bağlanır.
- 10E-2 Torr vakumu işleme tüpü içinde elde edilebilir
- Dijital vakum göstergesi (ABD'de üretilmiştir) sol yan flanşa takılıdır.
- (İsteğe bağlı) 10^-5 torr'a kadar daha yüksek vakum seviyesi için lütfen aşağıdan mobil turbo pompa sipariş edin.
|
İsteğe bağlı 2:
- Egzoz filtreli ve KF-D25 girişli ağır hizmet tipi Çift Adımlı döner Kanat vakum pompası , ağır hizmet tipi seyyar bir arabanın içine monte edilmiştir. Daha fazla ayrıntı için lütfen aşağıdaki resme tıklayın.
- 6,7x10 - 4 mbar vakum, işleme tüpü içinde elde edilebilir
- Dijital vakum göstergesi (ABD'de üretilmiştir) sol yan flanşa takılıdır. Daha fazla ayrıntı için lütfen aşağıdaki ikinci resme tıklayın
- 10^-5 torr'a kadar daha yüksek vakum seviyesi için lütfen aşağıdaki mobil turbopompayı ekstra ücret karşılığında sipariş edin:
|
| Su Soğutma İşlevi |
Flanştaki su soğutması, yüksek sıcaklıkta en iyi sızdırmaz odayı sağlamak için ağırlıklı olarak flanşın içindeki o-ringi soğutmaktır:
- Su soğutma flanşları için >= 10 L/M su akışı gerekir.
- Soğutma suyu olarak musluk suyu kullanabilirsiniz ancak çevresel etkenler için devridaim yapan bir su soğutucu kullanmanızı şiddetle öneririz. Su soğutucunun siparişini ekstra ücret karşılığında vermek için lütfen aşağıdaki başparmağınızı tıklatın.
|
| İsteğe bağlı Parçalar (tek borulu fırının oluşturulması) |
Ekstra sızdırmazlık flanşları sipariş ederek 80 mm çaplı tek borulu reaksiyon odası oluşturabilir ve bunları iç boruya takabilirsiniz:
- Sol yan flanş: Müşterinin bir ölçüm sensörü takması için iğneli valfli ve gaz girişli 1/4' besleme bağlantılı barb bağlantı parçası
- Sağ yan flanş: KF25 Mekanik göstergeli ve vakum tahliye valfli bağlantı parçası
|
| Boyut |
- Fırın: 550 x 380 x 520 mm
- Alt hareketli kasa x 2:600 x 600 x 600mm (biri gaz karıştırma istasyonu için diğeri vakum pompası için)
|
| Gönderiler |
- Nakliye Ağırlığı: ~800 lb
- Üç paletle nakliye
- Krama ücreti uygulanır
|
| Garanti |
Bir yıllık sınırlı üretici garantisi (İşleme tüpleri, O-halkalar ve ısıtma elemanları gibi sarf malzemeleri garanti kapsamında değildir, lütfen aşağıdaki ilgili ürünlerden yedek parça sipariş edin). |
| Dizüstü Bilgisayar, yazılım ve WiFi Kontrolü (İsteğe bağlı) |
- Hemen kullanmak için Microsoft Windows 10 ve Microsoft Office 2013 (30 günlük ücretsiz deneme) işletim sistemlerinde yepyeni bir dizüstü bilgisayar.
- LabVIEW tabanlı Sıcaklık Kontrol Sistemi , kullanıcının sıcaklık profilini düzenlemesine, ısı tedavisi tarifini yönetmesine, MTI fırınları için verileri kaydetmesine ve çizmesine olanak tanır.
- Kablosuz uzaktan kumanda 300 metreye kadar çalışma menzili sağlar.
- Yukarıdaki özellikler, istek üzerine ekstra ücret karşılığında (1,000 ABD Dolarına kadar) sunulur. Daha fazla bilgi için lütfen bizimle iletişime geçin.
- Not:
Yazılım yalnızca MTI'nın Yudian Sıcaklık Kontrol Cihazı ile uyumludur
|
| Uyumluluk |
- CE Sertifikalı
- Tüm elektrikli bileşenler (> 24V) UL/MET/CSA onaylıdır
- Fırın , TUV (UL61010) veya CSA sertifikasını ekstra ücret karşılığında geçmeye hazırdır.
|
Uygulama Notları
|
- Kuvars tüplü tüp fırınları, altında kullanım için tasarlanmıştır vakum ve düşük basınç < 0.2 bar/3 psi /0.02 MPA
- DİKKAT: Güvenli çalışma için basıncı 3 PSI değerinin altına sınırlamak amacıyla gaz silindirine iki aşamalı bir basınç regülatörü takılmalıdır.
- Gazlar için akış hızı < ile sınırlandırılmalıdır 200 SCCM (veya 200 ml/dak) tüp ısıl şokları azaltmak için
- Tüm kuvars tüp fırınları için vakum sınırı tanımı: * vakum basınçları yalnızca 1000°C'ye kadar güvenle kullanılabilir
- MTI Tüp fırını için kuvars/seramik tüp ve vakum flanşı kurulumu hakkında bilgi edinmek için buraya tıklayın.
- Fırının konumunu tutmak için bir kayar durdurma kelepçesi dahildir.
- CVD'den sonra, grafik çoğu uygulama için metal katalizörden başka bir alt tabakaya aktarılmalıdır. Grafik transfer bandı kullanılarak kalıntı düşük olabilir.
-
|
| Uyarı |
- Hızlı numune soğutma, ısıtma bölmesi kaydırılarak elde edilebilir. Lütfen bunu yapmak istiyorsanız ısıya dayanıklı elbise ve eldiven gibi koruyucu dişliler kullanın.
- SICAKKEN TÜP YÜZEYINE DOKUNMAYIN!
|
Denetlenen Tedarikçi 
