İki kanallı ALD 4 inç Tüp Ocağı Sistemi, 1200 oz′a kadar

• Tip: Seramik Isıtma Ekipmanı
• Sertifika: CE, TUV
• Yapı: Yatay tür
• Marka: Cy
• sıvı buhar kazanlı ütü: otomatik
• basınç göstergesi: korozyon önleyici
• Hayır. Modeli.: CY-ALD-1200X-4
• tüp boyutu: özelleştirilmiş
• ad: ald fırın sistemi
• garanti: bir yıl
• Taşıma Paketi: Wooden Box
• Teknik Özelikler: dia. 100mm
• Ticari Marka: CY
• Menşei: Zhengzhou, China
• HS Kodu: 85141090
• Üretim Kapasitesi: 210 Sets Per Month

Ürün Açıklaması

 İki kanallı ALD 4" Tüplü Ot Sistemi 1200 oC'ye kadar - ALD-1200X-4
ALD-1200X-4 , iki kanallı ALD valfi ve bir kanallı sıvı buhar dağıtımı (Atomik Katman Ayırma) ve nanomalzeme ve pi filminin CVD büyümesi için dört kanallı gaz dağıtım sistemi ile bir araya gelen 4 inç tüp fırınıdır,   Akıllı tasarım, ALD 'yi her araştırma grubu için daha uygun maliyetli ve uygun maliyetli hale getirir.
 

Kontrol Paneli	Buhar, ALD ve Gaz akışının tüm parametreleri, mobil arabadaki 6 inç dokunmatik ekran paneli aracılığıyla PLC tarafından kontrol edilir   İki Kanallı ALD valfi MFC gaz dağıtımı kanalları için
ALD valfi	Darbe kontrol cihazlı iki ALD valfi  (minimum 10 ms süre) Termal aktüatörlerle ısıtma kapasitesi
Sıvı buhar Jeneratörü	Otomatik sıvı buhar jeneratörü dahildir ve ALD'a bağlanır valf
Çift Bölgeli Tüp Fıskiyesi	Sürekli ısıtma için maks. 1100°C 30 segmentli iki programlanabilir hassas dijital sıcaklık kontrolörü. İki ayrı Kontrollü Isıtma Bölgesi her ısıtma bölgesi için 200 mm uzunluk 400 mm toplam ısıtma uzunluğu her iki bölge de mevcutsa 250 mm sabit merkezi sıcaklık ısıtma alanı aynı sıcaklıkta ısıtılır Termal bloklu iki bölge arasında 500 ºC maksimum sıcaklık farkı arada Giriş gücü: 208-240V AC girişi, maks 4 KW İsteğe bağlı: ALD kontrol sistemi, belo resmi olarak kısa bir tüp fırınıyla birlikte takılabilir
Korozyon Önleyici basınç Göstergesi	3,8x10 - 5 - 1125 Torr ölçüm aralığı Korozyon önleyici, gaz tipi bağımsız   Güvenilir atmosfer basıncı için yüksek doğruluk ve tekrarlanabilirlik algılama Hızlı atmosfer algılama, bekleme süresini ortadan kaldırır ve işlem döngüsünü kısaltır Kolay değiştirilebilir tak ve çalıştır sensör elemanı
Vakum pompası   (isteğe bağlı)	10E-2 Torr vakumu işleme tüpü içinde elde edilebilir Vakum pompası dahil değildir, kuru sipariş etmenizi tavsiye edin CVD işlemi için pompa
Daha fazla Bıyırıcı İsteğe bağlı	CVD için kabarcık cihazı veya buharlaştırıcı ve sabit sıcaklık kontrol modülü için sağ alt    İnce filmi izlemek için Quartz Crystal ve termokupl eklenebilir ekstra ücret karşılığında kalınlık ve sıcaklık
Fikri güncelle	ALD cihazını, geliştirilmiş hibrit Plazma oluşturmak için kullanabilirsiniz Karmaşık malzemeleri büyütmek için ALD + CVD ve ALD + PVD + CVD sistemi
Garanti	Ömür boyu destek ile bir yıllık sınırlı garanti