Termal kütle akış ölçerin çalışma prensibi, sıvı bir harici ısı kaynağı tarafından ısıtılan borudan aktığında oluşan sıcaklık alanı değişikliğini kullanarak sıvının kütle akışını ölçmektir, veya sıvıyı ısıtarak sıvı sıcaklığı ve sıvının kütlesi arasındaki ilişkiyi kullanarak sıvının kütle akışını ölçmek için.