Condition: | New |
---|---|
Certification: | ISO9001 |
Standard: | GB |
Material: | tantal |
Application: | Sputtering Target |
şekil: | yuvarlak |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Ürün kılavuzu
Metalik bir eleman olan tantal, ağırlıklı olarak tantalitte bulunur ve niyobyumla birlikte mevcuttur. Tantal dokusu çok serttir, sertlik 6-6.5'e ulaşabilir. Erime noktası 2996ºC kadar yüksektir, yalnızca tungsten ve rhenyumda ikincidir ve üçüncü sırada yer alır. Tantal, şekil verebilirdir ve ince tel benzeri bir folyoya çekilebilir. Termal genleşme katsayısı çok küçüktür. Santigrat derece başına yalnızca %6.6 oranında genişler. Ayrıca, sertliği bakırdan bile daha güçlüdür. Tantal ayrıca son derece yüksek korozyon direncine sahiptir. Soğuk veya sıcak koşullarda olsa bile hidroklorik asite, konsantre nitrik asite ve "aqua alayına" tepki vermez.
Uygulama
Tantal hedefi genellikle bakır arka hedefi ile kaynatılmıştır ve ardından, tütsüleme kaplaması elde etmek için tantal atomlarını alt tabaka malzemesinin üzerine oksitler olarak yerleştirmek üzere yarı iletken veya optik sputtering yapılır. Tantal hedefler çoğunlukla yarı iletken kaplama, optik kaplama ve diğer sektörlerde kullanılır. Yarı iletken endüstrisinde, metal tantal (ta) şu anda temel olarak fiziksel buhar birikim (PVD) kaplaması tarafından kullanılır ve hedef olarak bir bariyer katmanı oluşturur. Bilim ve teknolojinin hızlı gelişimiyle, yarı iletken endüstrisinin gelişimi, yüksek teknoloji sektörünün temelini oluşturur ve ülkenin yüksek seviyelerde bilimsel ve teknolojik seviyelerinin ve inovasyon yeteneğinin bir ölçümüdür, bu nedenle birçok ülke büyük önem taşımaktadır, Ancak, teknoloji tıkanmasının da en önemli önceliği; şu anda yarı iletken teknolojisinin sınırı çok büyük ölçekli entegre devre üretim teknolojisidir.
Standart boyutlar
Tantal sputtering hedef özellikleri: Çap (50-400) mm * kalınlık (3-28) mm, müşterinin özel boyutu ve gereksinimleri görüşülebilir
Kimyasal bileşim
Marka |
Kimyasal bileşim yüzdesi |
|||||||||||
Ta |
FE |
Si |
Ni |
G |
Ay |
TI |
Not |
O |
C |
H |
N |
|
Ta1 |
Matris |
0.005 |
0.005 |
0.005 |
0.005 |
0.002 |
0.002 |
0.050 |
0.02 |
0.004 |
0.002 |
0.005 |
Ta2 |
Matris |
0.005 |
0.005 |
0.005 |
0.005 |
0.002 |
0.002 |
0.1 |
0.03 |
0.010 |
0.002 |
0.010 |
FTa1 |
Matris |
0.005 |
0.005 |
0.005 |
0.005 |
0.002 |
0.002 |
0.005 |
0.020 |
0.003 |
0.002 |
0.005 |
FTa2 |
Matris |
0.010 |
0.030 |
0.010 |
0.005 |
0.002 |
0.002 |
0.100 |
0.035 |
0.003 |
0.002 |
0.010 |
Ta1 ve Ta2 külçelerden, FTa1 ve FTa1 ise dikey eritme çubuklarından yapılmıştır |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler