• Yarı İletken Filmler için üç Hedef Üst Manyetron Damlama Coater Cihazı
  • Yarı İletken Filmler için üç Hedef Üst Manyetron Damlama Coater Cihazı
  • Yarı İletken Filmler için üç Hedef Üst Manyetron Damlama Coater Cihazı
  • Yarı İletken Filmler için üç Hedef Üst Manyetron Damlama Coater Cihazı

Yarı İletken Filmler için üç Hedef Üst Manyetron Damlama Coater Cihazı

Satış Sonrası Hizmet: çevrimiçi video
Garanti: 1 yıl
Tip: Kaplama üretim Hattı
Kaplama: Vakumlu kaplama
Substrat: Çelik
Sertifika: CE

İletişim Tedarikçi

Elmas Üye Fiyat 2016

Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler

Üretici/Fabrika ve Ticaret Şirketi

Temel bilgiler.

Hayır. Modeli.
CY-MSP500S-2DC-1RF
Koşulunu
Yeni
soğutma modu
su soğutmalı
su soğutucu
akış hızı 10l/mil olan devridaim yapan su soğutucu
oda boyutu
çap 300mm * 300mm
hazne malzemesi
paslanmaz çelik
açılma modu
üst kapak açık
destek pompası
döner kanatlı pompa
üstün vakum
1,0e-5pa
Taşıma Paketi
Wooden Case
Teknik Özelikler
Özel
Ticari Marka
CYKY
Menşei
Zhengzhou, China
HS Kodu
8416100000
Üretim Kapasitesi
100pieces/Month

Ürün Açıklaması

Yarı iletken filmler için üç hedef üst manyetron püskürtme kotu aracı

Üç hedef manyetron püskürtme kaplama aleti, standartlaştırma, modülerleştirme ve özelleştirme özelliklerine sahip şirketimiz tarafından bağımsız olarak geliştirilen, uygun maliyetli bir manyetron püskürtme kaplama ekipmanıdır. Bu ekipman tek katmanlı veya çok katmanlı ferroelektrik filmler, iletken filmler, alaşımlı filmler, yarı iletken filmler, seramik filmler, dielektrik filmler, optik filmler, oksit filmler, sert filmler, politetrafloroetilen filmler, Vb. DC güç kaynağı metal filmlerin hazırlanması için kullanılabilir, metal olmayan filmlerin hazırlanması için RF güç kaynağı kullanılabilir ve üç hedef çok katmanlı veya çok katmanlı kaplamanın ihtiyaçlarını karşılayabilir. Benzer ekipmanlarla karşılaştırıldığında, üç hedef manyetron püskürtme kaplama cihazı sadece yaygın olarak kullanılmakla kalmaz, aynı zamanda küçük hacmin ve kolay kullanımın avantajlarına da sahiptir. Laboratuvarda malzeme filmleri hazırlamak için ideal bir ekipmandır.

Fan motor grubu özellikleri:

Üç hedef manyetron püskürtme makinesi (DC güç kaynağı + RF güç kaynağı)
Örnek tablo Püskürtme modu Sputtering (Sputtering) yönü yukarı doğru, numune aşaması sputtering (SPuttering) hedefinin üzerinde yer alır;
Orta üst ayar numune tutucu, bir kapaklı
Numune tutucu φ150 mm
Kontrol doğruluğu ±1 ºC
Isıtma aralığı Oda sıcaklığı ~500ºC
Ayarlanabilir hız 1 dev/dak ayarlanabilir
Hedef taban mesafesi ayarlanabilir Hedef ile alt tabaka arasındaki mesafe elektriksel olarak ayarlanır


Manyetron hedef tabancası
Hedef düzlem Dairesel düzlem hedefi
Püskürtme vakumu 10 Pa~0,2 Pa
Hedef Çap 50 ~ 50,8 mm
Hedef kalınlık 2 ~ 5 mm
Not: Hedef manyetik malzemese (Fe, Co, ni gibi), kalınlık 1,5mm'den fazla olamaz ve güçlü manyetik püskürtme tabancası gerekirse ekstra şarj gerekir.
Yalıtım gerilimi 2000 V
Miktar 2 inç * 3; her tabanca için kapaklı
Kablo özellikleri SL-16
Hedef baş sıcaklığı <= 65 ºC

Vakum odası
İç duvar uygulaması Elektrolitik polisaj
Oda boyutu φ300 mm×350 mm
Hazne malzemesi 304 paslanmaz çelik
Gözlem penceresi Quartz pencere, kapakla birlikte çap φ100 mm
Sızdırmazlık yöntemi Viton contası
Açık yöntem Üst açıklık, silindir yardımcı desteği











Gaz kontrol sistemi
Akış kontrolü 3 yollu kütle akış ölçer:
Oksijen: Aralık 0 ~ 100 SCCM
Argon gazı: Aralık 0 ~ 200SCCM
Nitrojen: Aralık 0 ~ 500SCCM
(Not: Oksijensiz ortamda daha yüksek bir etki elde etmek için vakum odası en az 3 kez yüksek saflıkta soy gaz ile temizlenmelidir.)
Gaz tipi Argon, nitrojen, oksijen ve diğer atıl gazlar
Kontrol valfi tipi Solenoid valfi
Kontrol valfi statik durumu Normalde Kapalı
Doğrusallığı ölçme ±%1.5 F.S
Ölçüm tekrarlanabilirliği ±%0.2 F.S
Yanıt süresini ölçme ≤ 8 saniye (T95)
Çalışma basıncı aralığı 0,3 MPa
Valf gövdesi basıncı 3 MPa
Çalışma sıcaklığı (5 ~ 45)
Gövde malzemesi Paslanmaz çelik 316L
Valf gövdesi sızıntı hızı 1 × 10 Pa.m3/sn
Boru bağlantıları 1/4> Sıkıştırma bağlantısı
Giriş ve çıkış sinyali 0 ~ 5 V
Güç kaynağı ±15 V (±%5) (+15 V 50 mA,  -15 V 200 mA)
Genel boyutlar (mm) 130 (genişlik) × 102 (yükseklik) × 28 (kalınlık)
İletişim Arabirimi RS485 MODBUS protokolü
DC güç kaynağı Güç kaynağı 500 W
Çıkış gerilimi 0 ~ 600 V
Maksimum çıkış akımı 1 A
Zamanlama uzunluğu 65000 S
Başlangıç zamanı 1 ~ 10 SN
Miktar 2 set
RF güç kaynağı Güç kaynağı 500 W
Güç çıkış aralığı 0 W - 500 W, otomatik eşleşme ile
Maksimum yansıyan güç 100 W
RF frekansı 13,56 MHz +/- %0.005 kararlılık
Güç kararlılığı ≤ 5 W
Harmonik bileşen 50 db'den az
Miktar 1 set

Çift hedef manyetron sputtering Coater ürün resimleri:
Three Target Upper Magnetron Sputtering Coater Instrument for Semiconductor FilmsThree Target Upper Magnetron Sputtering Coater Instrument for Semiconductor FilmsThree Target Upper Magnetron Sputtering Coater Instrument for Semiconductor FilmsThree Target Upper Magnetron Sputtering Coater Instrument for Semiconductor Films


Three Target Upper Magnetron Sputtering Coater Instrument for Semiconductor FilmsThree Target Upper Magnetron Sputtering Coater Instrument for Semiconductor Films

Three Target Upper Magnetron Sputtering Coater Instrument for Semiconductor Films

2005 yılında kurulan Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd., laboratuvar teknolojisi araştırma ekipmanlarının geliştirilmesi ve üretimi konusunda uzmanlaşmış bir şirkettir. Ürünler karıştırılır, preslenir, yakılır, kesilir, topraklanır, cilalı, kaplamalı, analitik ekipman ve ilgili sarf malzemeleri. Ürünler arasında laboratuvar sinterleme ekipmanı, kaplama ekipmanı vb. bulunur. Şu anda ABD, Avrupa ve Güneydoğu Asya gibi 25 ülke ve bölgeye ihraç edilmiş olan şirket, çeşitli bilimsel araştırma birimleri tarafından iyi karşılandı.

Gelişmiş bir teknoloji araştırma ve geliştirme ekibimiz var, teknisyen sayısı 33, şirketin 150 çalışanı, 500 metrekareden fazla ofis alanı var, fabrika Zhengzhou Yüksek Teknolojili Bölge Elektronik Endüstriyel Park'ta bulunan yaklaşık 1,500 metrekarelik bir alanı kapsıyor. Ürünler daha çok araştırma pazarında yer alıyor ve üniversitelerin ve üniversitelerin laboratuvarlarında bilimsel araştırmalar yapıyor ve ürünleri ihtiyaçlarınıza göre özelleştirebiliyor.
Three Target Upper Magnetron Sputtering Coater Instrument for Semiconductor Films
Three Target Upper Magnetron Sputtering Coater Instrument for Semiconductor Films
Three Target Upper Magnetron Sputtering Coater Instrument for Semiconductor Films

S. bir üretici veya ticari şirket misiniz?

A. Profesyonel laboratuvar cihazı üreticileriz, kendi tasarım ekibi ve fabrikamız var, olgun teknik deneyime sahibiz ve ürünlerin kalitesini ve optimum fiyatı garanti edebiliriz.

S. şirketinizin ürün satış sonrası servis sistemi nasıl?

A.  Ürün garanti süresi 12 aydır, ömür boyu bakım sağlayabiliriz. Teknik sorunları çözmek için 24 saat içinde size yanıt verebilecek profesyonel satış öncesi ve satış sonrası departmanlarımız var.

S. Teslimat süreniz ne kadar? Cihazı özelleştirmek istersem ne kadar sürer?

A. 1. Mallar stokta ise 5-10 gündür. 2.Müşterilerimiz için özelleştirilmiş hizmetler sağlayabiliriz. Özel cihazın teknik özelliklerine bağlı olarak genellikle 30-60 gün sürer.

S. Ülkemizin güç kaynağı ve fişi farklıdır. Nasıl çözüyorsunuz?

A. farklı ülkelerin elektrik fişlerine göre yerel gereksinimlerinize uygun bir transformatör ve fiş tedarik edebiliriz.

S. nasıl ödeme yapılır?

A.T/T, L/C, D/P vb..., Alibaba Ticaret Garantisi'nin kullanılması önerilir.

S. Ürün paketi nasıl? Teslimat yöntemleri?

A. 1. Standart ihracat fumigation işareti ahşap kutu ambalaj 2. Müşteri gereksinimlerine göre hızlı hava, deniz taşımacılığı, en uygun yolu bulun.

Daha fazla soru için lütfen müşteri hizmetleriyle iletişime geçin

Sorgunuzu doğrudan bu sağlayıcıya gönderin

*İtibaren:
*Şuradan:
*Mesaj:

Lütfen 20 ila 4000 karakter arasında girin.

Aradığınız şey bu değil? Satın Alma talebini Şimdi Yayınla

Kategoriye Göre Benzer Ürünleri Bulun

Tedarikçi Ana Sayfası Ürünler Oluk kaplaması Manyetron Payı Kaplaması Yarı İletken Filmler için üç Hedef Üst Manyetron Damlama Coater Cihazı

Bunları Da Beğenebilirsiniz

İletişim Tedarikçi

Elmas Üye Fiyat 2016

Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler

Üretici/Fabrika ve Ticaret Şirketi
Kayıtlı Sermaye
75379.11 USD
Ödeme Koşulları
AKREDITIF, T/T, D/P, Western Union