Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Denetlenen Tedarikçi | İki Isıtma Bölgeli Tüp Ocağı |
440 mm uzunluğunda tek ısıtma alanlı iki ısıtma bölgesi ve 250 mm uzunluk sabit ılıman bölge 60 dakikadan az bir süre için 1200oC maksimum çalışma sıcaklığı Sürekli ısıtma için 1100°C Maks 30 segmentli programlanabilir hassas dijital sıcaklık kontrolörü Yüksek saflıkta kuvars tüp: 80 mm OD x 72 mm ID x 1400 mm Uzunluk 2.83 inç ID x 55 inç Uzunluk Giriş gücü: 208-240V AC girişi, maks 3 W Üç ısıtma bölgesi fırını isteğe bağlı olarak mevcuttur |
| Plazma RF Güç Kaynağı |
Çıkış Gücü: 5 W ±%1 stabilite ile ayarlanabilir RF frekansı: 13.56 MHz ± %0.005 stabilite Eşleştirme: Otomatik RF Çıkış Portu: 50 Ω, N tipi, dişi Gürültü: < 50 dB. Soğutma: Hava soğutma. Güç: 208 VAC, 50 Hz |
| Üç Kanallı Gaz Dağıtım İstasyonu |
Çalışma Sıcaklığı: 5~45 ºC Maks. Basınç: 3x106 Pa Doğruluk: ±%1.5 FS Astar: ± (0.5-1.5) %F.S. Çift doğruluk: ±%0.2 F.S. Kontrol Aralığı: Kontrol cihazı 1:0~100 SCCM (AR gaz kalibrasyonu) Kontrol cihazı 2: 1~199 SCCM (H2 gaz kalibrasyonu) Kontrol Cihazı 3:1~499 SCCM ( Metan kalibrasyonu ) |
| Vakum pompası ve valfi |
Alt çantada maksimum 10-2 torr vakum basıncına sahip İki Aşamalı Egzoz Sistemi bulunan Ağır Hizmet Tipi döner Kanat vakum pompası (7.8 CFM-240 L/m). KFD25 adaptör ve paslanmaz çelik boru pompa arasına bağlıdır ve hassas bilyeli valfli tüp flanşı Dijital vakum basınç göstergesi ve ekranı fırın Oiless pompa mevcuttur ve ekstra ücret karşılığında talep üzerine PID basınç kontrollü vakum sistemi mevcuttur. |
| Korozyon Önleyici basınç Göstergesi | 3,8x10 - 5 - 1125 Torr ölçüm aralığı Korozyon önleyici, gaz tipi bağımsız Güvenilir atmosfer basıncı için yüksek doğruluk ve tekrarlanabilirlik algılama Hızlı atmosfer algılama, bekleme süresini ortadan kaldırır ve işlem döngüsünü kısaltır Kolay değişim özellikli tak ve çalıştır sensör elemanı |
| Sıcaklık Kontrol Cihazı | isıtma hızı, soğutma hızı ve yerleştirme süresinin hassas kontrolü için 30 programlanabilir segment. Aşırı ısınma ve bozuk termokupl koruması ile dahili PID Otomatik Ayar işlevi. Aşırı sıcaklık koruması ve alarm , katılımcı(lar) olmadan çalışmaya olanak sağlar. /- 1 ºC sıcaklık doğruluğu. RS485 İletişim Bağlantı Noktası. |
| Kontrol Paneli | sıcaklığı, gaz akış hızını ve plazma gücünü kontrol edecek 7 inç dokunmatik ekran kontrol paneli |
| Genel boyutlar | 2400 U x 600 G x 1250 Y mm |
| R2R vakum Şampiyonu |
İki ucunda vakum ile yalıtılmış iki bölme bulunur fırın ve kuvars tüp ile bağlı Alt tabaka giriş ve çıkış makaraları yan vakum bölmesinde Alt tabaka için yeniden sarma hızı 1 mm/dak arasında ayarlanabilir 80 mm OD tüpü için maks. Hareketli alt tabaka genişliği L 65 mm Müşteri uygulamaları için 65 mm genişlik ve 0.025 mm kalınlık (~5 kg) olan bir rulo bakır folyo dahildir. İstek üzerine 100 mm OD tüpü mevcuttur ve bu tüp, maksimum 80 mm genişliğe sahip substratı besleyebilir |
| Garanti | Kaldırma süresi desteğiyle bir yıllık sınırlı garanti |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Denetlenen Tedarikçi 
