CAS No.: | 75-73-0 |
---|---|
Formula: | CF4 |
EINECS: | 200-896-5 |
Constituent: | Industrial Pure Air |
Grade Standard: | Industrial Grade |
Chemical Property: | Non-Flammable Gas |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Öğe | Dizin | ||
CF4, % (V/V) ≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
N2, 10-6 (V/V) ≤ | 4 | 20 | 40 |
O2, 10-6 (V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
CO2, 10-6 (V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
CO, 10-6 (V/V) ≤ | 0.3 | 0.5 | 1 |
SF6, 10 - 6 (V/V) ≤ | 1 | 1 | 5 |
H2O, 10 - 6 (V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
HF, 10 - 6 (V/V) ≤ | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
TFC (CH2F2, CHF3, C2F3, C3F8), 10-6 (V/V) ≤ | 1 | 10 | 30 |
Toplam yabancı madde içeriği, ppm (V/V) ≤ | 10 | 50 | 100 |
Parametre Kritik Analiz |
Birim | Şirket Teknik özellik |
Analiz Sonuçlar |
Analiz Yöntemi |
Tetraflorometan (CF4) | % (v/v) | %99.999 dak | %99.999 | G.C |
Oksijen (O2) | v. ppm | 1.0 | 0.2 | G.C |
Nitrojen (N2) | v. ppm | 1.0 | 0.6 | G.C |
Karbon monoksit (CO) | v. ppm | 0.5 | 0.2 | G.C |
Karbon Dioksit (CO2) | v. ppm | 0.5 | 0.2 | G.C |
Sülfür Hekafluorür (SF6) | v. ppm | 0.2 | 0.1 | G.C |
Triflorometan (CHF3) | v. ppm | 0.5 | 0.1 | G.C |
Diğer Halokarbon (OFC) * | v. ppm | 1.0 | 0.7 | G.C |
Toplam hidrokarbon (THC) * | v. ppm | 0.5 | 0.1 | G.C |
Nem (H2O) | v. ppm | 0.5 | 0.2 | Nem Analizörü |
Asitlik (HF olarak) | v. ppm | 0.1 | 0.08 | Asitlik Analizörü |
Toplam yabancı madde içeriği | v. ppm | ≤ 10.0 | 10.0 | G.C |
Particale (> 0,1 μm) | parça/litre | 10.0 | 1.0 | ICP-MS |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler