CAS No.: | 7783-82-6 |
---|---|
Formula: | Wf6 |
EINECS: | 232-029-1 |
Constituent: | Industrial Pure Air |
Grade Standard: | Electronic Grade |
Chemical Property: | Poisonous Gases |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Test Öğeleri | Birimler | Kalite gereksinimleri | Test sonuçları |
CF4 | ppm | 0.5 | 0.01 |
O2 | ppm | 0.5 | 0.01 |
N2 | ppm | 1 | 0.03 |
YARDIMCI | ppm | 0.5 | 0.02 |
CO2 | ppm | 0.5 | 0.01 |
SiF4 | ppm | 0.5 | 0.1 |
SF6 | ppm | 0.5 | 0.1 |
HF | ppm | 5 | 0.19 |
Al | ppb | ≤ 10 | 0.020 |
Olarak | ppb | ≤ 10 | 0.001 |
B | ppb | ≤ 10 | 0.005 |
CA | ppb | ≤ 5 | 0.200 |
CD | ppb | ≤ 2 | 0.001 |
CR | ppb | ≤ 10 | 0.020 |
FE | ppb | ≤ 10 | 0.007 |
K | ppb | ≤ 5 | 0.100 |
MN (Min. | ppb | ≤ 10 | 0.001 |
Yok | ppb | ≤ 5 | 0.040 |
TH | ppb | ≤ 0.1 | 0.001 |
TI | ppb | ≤ 10 | 0.002 |
Li | ppb | ≤ 10 | 0.002 |
U | ppb | ≤ 0.05 | 0.001 |
ZN | ppb | ≤ 10 | 0.005 |
Si | ppb | ≤ 10 | 0.100 |
Pb | ppb | ≤ 10 | 0.001 |
P | ppb | ≤ 2 | 0.300 |
Mg | ppb | ≤ 10 | 0.020 |
Ni | ppb | ≤ 20 | 0.030 |
Cu | ppb | ≤ 5 | 0.005 |
Ay | ppb | ≤ 10 | 0.001 |
Diğer metallerin toplam kirliliği | ppb | ≤ 500 | 0.0010 |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler