Ultra yüksek vakumlu darbeli lazer kaplama ekipmanı PLD sistemi
Özelleştirilebilir darbeli lazer püskürtücü depozisyon sisteminin kısa Tanıtımı:
PLD sistemi olarak kısaltılmış darbeli lazer konumlama sistemi, bu sistem iki parçadan oluşur: Ikaz lazeri ve vakum kaplama bölmesi; vakum kaplama bölmesi, bir döner hedef aşama, bir oksidasyon önleyici substrat ısıtma aşaması, bir çalışma gazı yolu, gaz tahliye sistemi, kurulum makinesi tablosu, vakum ölçümü ve elektrik kontrol sisteminden oluşur.
Özelleştirilebilir darbeli lazer püskürtücü konumlanmayı ayrıştırma sisteminin ekipman bileşimi:
1.Lazer
LightMachinery'ın en çok satan endüstriyel sınıf ikaz lazerleri serisine dayanan lazer, PLD uygulamaları için optimize edilmiştir; IPEX serisi ikaz lazerleri darbeli lazer konumlaması (PLD) alanında araştırmacıların ve sistem entegratörlerinin gereksinimlerini karşılamak için mükemmel performans, dayanıklılık, güvenilirlik ve kolay entegrasyon performansı sunar.
1) Lazer avantajları
(1) GasMiser-1000 seçeneği, gazı uzatmak için SIMGE teknolojisiyle çalışır kullanım ömrü ve işletme maliyetlerini azaltma
(2) darbeler arasında mükemmel spot üniformite ve enerji stabilitesi, kısa darbe genişliği
(3) Enerji, tüm tekrarlama frekanslarında sabit kalır
(4) EasyClean otomatik sızdırmazlık özelliği gazı dolu tutar ve azaltır bakım çalışmama süresi
(5) mükemmel ışın işaretleme hassasiyeti için son derece dengeli optik montaj
(6) Özel PLD uygulamasına uygun özelleştirilebilir ışın verme sistemi ihtiyaçlarının
2) PLD dengeli performans
Sabit nabız enerjisi: SIMGE ve GasMiser-1000 teknolojilerini bir araya getiren IPEX-740/760 serisi ikaz lazerleri, tek bir gaz değişiminden sonra benzersiz dinamik ve statik gaz ömrüne sahiptir. Tekinden maksimum tekrar frekansına kadar, puls enerjisi tüm tekrar frekanslarında sabittir. Bu yöntem, PLD proses parametrelerinin lazer çalışma süresi ve tekrarlama sıklığı değişikliğine göre değişmeyeceğinin garantisidir.
Sabit darbe kararlılığı: Gelişmiş enerji izleme yöntemi, deşarj voltajını ve karışık gazı doğru şekilde ayarlayabilen ve tüm çalışma koşullarında sabit bir çıkış enerjisi sağlayabilen (Patlama modu dahil) puls enerjisini ayarlamak için kullanılır. Darbeden nabza stabilite %1'den daha iyidir.
Sabit işaretleme stabilitesi: Optik onarımdan sonra yeniden kalibrasyon gerekmemesini sağlayan, 200 μrad'a kadar üstün işaretleme dengesi sağlayan yüksek stabilite özelliğine sahip çekirdek optik braket.
Sabit ışın kalitesi: IPEX-740/760 serisi lazerlerin ışın yoğunluğu dağılımı, keskin bir kenara ve düz bir üste sahip olacak şekilde tasarlanmıştır; özellikle lazer odasının çalışma ömrü içinde minimum değişikliğe sahiptir.
3) Lazer özellikleri
| Dalga boyu (nm) |
193 (ArF) |
248 (KF) |
308 (XeCl) |
| Tüm tekrar hızlarında Sabit Nabız Enerjisi (MJ |
IPEX-740 Serisi |
150 |
400 |
250 |
| IPEX-760 Serisi |
200 |
600 |
500 |
| Düşük tekrar oranlarında maksimum Nabız Enerjisi (MJ |
IPEX-740 Serisi |
230 |
450 |
300 |
| IPEX-760 Serisi |
250 |
700 |
600 |
| Dengeli Ortalama Güç (W) |
IPEX-746 |
15 |
40 |
25 |
| IPEX-744 |
6.0 |
20 |
12 |
| IPEX-742 |
3.0 |
10 |
6.0 |
| IPEX-766 |
10 |
30 |
25 |
| IPEX-764 |
5.0 |
18 |
10 |
| IPEX-762 |
2.5 |
9.0 |
5.0 |
| Maksimum Tekrarlama Hızı (pps) |
IPEX-746 |
100 |
100 |
100 |
| IPEX-744 |
40 |
50 |
50 |
| IPEX-742 |
20 |
25 |
25 |
| IPEX-766 |
40 |
50 |
40 |
| IPEX-764 |
25 |
30 |
20 |
| IPEX-762 |
12 |
15 |
10 |
Darbe Süresi (ns)
(FWHM, nominal) |
IPEX-740/760 Serisi |
12 - 20 |
Kiriş Boyutları (mm)
(V × Y, nominal) |
IPEX-740 Serisi |
12 × 26 |
| IPEX-760 Serisi |
12 × 28 |
Işın ayrıştırma (mrad)
(V × Y, nominal) |
IPEX-740/760 Serisi |
1 × 3 |
2.vakum kaplama bölmesi
1) 1 set vakum odası bileşeni
Küresel vakum odasının boyutu, 450 mm'dir. Yüksek kaliteli paslanmaz çelikten yapılmıştır. Argon arkı ile kaynaklanmıştır. Yüzey özel bir işlemle parlatılır. Arabirim, metal bir conta veya florin kauçuk bir halka ile mühürlenmiştir.
2) 1 dönen hedef platform bileşeni seti
(1) dört hedef aynı anda yüklenebilir, hedef boyut: (I) Φ60 mm ve (ii) Φ25 mm;
(2) her hedef dönüş yapabilir, dönüş hızı 5~60 dev/dak'dır, sürekli ayarlanabilir, motor tahrikli manyetik bağlantı mekanizması tarafından kontrol edilir;
(3) Hedef konum dönme çevirme mekanizması, motor tahrikli manyetik bağlantı mekanizması tarafından kontrol edilir.
(4) Hedef malzeme kalkanı 4 hedefi korur ve hedef malzemeler arasında çapraz kontaminasyonu önlemek için her seferinde yalnızca bir hedef malzeme filme yayılacak.
3) antioksidan substrat ısıtma masası grubu 1 seti
(1) alt tabaka boyutu: φ2-alt tabaka yerleştirilebilir;
(2) Alt tabaka ısıtmasının maksimum sıcaklığı 800 ºC ± 1 ºC'dir, termokupl kapalı döngü geri bildirimi ile kontrol edilir ve ısıtıcı antioksidan malzemeden yapılmıştır.
(3) Alt tabaka sürekli olarak dönebilir, hız 5~60 dev/dak'dır ve motor tahrikli manyetik bağlantı mekanizması tarafından kontrol edilir;
(4) Alt tabaka ile hedef platform arasındaki mesafe 30 - 90 mm arasında ayarlanabilir ve oda dışındaki manuel körük ayarlama mekanizması tarafından kontrol edilir;
(5) Manuel kontrol numune bölme bileşenleri: 1 set;
(6) Numune tutucu: 2;
4) Pencere ve flanş arabirimi parçaları 1 seti
5) Lazer ışını tarama kontrol sistemi 1 seti
İki boyutlu mekanik tarama platformu, iki motor kontrol seti veya manuel kontrol;
6) Çalışma gazı hattı 2 kanal
7) gaz pompalama ünitesi, valf, boru hattı 1 seti
8) 1 makine montaj çerçevesi grubu seti
Yüksek kaliteli kare çelik profil kaynaklı, hızlı boşaltma oluklu yüzey spreyi uygulaması; paslanmaz çelik kaplama dekorasyonu olan makine yüzeyi; dört tekerlek sabit ve hareket ettirilebilir
9) vakum ölçümü ve elektrikli kontrol sistemi 1 seti
10) Beyin kontrol sistemi 1 seti
Özelleştirilebilir darbeli lazer püskürtücü konumlanmayı bozma sisteminin ilgili fotoğrafları:
2005 yılında kurulan Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd., laboratuvar teknolojisi araştırma ekipmanlarının geliştirilmesi ve üretimi konusunda uzmanlaşmış bir şirkettir. Ürünler karıştırılır, preslenmiş, yanmış, kesilmiş, taşlıdır, cilalı, kaplamalı, analitik ekipman ve ilgili sarf malzemeleri. Ürünler arasında laboratuvar sinterleme ekipmanı, kaplama ekipmanı ve diğer ürünler yer alır. Şu anda ABD, Avrupa ve Güneydoğu Asya gibi 25 ülke ve bölgeye ihraç edilen ülke, çeşitli bilimsel araştırma birimleri tarafından da iyi karşılandı.
Gelişmiş bir teknoloji araştırma ve geliştirme ekibimiz var, teknisyen sayısı 33, şirketin 150 çalışanı, 500 metrekareden fazla ofis alanı var, fabrika Zhengzhou Yüksek Teknoloji Bölgesi Elektronik Endüstriyel Park'ta bulunan yaklaşık 1,500 metrekarelik bir alanı kapsıyor. Ürünler daha çok araştırma pazarında yer alıyor ve üniversitelerin ve üniversitelerin laboratuvarlarında bilimsel araştırmalar yapıyor ve ürünleri ihtiyaçlarınıza göre özelleştirebiliyor.
S. bir üretici veya ticari şirket misiniz?
A. Profesyonel laboratuvar cihazı üreticiyiz, kendi tasarım ekibi ve fabrikamız var, olgun teknik deneyime sahibiz ve ürünlerin kalitesini ve optimum fiyatı garanti edebiliriz.
S. şirketinizin ürün satış sonrası servis sistemi nasıl?
A. Ürün garanti süresi 12 aydır, ömür boyu bakım sağlayabiliriz. Teknik sorunları çözmek için 24 saat içinde size yanıt verebilecek profesyonel satış öncesi ve satış sonrası departmanlarımız var.
S. Teslimat zamanınız ne kadar? Cihazı özelleştirmek istersem ne kadar sürer?
A. 1. Mallar stokta ise 5-10 gündür. 2.Müşterilerimiz için özelleştirilmiş hizmetler sağlayabiliriz. Özel cihazın teknik özelliklerine bağlı olarak genellikle 30-60 gün sürer.
S. Ülkemizin güç kaynağı ve fişi farklıdır. Nasıl çözüyorsunuz?
A. farklı ülkelerin elektrik fişlerine göre yerel gereksinimlerinize uygun bir transformatör ve fiş tedarik edebiliriz.
S. nasıl ödeme yapılır?
A.T/T, L/C, D/P vb..., Alibaba Ticaret Garantisi'nin kullanılması önerilir.
S. malların paketi nasıl? Teslimat yöntemleri?
A. 1. Standart ihracat fumigation işareti ahşap kutu ambalaj 2. Müşteri gereksinimlerine göre hızlı hava, deniz taşımacılığı, en uygun yolu bulun.
Daha fazla soru için lütfen müşteri hizmetleriyle iletişime geçin
Denetlenen Tedarikçi 
