CAS No.: | 75-73-0 |
---|---|
Formula: | CF4 |
EINECS: | 200-896-5 |
Constituent: | Industrial Pure Air |
Grade Standard: | Industrial Grade |
Chemical Property: | Non-Flammable Gas |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
SF4 uygulaması:
karbon tetraflorür, günümüzde mikroelektronik endüstrisindeki en büyük plazma işleme gazıdır. Yüksek saflıkta gaz ve yüksek saflıkta karbon tetraflorit oksijenin karışımıdır. Silikon, silikon dioksit, silikon nitrür, fosforlu silikon cam ve tungsten film malzemelerinin işinde yaygın olarak kullanılabilir.Öğe | Dizin | ||
CF4, % (V/V) ≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
N2, 10-6 (V/V) ≤ | 4 | 20 | 40 |
O2, 10-6 (V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
CO2, 10-6 (V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
CO, 10-6 (V/V) ≤ | 0.3 | 0.5 | 1 |
SF6, 10 - 6 (V/V) ≤ | 1 | 1 | 5 |
H2O, 10 - 6 (V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
HF, 10 - 6 (V/V) ≤ | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
TFC (CH2F2, CHF3, C2F3, C3F8), 10-6 (V/V) ≤ | 1 | 10 | 30 |
Toplam yabancı madde içeriği, ppm (V/V) ≤ | 10 | 50 | 100 |
Parametre Kritik Analiz |
Birim | Şirket Teknik özellik |
Analiz Sonuçlar |
Analiz Yöntemi |
Tetraflorometan (CF4) | % (v/v) | %99.999 dak | %99.999 | G.C |
Oksijen (O2) | v. ppm | 1.0 | 0.2 | G.C |
Nitrojen (N2) | v. ppm | 1.0 | 0.6 | G.C |
Karbon monoksit (CO) | v. ppm | 0.5 | 0.2 | G.C |
Karbon Dioksit (CO2) | v. ppm | 0.5 | 0.2 | G.C |
Sülfür Hekafluorür (SF6) | v. ppm | 0.2 | 0.1 | G.C |
Triflorometan (CHF3) | v. ppm | 0.5 | 0.1 | G.C |
Diğer Halokarbon (OFC) * | v. ppm | 1.0 | 0.7 | G.C |
Toplam hidrokarbon (THC) * | v. ppm | 0.5 | 0.1 | G.C |
Nem (H2O) | v. ppm | 0.5 | 0.2 | Nem Analizörü |
Asitlik (HF olarak) | v. ppm | 0.1 | 0.08 | Asitlik Analizörü |
Toplam yabancı madde içeriği | v. ppm | ≤ 10.0 | 10.0 | G.C |
Particale (> 0,1 μm) | parça/litre | 10.0 | 1.0 | ICP-MS |
Hakkımızda:
Qingdao Ruiming Bluesky Energy Co., Ltd , Çin'in en büyük limanı olan Qingdao'da bulunmaktadır ve kullanışlı nakliye avantajlarına sahiptir.Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler