After-sales Service: | Installation, Training, Production Start-up |
---|---|
Warranty: | 1 Year |
Customized: | Customized |
Condition: | New |
Power Source: | Electric |
Automatic Grade: | Automatic |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
1.Giriş
RF plazma yüksek enerji yoğunluğu, yüksek ısıtma yoğunluğu, büyük hacimli plazma arkı, basit proses vb. gibi iyi özelliklere sahiptir. Ayrıca elektrodeless olduğu için elektrodun buharlaşmasından kaynaklanan ürün kirliliği yoktur .
İlke: Ağır gaz (argon) , yüksek frekanslı güç kaynağının etkisi altında yüksek sıcaklık argonu için kararlı bir plazma şaloması olması için iyonlaştırılmıştır; ham toz maddeleri , toz besleyici aracılığıyla taşıyıcı gaz (nitrojen) tarafından plazma meşaleye konmuştur. toz parçacıkları , plazma meşalesinde yüksek sıcaklık olduğunda ve yüzeyleri hızlı bir şekilde eriydiğinde çok fazla ısı emer; toz, reaktöre çok yüksek bir hızda sokulur ve ardından atıl gaz altında hızlı bir şekilde soğutulur ve yüzey gerilimi etkisi altında küresel toz haline katılır ve toz toplayıcıda toplanır.
2. Özellikler
1. Yüksek ısıtma sıcaklığı, yüksek soğutma hızı ve elektrot kirliliği yok;
2. Plazmada dinamik olarak dağıtılan, sersemleşmeyi ve toz büyümesini önleyen, erime ve küreselleşme için uygun malzemeler;
3. Mo, Ti, W, WC, alüminyum oksit, silikon oksit, zirkonyum oksit vb.;
4. Normal toz şekli ve küre dizilimi oranı %90'in üzerinde; düz ve parlak yüzey; iyi flowawability; toz kompaktlığı ve yığın yoğunluğu artıyor.
3.Teknik Parametreler
1. Toplam güç: 100 kW;
2. RF el feneri: 100 kW, 3 MHz;
3. Kapasite: 3 kg/sa;
4. Ultimate vakum derecesi: 8 * 10 Pa;
5. tüm ekipmanın toplam gücü: 150 kW.
4.Ekipman yapıları
RF plazma küre tozu üretim ekipmanı temel olarak aşağıdaki parçalardan oluşur:
1. RF plazma el feneri;
2. RF plazma güç kaynağı;
3. Gaz ve toz besleme sistemi;
4. Reaktör-kollektör ve tutucu;
5. vakum pompası sistemi;
6. Elektrik kontrol ve ölçüm sistemi;
7. Su soğutucu ünitesi;
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler