After-sales Service: | One Year |
---|---|
Warranty: | One Year |
Usage: | Lighting, Medical, Optical, Photography |
Type: | Convex Lens |
Transmittance: | >95% |
Shape: | Single-lens |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Litografi makinesi merceği
Yüksek hassasiyetli ve yüksek değerli litografi lensi, litografi makinesindeki pahalı ve karmaşık temel bileşenlerden biridir. Litografinin optik bileşenleri genellikle pozlama, aydınlatma, enerji algılama, ışık yolu sistemi ve diğer sahnelerde kullanılır. Litografi makinesinin pozlama sistemi aydınlatma sistemi ve projeksiyon objektif lensi içerir. (1) Yüksek hassasiyet: Görüntüyü doğru şekilde yapabilmek için sapmaların, litografi lensinin düzleşiminin ve cilalama gereksinimlerinin sıkı bir şekilde kontrol edilmesi yüksektir (2) Yüksek değer: Yüksek hassasiyetli optik lens üretimi, yüksek hassasiyetli taşlama makinesi ve hassas lens zımparaları gerektirir.
Malzeme boyutu
Mercek, iç çapı 8,1 cm ve dış çapı 11,6 cm olan kuvars A düzleminden yapılmıştır. B tarafının iç çapı 9,8 cm, dış çapı 11.2 ve yan kalınlığı 6,2 cm'dir. Litografi makinesinin hassas parçalarına uygulanır.
Mükemmel fiziksel ve kimyasal özelliklere sahip kuvars malzeme, teknoloji alanında önemli bir malzemedir:
• İyi ışık iletimi;
• Düşük genleşme katsayısı;
• İyi kimyasal kararlılık;
• İyi elektrik yalıtımı
Ultrasonik endüklenmiş kuvars malzeme homojenleştirme teknolojisi: Yüksek üniformite, düşük gerilim.
Uygulama alanı
Genellikle yarı iletken, biyomedikal, fotonik, nano cihazlarda kullanılan litografi makinesinin temel bileşeni olarak
Çalışma prensibi
Temel olarak optik projeksiyon teknolojisine dayanır. Özel olarak tasarlanmış bir lens sistemi aracılığıyla ışık kaynağını yüksek bir odak noktasında yerleştirerek silikon yonga plakası yüzeyine ışık yansıtır. Silikon plaka fotorezist ile kaplanmıştır ve fotorezistinin pozlama ve geliştirme işlemi istenen devre düzenini oluşturur. Daha yüksek çözünürlük ve daha yüksek desen aktarımı elde etmek için litografi makinelerinde bir dizi temel teknoloji kullanılır. Lens sistemi, bir desen oluşturmak için ışığı silikon yonga plakası üzerine odaklamak için kullanılan birden fazla lensten oluşur. Yüksek çözünürlüklü bir lens sisteminin daha küçük sapmalar, daha geniş görüş alanı ve daha yüksek optik iletim ihtiyacı vardır. Son yıllarda nanoteknoloji geliştirmesiyle birlikte, iletim litografisi daha karmaşık lens sistemlerine sahip pozlama litografi ile kademeli olarak değiştirilmiştir.
A | B | |||
i̇ç çap | dış çap | i̇ç çap | dış çap | kalınlık |
8.1 | 11.6 | 9.8 | 11.2 | 6.2 |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler