Hava, hava filtresiyle filtrelenerek ön filtreye fan aracılığıyla emilerek yüksek verimli filtreye girer, ve filtrelenmiş hava dikey veya yatay hava akışı durumunda gönderilir, böylece çalışma alanı çevre temizliği gereksinimlerinin üretimini sağlamak için 100 temizlik seviyesine ulaşabilir.
Temiz tezgah, yarı iletken endüstrisinde temiz ve kirlenmemiş bir çalışma yüzeyine atıfta bulunan bir terimdir. En küçük kirlilik bile son ürünün performansı ve güvenilirliği üzerinde önemli bir etkiye sahip olabildiği için yarı iletken cihazların üretim sürecinde çok önemlidir.
Temiz bir tezgah genellikle paslanmaz çelik veya yüksek saflıkta polimer gibi temiz oda sınıfı bir malzemeyle kaplanmış masa üstü gibi katı bir yüzeyden oluşur. Yüzey daha sonra sızdırmaz hale getirilir ve havadaki parçacıkları ve kirleticileri temizlemek için HEPA filtreleriyle donatılmıştır.
Temiz bir tezgah tutmak için temiz oda kıyafetleri giymek ve malzeme ve ekipman için uygun kullanım ve saklama protokollerini takip etmek gibi kirliliği önlemek için katı prosedürlere uyulması gerekir. Temiz tezgahın ve bileşenlerinin düzenli olarak temizlenmesi ve bakımı da temiz ve kirlenmemiş bir çalışma ortamının korunması açısından kritik önem taşır.
Özetle, temiz bir tezgah yarı iletken üretim sürecinde çok önemli bir unsurdur ve yüksek kaliteli ve güvenilir yarı iletken cihazların üretimini sağlar.
Model |
Tip |
Dış Boyut (mm) |
Çalışma Alanı Boyutu (mm) |
Malzeme |
Güç kaynağı |
Güç |
yapılandırma |
SZFM-CJ1000 |
dikey |
1000 * 700 * 1750 |
860 * 520 * 570 |
İç taraf soğuk plaka boyası 304 |
220 V 50 HZ |
150 ~ 190 W ± 5 W / motor |
Temiz aydınlatma * 1 8 delikli soket * 2 dokunmatik panel |
SZFM-CJ1500 |
dikey |
1500 * 700 * 1750 |
1360 * 520 * 570 |
İç taraf soğuk plaka boyası 304 |
220 V 50 HZ |
150 ~ 190 W ± 5 W / motor |
Temiz aydınlatma * 1 8 delikli soket * 2 dokunmatik panel |
SZFM-CJ1800 |
dikey |
1800 * 700 * 1750 |
1660 * 520 * 570 |
İç taraf soğuk plaka boyası 304 |
220 V 50 HZ |
150 ~ 190 W ± 5 W / motor |
Temiz aydınlatma * 1 8 delikli soket * 2 dokunmatik panel |