Üç hedef, alt tabakaları ve plakaları kaplamak için Manyetron Püskürtme Tokmağı

• Tip: Kaplama Püskürtme tabancası
• Kaplama: Vakumlu kaplama
• Substrat: Çelik
• Sertifika: CE
• Koşulunu: Yeni
• garanti: bir yıl
• Hayır. Modeli.: CY-VTC-600-3HD
• uygulama: kaplama plakası/alt tabaka filmi
• teknoloji: manyetron püskürtme
• oda boyutu: 300 mm çap * 300 mm h.
• Taşıma Paketi: Plastic Paper Inside, Wooden Box Outside
• Teknik Özelikler: Chamber size 300mm Dia. *300mm H.
• Ticari Marka: CYKY
• Menşei: Zhengzhou, China
• HS Kodu: 8486202200
• Üretim Kapasitesi: 100/Month

Ürün Açıklaması

Üç hedef için RF/DC Güç kaynağına sahip Manyetron Püskürtme Kovası Üç adede kadar alt tabaka ve yonga plakaları birlikte saçılıyor

VTC-600-3HD  , üç adet 2'' manyetron sputtering kaynağı ve üç RF/DC güç kaynağı ile birlikte bir plazma sputtering sistemidir. Bu tür bir dikiş sistemi, üç farklı hedef materyali birlikte saçıyor ve alt tabaka boyunca çeşitli kompozisyon profilleri oluşturabiliyor (örn. Li-ion şarj edilebilir pil için ternary malzemeler).  Bu sistem ayrıca ferroelektrik, alaşım, yarı iletken, seramik, dielektrik, Optik, oksit, sert, PTFE vb.

Teknik Özellikler

Giriş Gücü	Tek faz 220 VAC 50/60 Hz 2000 W (vakum pompası ve su soğutucu dahil)
Kaynak Gücü	Üç ayrı güç kaynağı tek bir kontrol kutusuna entegre edilmiştir. DC kaynağı: Metal malzemelerin kaplanması için 500 W güç RF kaynağı: 300 W güç, iletken olmayan malzemelerin kaplanması için 13.56 MHz frekans
Manyetron Püskürtme Kafası	Su soğutmalı ceketlere ve 2 panjurlar dahildir Bir Sputting Head Modeli de mevcuttur. Hedef boyut gereksinimi: 2" çap Kalınlık aralığı: Hem metalik hem de iletken olmayan hedefler için 0.1 - 5 mm (destek plakası dahil) Bir Paslanmaz Çelik Hedef ve bir Araştırma Sınıfı Al2O3 hedefi  demo testi için dahildir İsteğe bağlı 2" dibe vurma hedefleri (veya destek plakası) istek üzerine ekstra ücret karşılığında sunulur. Önerilen Sputtering Tarifi ve faydalı İpuçları Özelleştirilmiş COater: Iki DC-One RF; iki RF-bir DC; üç DC; üç RF İsteğe bağlı: 148 cm RF kablosu, değiştirme için ekstra ücret karşılığında sipariş edilebilir.
Vakum Odası	Vakum haznesi: 300 mm Çap x 300 mm Yükseklik, paslanmaz çelikten üretilmiştir Görünüm Penceresi: 100 mm Dia.Glass'ın iki parçası. Bir sabit; bir tanesi temizleme ve değiştirme için çıkarılabilir  Pnömatik güç kutuplu menteşeli tip kapak kolay hedef çıkarma imkanı sağlar değiştir
Örnek İstasyon	Numune tutucu, döndürülebilir ve melanj bir aşamadır bakır kapaklı seramik ısıtıcı Numune tutucu boyutu: Için 140 mm çap. 4 inç yonga plakası maks Dönüş hızı: Tek tip kaplama için 20 - 1 dev/dak ayarlanabilir Tutucu sıcaklığı RT ile 500°C arasında ayarlanabilir maks (2 sa maks) Dijital sıcaklık kontrol cihazı ile +/- 1.0°C hassasiyetle
Gaz Akışı Kontrolü	İki adet hassas kütle akış kontrolörü (MFC) i̇ki tip gaz girişi Akış hızı: Dokunmatik ekran kontrol panelinden ayarlanabilir 0-200 mL/dak ve 0-100ml/dak Hava giriş valfi vakum tahliyesi için takılmıştır
Vakum pompası İstasyonu	Bir mobil pompa istasyonu dahildir. Servis eden kişi istasyonun üzerine yerleştirilebilir   80 L/S hızında yüksek hızlı turbo pompa  İki kademeli mekanik pompa (220 L/dak) maksimum vakum seviyesi ve daha hızlı pompalama hızı için Odaya bağlı standart vakum seviyesi: < 4,0E-5 Torr. .  (1,0E-6 hazneli torr)  150 L/S yüksek hızlı turbo pompa tercih ederseniz vakum hazneli 10-6 torr değerine ulaşabilir (6x10 - 7 torr ve pişirme) 10^-7 torr değerine kadar ultra yüksek vakum için turbo pompaya ek olarak bir getter pompası (100 L/s H2 ve O2) gereklidir.
Su Soğutucu	Bir adet dijital sıcaklık kontrollü devridaim yapan su soğutucu dahildir.   Soğutma aralığı: 5~35°C Akış hızı: 16 L/dak Pompa basıncı: 14 psi
Genel Boyutlar	Kapak kapalıyken: 48 inç × 28 inç × 32 inç     Kapak açık: 48 inç × 28 inç × 37 inç
Coater'ın Net Ağırlığı	160 kg
Nakliye Ağırlığı ve Boyutları	Toplam 3 palet 365 lb, 48 inç x 40 inç x 45 inç 390 lb, 48 inç x 40 inç x 49 inç 210 lb, 48 inç x 40 inç x 30 inç
Uyumluluk	CE sertifikalı
Garanti	Ömür boyu destek ile bir yıllık sınırlı garanti

Ayrıntılı Resimler

Ambalaj ve Nakliye:

İç plastik kağıt, poliköpük dolgulu, dış mekan veya  istediğiniz gibi ahşap kutu.

 Müşteri talebi olarak nakliye ve nakliye. Genel olarak, ulaşım modumız deniz, hava veya demiryolu taşımacılığı ile yapılır.

Hizmetlerimiz

1.sorunuzu 24 çalışma saatinde yanıtlayın.

2.deneyimli personel tüm sorularınızı akıcı İngilizce yanıtlar.

3.Özel tasarım mevcuttur.

4.İyi eğitimli ve profesyonel mühendislerimiz ve personelimiz, müşterilerimize özel ve benzersiz bir çözüm sunar.

5.Profesyonel fabrika: Laboratuvar ekipmanlarında uzmanlaşarak üreticiyiz.

Şirket Bilgileri

Zhengzhou Tainuo Film Malzemeleri Co., Ltd. , bilimsel araştırmalarda kullanılan ekipmanların araştırma ve geliştirme, tasarım, üretim ve satışlarında esas olarak yer almaktadır. Bağımsızlık ve yenilik şirketin tefidir. Ana ürünlerimiz arasında boru fırını, fincanı, plazma temizleyici, elektrikli fırın, atmosfer fırını, CVD sistemi ve özelleştirilmiş laboratuvar ekipmanı. Bizi ziyaret etmeye hoş geldiniz.

Kısmi Şirket Ürünleri