Kütle Akış Denetleyicisi Akıllı Gaz Akış Denetleyicisi MFC Endüstri Akış Kontrolörü Hava Akış Kontrolörü

MEMC2300PV serisi  kütle akış kontrolörü üç parçadan oluşur: Kütle Akış Ölçer, Süper Yüksek Hızlı Oransal Valf, Sinyal İşleme ve Kontrol Modülü.

Kütle debimetresi CMOS yarı iletken işleminden yapılmış bir MEMS sensörüdür. Akış ölçümünün çalışma prensibi, termal difüzyon ilkesini benimser. Çipin ortasında bir ısıtıcı bulunur ve ısıtıcının yukarı ve aşağı yöndeki tarafları sırasıyla termopiles ve termopile sıcaklık ölçüm elemanlarıyla donatılmıştır. Isıtıcının ve termopile dizisinin alt kısmında, ısıtıcının ısı değişimini etkili bir şekilde algılayabilen bir boşluk bulunur. Isıtma elemanı sabit bir akım sunduktan sonra, ısıtma elemanının yakınında ilgili bir sıcaklık alanı oluşur. Ortamın akışı yerel sıcaklık alanını yeniden dağıtır. Sıcaklık alanındaki değişikliğin, sıvı kütle akış hızıyla doğrusal bir ilişkisi olduğundan, sıvı kütle akış hızı, sıcaklık alanı doğru bir şekilde ölçülerek ters hesaplanabilir. Sensör, temel olarak basınç ve sıcaklık telafisi olmadan kütle akışını doğrudan ölçmek için termal difüzyon ilkesini kullanır ve mikrometre ölçeğine termal difüzyon uygular. Bu nedenle, bu sensör tarafından üretilen kütle akış ölçeri yüksek doğruluk, geniş aralık, hassasiyet ve doğru ölçüm özelliklerine sahiptir.

Aktüatör olarak süper yüksek hızlı oransal valf kullanıldığında sıkışma, yüksek verimlilik ve hassas kontrol özellikleri vardır. Yüksek hızlı ve yüksek hassasiyetli akış kontrolü, valf açıklığının hızlı ve doğru bir şekilde kontrol edilmesi ile elde edilebilir. Valf normalde kapalı ve normalde açık tiplerde mevcuttur.

Sinyal işleme ve kontrol modülü, yüksek performanslı ve güvenilir DSP kullanılarak tasarlanmış ve üretilmiştir.

Kütle akış ölçer, süper yüksek hızlı oransal valf ve sinyal işleme ve kontrol modülü kapalı döngülü kütle akış kontrol sistemi oluşturur.  Sistem, ölçüm verilerindeki rastgele hataları etkin bir şekilde önleyebilen gelişmiş adaptif kontrol algoritmalarını entegre eder, böylece sistem hızlı yanıt, yüksek doğruluk ve iyi stabilite özelliklerine sahiptir.