After-sales Service: | Technical Support, Free Installing and Training |
---|---|
Warranty: | One Year |
Type: | PVD Vacuum Coating Machine |
Coating: | vakumlu kaplama |
Substrate: | Steel |
Certification: | CE, ISO |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Özellik:
1.Manyetron sputlama prensibi katot ışıma deşarj teorisine dayanır ve katot yüzeyi manyetik alanını malzeme yüzeyine yakın genişleterek, iyonize sputtering atomlarının oranını artırır. Manyetron spututmanın hassas bir şekilde devam eder ve daha parlak bir ışık sağlar.Mod Boyut |
JTL-800 |
JTL-1100 |
JTL-1250 |
800 * 1000 mm |
1100 * 1000 mm |
1250 * 1100 mm |
|
Kaplama modu ve ana onay |
Altı çok ark hedefi + bir sütun hedefi seti + bir dizi uçak dikdörtgeni manyetron sputtering hedefi |
Sekiz çok ark hedefi + bir çift ikiz (MF) manyetron hedefler |
On iki çok ark hedefi + iki set düzlem dikdörtgeni manyetron Sputtering hedefleri + bir çift ikiz (MF) manyetron sputtering hedefi |
Güç kaynağı | Elektrik ark gücü, DC manyetron gücü, MF manyetron gücü, filaman gücü, darbe gücü, doğrusal iyonize kaynak. | ||
Proses gazı kontrolü | Kalite ölçer + elektromanyetizma seramik valf | ||
Vakum odası yapısı | Dikey tek (yan) kapı, pompa sistemi konumu, çift su soğutmalı | ||
Vakum sistemi | Molekül pompası + kökler pompası + Mekanik pompa (5.0 * 10 -5 Pa) Difüzyon pompası + kökler pompası + Mekanik pompa (5.0 * 10 -4 Pa) |
||
Malzeme pişirme sıcaklığı | 350 centi derece PID kontrolüne kadar normal sıcaklık, radyasyon ısıtma. |
||
Malzeme hareket modu | Genel dönüş Frekans kontrolü: Dakikada 0-20 dönüş | ||
Ölçüm modu | Kompozit vakum göstergesi sayısı: Atmosfer ile 1.0 * 10 -5 Pa arası | ||
Kontrol modu | Manuel/Otomatik/PC/PLC + HMI/PC dört kontrol modu seçeneği | ||
Açıklama |
Ekipmanın boyutunu şu iş açıklamasına göre tasarlayabiliriz müşteri özel teknik gereksinimi. |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler