After-sales Service: | 2 Years |
---|---|
Warranty: | 1 Years |
Uygulama: | Okul, Laboratuvar |
Özelleştirilmiş: | Özelleştirilmiş |
Yapı: | Masaüstü |
Malzeme: | Paslanmaz Çelik |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
PECVD Sistemi
PECVD sistemi, yerel olarak plazma oluşturmak amacıyla film oluşturan atomların bulunduğu gazı iyonlaştırmak için mikrodalga veya radyo frekansı kullanır. Plazmanın güçlü bir kimyasal aktivitesi vardır ve istenen filmi alt tabakaya yerleştirmek için kolayca tepki verebilmeyi sağlar. Sistem yüksek kaliteli SiO2 film, Si3N4 film, elmas film, sert film, optik film, Karbon nanotüp (CNT), C/C kompozit malzeme, SIC kaplama, grafit ürün kaplama vb.
Model | DM-12NT-PECVD | DM-14ST-PECVD | DM-17MT-PECVD |
Maks. Sıcaklık | 1200 ºC | 1.400 Cº | 1700 ºC |
Çalışma sıcaklığı | 1100°C | 1300 ºC | 1600 Cº |
Isıtma elemanı | Direnç kablosu | SIC | Si2 |
Termokupl | K Tipi | S Tipi | B Tipi |
Sıcaklık Bölgesi | Sayı/Çap/Uzunluk (özelleştirilebilir) | ||
Sıcaklık Doğruluğu | ±1 ºC | ||
Nominal Voltaj | AC220V50Hz/60Hz (özelleştirilebilir) | ||
Gaz Kontrolü | Şamandıra Akışı Ölçer/Kütle Akışı Ölçer | ||
Vakum Sistemi | Döner Pompa / Difüzyon pompası / Turbo Moleküler Pompa (İsteğe bağlı) | ||
RF Gücü | 100-1000W (İsteğe bağlı) | ||
İsteğe bağlı işlev | Dokunmatik Ekran / Uzaktan Kumanda / Bilgisayar İzleme | ||
Özelleştirilebilir |
S1. Satış sonrası hizmet nasıl olacak?
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler