After-sales Service: | Free Installing and Training, Technical Support |
---|---|
Warranty: | One Year Limited Warranty |
türler: | manyetron sputter′u izleyin |
ad: | vakumlu koltuk seyredin, pvd coater′ı izleyin |
kaplama teknolojisi: | manyetron püskürtme |
kalite kontrol: | iso9000:2008 |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Mod Boyut |
JTL-900 | JTL-1100 | JTL-1250 |
900 * 1000 mm | 1100 * 1000 mm | 1250 * 1100 mm | |
Kaplama modu ve ana onay |
Altı çok ark hedefi + bir sütun hedefi seti + bir dizi uçak dikdörtgeni manyetron sputtering hedefi | Altı çok ark hedefi + bir çift ikiz (MF) manyetron hedefler |
On iki çok ark hedefi + iki set düzlem dikdörtgeni manyetron Sputtering hedefleri + bir çift ikiz (MF) manyetron sputtering hedefi |
Güç kaynağı | Elektrik ark gücü, DC manyetron gücü, MF manyetron gücü, filaman gücü, darbe gücü, doğrusal iyonize kaynak. | ||
Proses gazı kontrolü | Kalite ölçer + elektromanyetizma seramik valf | ||
Vakum odası yapısı | Dikey tek (yan) kapı, pompa sistemi konumu, çift su soğutmalı | ||
Vakum sistemi | Molekül pompası + kökler pompası + Mekanik pompa (5.0 * 10 -5 Pa) Difüzyon pompası + kökler pompası + Mekanik pompa (5.0 * 10 -4 Pa) |
||
Malzeme pişirme sıcaklığı | 350 centi derece PID kontrolüne kadar normal sıcaklık, radyasyon ısıtma. |
||
Malzeme hareket modu | Genel dönüş Frekans kontrolü: Dakikada 0-20 dönüş | ||
Ölçüm modu | Kompozit vakum göstergesi sayısı: Atmosfer ile 1.0 * 10 -5 Pa arası | ||
Kontrol modu | Manuel/Otomatik/PC/PLC+ HMI/PC dört kontrol modu seçeneği | ||
Açıklama | Ekipmanın boyutunu müşterinin özel teknik gereksinimlerine göre tasarlayabiliriz. |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler