Manyetron sputtering kaplama sistemi, PVD vakumlu sputtering ekipmanı
Manyetron sputtering teknolojisi nedir?
Manyetron sputtering, PVD kaplama teknolojisinin bir başka türüdür.
Manyetron sputtering teknolojisi şu özelliklere sahiptir:
Su soğutmalı bir hedef, dolayısıyla az radyasyon ısısı üretilir
Neredeyse tüm metalik hedef malzemeler ayrışmadan yayılırdı
İletken olmayan malzemeler radyo frekansı (RF) kullanılarak yayılabilirler
Veya orta frekanslı (MF) güç
Oksit kaplamaları yayda kullanılabilir (reaktif sputlama)
Mükemmel katman bütünlüğü
Çok pürüzsüz sputlenmiş kaplamalar (damlacıklar yok)
Katotlar (2 metre uzunluğunda) herhangi bir konuma konabilir, bu nedenle yüksek
Sputlama ekipmanı tasarımının esnekliği
Huicheng, her tür PVD vakum kaplama makinesi üretir ve tedarik eder. Artık dünyanın dört bir yanından gelen müşterilerle yüksek vakum arıtma alanında pazar lideri. Huicheng , farklı türde işlemler sunan eksiksiz bir makine serisi üretir: Yüksek vakum buharlaşma, çok ark, DC sputtering, MF manyetron sputtering, sürekli manyetron sputtering hattı vb.
Uygulanan endüstriler:
Saat, mücevher, alet, plastik, paslanmaz çelik sac vb. için yüzey vakumu kaplama
Şirketinizin kaplama uzmanları: Tam çözüm kaplama üretimi
HCVAC, vakum kaplama makinemiz ve eksiksiz servis hizmetimiz ile PVD kaplamaya kolayca girmenize yardımcı olabilir. Gereksinimlerinize göre en uygun teknolojiyi sağlayacağız.
Her müşteri için özel kaplama çözümü yapacağız; yüksek üretim verimliliği sağlamak için tüm üretim tekniklerini ihtiyaçlarınızı karşılayacak şekilde bir araya getiriyoruz.
Eksiksiz bir satış sonrası sistemi ve etkili servis önlemleri geliştirdik. Şirket artık on'dan fazla deneyimli mühendisiyle profesyonel bir satış sonrası hizmet ekibine sahip.
Kalitenin müşterinin gereksinimlerini karşılayabilmesini sağlamak için ISO 9001 standardı.
Daha fazla bilgi için lütfen bizimle iletişime geçin!
İletişim: Lillian Yang
Teknik Özellikler:
Mod
Boyut |
JTL-900 |
JTL-1100 |
JTL-1300 |
JTL-1600 |
| Φ9001000 mm |
Φ11001000 mm |
Φ13001200 mm |
Φ16001200 mm |
Kaplama modu ve ana onay |
3 elektrik yayı + 2 çift düzlem dikdörtgen katot |
6 elektrik yayı + 2 çift silindirik katot |
5 elektrik yayı + 4 çift silindirik katot |
6 elektrik yayı + 8 çift silindirik katot |
| Film Türleri |
Metal filmler, Dielektrik filmler, Kompozit filmler, reaksiyon filmleri, Muti-layer işlev filmleri |
| Güç kaynağı |
Elektrik arkı güç kaynağı, DC manyetron güç kaynağı, MF manyetron güç kaynağı. Pulse bias gerilim güç kaynağı. İyon kaynağı güç kaynağı. |
| Proses gazı kontrolü |
Kalite ölçer + elektromanyetizma seramik valf |
| Vakum odası yapısı |
Dikey tek (yan) kapı, pompa sistemi konumu, çift su soğutmalı |
| Vakum sistemi |
Molekül pompası (difüzyon pompası) + kökler pompası + Mekanik pompa (8.0 * 10 Pa) |
| Pompalama hızı |
Pompalama süresi, atmosfer basıncından değerine 15 dakikadan az 310 -3 Pa |
| Malzeme hareket modu |
Genel dönüş Frekans kontrolü: Dakikada 0-20 dönüş |
| Ölçüm modu |
Kompozit vakum göstergesi sayısı: Atmosfer ile 1.0 * 10 Pa arası |
| Kontrol modu |
Tam otomasyon kontrol sistemi PC+PLC/PC+HMI |
| Açıklama |
Ekipmanın boyutunu müşterilerin özel teknik gereksinimlerine göre tasarlayabiliriz. |
Denetlenen Tedarikçi 
