| Özelleştirme: | Mevcut |
|---|---|
| Uygulama Alanı: | Havacılık, Otomotiv, Elektronik, Denizci, Tıbbi Cihazlar, Petrol ve Gaz, Enerji Üretimi, Demiryolları |
| Kaplama Malzemesi: | Metal |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Denetlenen Tedarikçi Bağımsız bir üçüncü taraf teftiş kuruluşu tarafından denetlenmiştir
Üç hedef manyetron sputtering kovası, şirketimiz tarafından bağımsız olarak geliştirilen, uygun maliyetli bir manyetron sputtering kaplama ekipmanıdır. Bu manyetron sputtering kovası standartlaştırılmış, modüler ve özelleştirilebilir.
Bu cihaz, tek katmanlı veya çok katmanlı ferroelektrik ince filmler, iletken filmler, alaşımlı filmler, yarı iletken filmler, seramik filmler, Dielektrik filmler, optik filmler, oksit filmler, sert filmler, PTFE filmler, ve benzeri. Benzer ekipmanlarla karşılaştırıldığında, bu üç hedef manyetron sputtering kovası sadece yaygın olarak kullanılmakla kalmaz, aynı zamanda küçük boyut ve kolay kullanım avantajlarına da sahiptir ve bir laboratuvarda malzeme filmleri hazırlamak için ideal bir ekipmandır.
| ürün adı | Üç ayrı kaynak, UPS'li manyetron sputtering Coater |
| Ürün numarası | RJ-MSH325-III - RFRF-UPS-SS |
| Besleme gerilimi | VAC 220, 60 Hz |
| UPS (UPS | 20 KVA 16 kW, 1 saat gecikme 16 akü, 38AH kapasiteli |
| Vakum Odası | Boyut: Çap 325 mm * Y 385 mm Malzeme: 304 paslanmaz çelik Görünüm Penceresi (Pencere): ~4'' (100 mm) , obtüratör ile |
| Örnek İstasyon | Üst numune tutucu Örnek tablo: Dia. 150 mm Örnek boyutu: Maks. 4' çap Dönüş devri: 0 dev/dak ayarlanabilir Isıtma sıcaklığı: 700°C'ye kadar |
| Su Soğutucu | Su akış hızı: 2,3 m3/sa Güç: 3P Soğutma Kapasitesi: 8250 Kcal/sa Kompresör çıkış gücü: 2,25KW |
| Manyetron Püskürtme tabancası | otomatik obtüratör ile 3 × 2'' manyetron oluklama tabancaları Sputtering orientation (Sputtering yönü) yukarı Hedef çap: 2'' Mıknatıslar: Nadir topraklama mıknatısı |
| RF Jeneratörü | Otomatik uyum özellikli 3 × RF 300W güç kaynağı Güç çıkış aralığı: 5W~300W Maksimum yansıyan güç: 100W Güç kararlılığı: ±%0.1 Harmonik bileşen: ≤ -50dbc Güç Kaynağı: Tek fazlı 187-253 VAC, 50 HZ Verimlilik: ≥ %70 Güç faktörü: ≥ %90 Yansıyan güç (maksimum güçte): < 3W Maksimum yük akımı: 30ARMS Maksimum yük gerilimi: 7500VRMS RF çıkış konektörü: 50 Ω, L29 veya özelleştirilmiş Maç süresi: 1~3 sn Eşleştirilen empedansın gerçek parça aralığı: 0 ~ 80 Ω Eşleştirilen empedansın hayali parça aralığı : -200j~+200j Soğutma yöntemi: Zorlamalı soğutma |
| Kütle Akış Ölçer | 3 × MFC kütle akış kontrolü (AR, O2 ve N2) Ölçüm aralıkları: 20 sccm'ye kadar Pnömatik izolasyon vanası ve filtresiyle . |
| Kontrol etmek için PC veya PLC ile tam otomatik kontrol | En az 100 tarif için saklayın 19 inç Düz kontrol ünitesi |
