After-sales Service: | One Site Training and Installation |
---|---|
Warranty: | One Year |
Taşıma Paketi: | Standard Export Package |
Teknik Özelikler: | Dimension(L*W*H): Various according to the request |
Ticari Marka: | Skyline |
Menşei: | China |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
1.Giriş
RF plazma yüksek enerji yoğunluğu, yüksek ısıtma yoğunluğu, büyük hacimli plazma arkı, basit proses vb. gibi iyi özelliklere sahiptir. Ayrıca elektrodetonom olması nedeniyle üründe elektrodun buharlaşmasından kaynaklanan bir kirlilik olmaz .
İlke: Ağır gaz (argon) , yüksek frekanslı güç kaynağının etkisi altında yüksek sıcaklık argonu içeren sabit bir plazma şaloması olarak iyonlaştırılmıştır; ham toz maddeleri , toz besleyici aracılığıyla taşıyıcı gaz (nitrojen) tarafından plazma meşalesine verilir; toz parçacıkları , plazma meşalede yüksek sıcaklık ve yüzeyleri hızlı bir şekilde eriydiğinde çok fazla ısıyı emer; toz, reaktöre çok yüksek bir hızda sokulur ve ardından atıl gaz altında hızlı bir şekilde soğutulur ve yüzey gerilimi etkisi altında küresel toz haline katılır ve toz toplayıcıda toplanır.
2. Özellikler
1. Yüksek ısıtma sıcaklığı, yüksek soğutma hızı ve elektrot kirliliği yok;
2. Plazmada dinamik olarak dağıtılan reaktif malzemeler , sersemleşmeyi ve toz oluşumunu önler, erime ve küreselleşme için uygundur;
3. Mo, Ti, W, WC, alüminyum oksit, silikon oksit, zirkonyum oksit vb.;
4. Küresel odizasyon oranı %90'in üzerinde olan normal toz şekli; pürüzsüz ve parlak yüzey; iyi floresyonluk; toz kompaktlığı ve yığın yoğunluğunu artırır.
3.Teknik Parametreler
1. Toplam güç: 100 kW;
2. RF el feneri: 100 kW, 3 MHz;
3. Kapasite: 3 kg/sa;
4. Ultimate vakum derecesi: 8 * 10 Pa;
5. tüm ekipmanın toplam gücü: 150 kW.
4.Ekipman yapıları
RF plazma küre tozu üretim ekipmanı temel olarak aşağıdaki parçalardan oluşur:
1. RF plazma el feneri;
2. RF plazma güç kaynağı;
3. Gaz ve toz besleme sistemi;
4. Reaktör-kollektör ve tutucu;
5. vakum pompası sistemi;
6. Elektrik kontrol ve ölçüm sistemi;
7. Su soğutucu ünitesi;
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler