İki sıcaklık bölgesi CVD 1200C Yüksek Sıcaklık Laboratuvarı kimyasal buharı CVD makinesini konumdan alın
CVD grafik makinesinin ürün açıklaması
CVD (kimyasal buhar Deposition), ince bir film oluşturmak için yüksek sıcaklıklarda bir alt tabaka yüzeyiyle gaz faz reaktantlarının reaksiyonunu içeren yaygın olarak kullanılan ince film deposition tekniğidir. CVD sisteminin bazı genel teknik parametreleri şunlardır: 1. Reaksiyon odası sıcaklığı: İstenen reaksiyon sıcaklığına ve malzemesine bağlı olarak genellikle birkaç yüz ila birkaç bin santigrat derece arasında değişir.
2.reaksiyon gazları: Amonyak, hidrojen, oksijen, silikon dioksit gibi istenen ince film malzemesine ve yapısına bağlı olarak farklı reaksiyon gazları kullanılabilir, vb.
3.basınç aralığı: Tepkimeye giriş ve tepki koşullarına bağlı olarak genellikle birkaç yüz birkaç bin pastırmadan birkaç bin pastırmaya kadar değişir.
4.tepki süresi: Tepki süresi, istenilen ince film kalınlığına ve kalitesine bağlı olarak birkaç dakika ile birkaç saat arasında değişebilir.
5.Alt tabaka malzemesi: CVD sistemleri silikon, cam, metal gibi çeşitli alt tabaka malzemeleriyle kullanılabilir
6.Uygulama alanları: CVD buhar depozisyon sistemleri metal filmler, oksit filmler, nitrür filmleri, karbon nanozlar, Vb. yarı iletken, optoelektronik, enerji, biyomedikal ve diğer alanlarda önemli uygulamalara sahiptir.
CVD grafik makinesinin teknik parametreleri
RF güç kaynağı |
Sinyal frekansı |
13,56 MHz ± %0.005 |
Güç çıkış aralığı |
0 ~ 300 W |
Maksimum yansıyan güç |
100 W |
Yansıyan güç (maksimum güçte) |
3 W |
Güç kararlılığı |
±%0.1 |
Tüp fırını |
Tüp malzemesi |
Yüksek saflıkta kuvars |
Borunun dış çapı |
100 mm |
Tüp uzunluğu |
1200 mm |
Fırın odası uzunluğu |
440 mm |
Isıtma bölgesi uzunluğu |
200 mm + 200 mm (iki sıcaklık bölgesi) |
Sabit sıcaklık bölgesi uzunluğu |
200 mm |
Sürekli çalışma sıcaklığı |
Maks. 1100°C |
Sıcaklık kontrolü doğruluğu |
±1 ºC |
Sıcaklık kontrol modu |
30 segmentli program sıcaklık kontrolü |
Ekran modu |
LCD |
Sızdırmazlık yöntemi |
304 paslanmaz çelik vakum flanşı |
Gaz beslemesi sistem |
Model |
CY-6Z |
Kanal Numaraları |
6 |
Ölçüm birimi |
Kütle akış kontrolörü |
Ölçüm aralığı |
A kanalı: H2 için 0 ~ 200SCCM |
Açıklamalar: Başka aralıklar gerekiyorsa, lütfen sipariş verirken belirtin. Müşterinin özel gereksinimlerine göre, ilgili gaz tipi ve aralığı akış ölçüm cihazı isteğe bağlıdır. |
B kanalı: CH4 için 0 ~ 200SCCM |
C kanalı: C2H4 için 0 ~ 200SCCM |
C kanalı: N2 için 0 ~ 500SCCM |
D kanalı: NH3 için 0 ~ 500SCCM |
E kanalı: AR için 0 ~ 500SCCM |
Ölçüm doğruluğu |
±%1.5 F.S |
Çalışma basıncı farkı |
-0,15 Mpa~0,15 Mpa |
Bağlantı borusu |
304 paslanmaz çelik |
Gaz kanalı |
304 paslanmaz çelik iğne valf |
Arabirim özellikleri |
gaz girişi ve çıkışı için 1/4" yüksfer soket |
Vakum sistemi |
Mekanik pompa |
Çift aşamalı döner kanatlı pompa |
Pompalama hızı |
1,1 L/S |
Vakum ölçümü |
Direnç göstergesi |
Üstün vakum |
1,0E-1Pa |
Pompalama arayüzü |
KF16 |
Kayar ray |
Hızlı sıcaklık artışı ve düşüşü sağlamak için iki sıcaklık bölgesi fırının kaymasını sağlar. |
Güç kaynağı |
AC220V 50 Hz |
Plazma geliştirilmiş CVD grafik makinesinin ilgili fotoğrafları
2005 yılında kurulan Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd., laboratuvar teknolojisi araştırma ekipmanlarının geliştirilmesi ve üretimi konusunda uzmanlaşmış bir şirkettir. Ürünler karıştırılır, preslenmiş, yanmış, kesilmiş, taşlıdır, cilalı, kaplamalı, analitik ekipman ve ilgili sarf malzemeleri. Ürünler arasında laboratuvar sinterleme ekipmanı, kaplama ekipmanı ve diğer ürünler yer alır. Şu anda ABD, Avrupa ve Güneydoğu Asya gibi 25 ülke ve bölgeye ihraç edilen ülke, çeşitli bilimsel araştırma birimleri tarafından da iyi karşılandı.
Gelişmiş bir teknoloji araştırma ve geliştirme ekibimiz var, teknisyen sayısı 33, şirketin 150 çalışanı, 500 metrekareden fazla ofis alanı var, fabrika Zhengzhou Yüksek Teknoloji Bölgesi Elektronik Endüstriyel Park'ta bulunan yaklaşık 1,500 metrekarelik bir alanı kapsıyor. Ürünler daha çok araştırma pazarında yer alıyor ve üniversitelerin ve üniversitelerin laboratuvarlarında bilimsel araştırmalar yapıyor ve ürünleri ihtiyaçlarınıza göre özelleştirebiliyor.
S. bir üretici veya ticari şirket misiniz?
A. Profesyonel laboratuvar cihazı üreticiyiz, kendi tasarım ekibi ve fabrikamız var, olgun teknik deneyime sahibiz ve ürünlerin kalitesini ve optimum fiyatı garanti edebiliriz.
S. şirketinizin ürün satış sonrası servis sistemi nasıl?
A. Ürün garanti süresi 12 aydır, ömür boyu bakım sağlayabiliriz. Teknik sorunları çözmek için 24 saat içinde size yanıt verebilecek profesyonel satış öncesi ve satış sonrası departmanlarımız var.
S. Teslimat zamanınız ne kadar? Cihazı özelleştirmek istersem ne kadar sürer?
A. 1. Mallar stokta ise 5-10 gündür. 2.Müşterilerimiz için özelleştirilmiş hizmetler sağlayabiliriz. Özel cihazın teknik özelliklerine bağlı olarak genellikle 30-60 gün sürer.
S. Ülkemizin güç kaynağı ve fişi farklıdır. Nasıl çözüyorsunuz?
A. farklı ülkelerin elektrik fişlerine göre yerel gereksinimlerinize uygun bir transformatör ve fiş tedarik edebiliriz.
S. nasıl ödeme yapılır?
A.T/T, L/C, D/P vb..., Alibaba Ticaret Garantisi'nin kullanılması önerilir.
S. malların paketi nasıl? Teslimat yöntemleri?
A. 1. Standart ihracat fumigation işareti ahşap kutu ambalaj 2. Müşteri gereksinimlerine göre hızlı hava, deniz taşımacılığı, en uygun yolu bulun.
Daha fazla soru için lütfen müşteri hizmetleriyle iletişime geçin