Satış Sonrası Hizmet: | çevrimiçi video |
---|---|
Garanti: | 1 yıl |
Tip: | Kaplama üretim Hattı |
Kaplama: | Vakumlu kaplama |
Substrat: | Çelik |
Sertifika: | CE |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Üç hedef manyetron püskürtme kaplama aleti, standartlaştırma, modülerleştirme ve özelleştirme özelliklerine sahip şirketimiz tarafından bağımsız olarak geliştirilen, uygun maliyetli bir manyetron püskürtme kaplama ekipmanıdır. Bu ekipman tek katmanlı veya çok katmanlı ferroelektrik filmler, iletken filmler, alaşımlı filmler, yarı iletken filmler, seramik filmler, dielektrik filmler, optik filmler, oksit filmler, sert filmler, politetrafloroetilen filmler, Vb. DC güç kaynağı metal filmlerin hazırlanması için kullanılabilir, metal olmayan filmlerin hazırlanması için RF güç kaynağı kullanılabilir ve üç hedef çok katmanlı veya çok katmanlı kaplamanın ihtiyaçlarını karşılayabilir. Benzer ekipmanlarla karşılaştırıldığında, üç hedef manyetron püskürtme kaplama cihazı sadece yaygın olarak kullanılmakla kalmaz, aynı zamanda küçük hacmin ve kolay kullanımın avantajlarına da sahiptir. Laboratuvarda malzeme filmleri hazırlamak için ideal bir ekipmandır.
Fan motor grubu özellikleri:
Üç hedef manyetron püskürtme makinesi (DC güç kaynağı + RF güç kaynağı) | ||
Örnek tablo | Püskürtme modu | Sputtering (Sputtering) yönü yukarı doğru, numune aşaması sputtering (SPuttering) hedefinin üzerinde yer alır; Orta üst ayar numune tutucu, bir kapaklı |
Numune tutucu | φ150 mm | |
Kontrol doğruluğu | ±1 ºC | |
Isıtma aralığı | Oda sıcaklığı ~500ºC | |
Ayarlanabilir hız | 1 dev/dak ayarlanabilir | |
Hedef taban mesafesi ayarlanabilir | Hedef ile alt tabaka arasındaki mesafe elektriksel olarak ayarlanır | |
Manyetron hedef tabancası |
Hedef düzlem | Dairesel düzlem hedefi |
Püskürtme vakumu | 10 Pa~0,2 Pa | |
Hedef Çap | 50 ~ 50,8 mm | |
Hedef kalınlık | 2 ~ 5 mm Not: Hedef manyetik malzemese (Fe, Co, ni gibi), kalınlık 1,5mm'den fazla olamaz ve güçlü manyetik püskürtme tabancası gerekirse ekstra şarj gerekir. |
|
Yalıtım gerilimi | 2000 V | |
Miktar | 2 inç * 3; her tabanca için kapaklı | |
Kablo özellikleri | SL-16 | |
Hedef baş sıcaklığı | <= 65 ºC | |
Vakum odası |
İç duvar uygulaması | Elektrolitik polisaj |
Oda boyutu | φ300 mm×350 mm | |
Hazne malzemesi | 304 paslanmaz çelik | |
Gözlem penceresi | Quartz pencere, kapakla birlikte çap φ100 mm | |
Sızdırmazlık yöntemi | Viton contası | |
Açık yöntem | Üst açıklık, silindir yardımcı desteği | |
Gaz kontrol sistemi |
Akış kontrolü | 3 yollu kütle akış ölçer: Oksijen: Aralık 0 ~ 100 SCCM Argon gazı: Aralık 0 ~ 200SCCM Nitrojen: Aralık 0 ~ 500SCCM (Not: Oksijensiz ortamda daha yüksek bir etki elde etmek için vakum odası en az 3 kez yüksek saflıkta soy gaz ile temizlenmelidir.) |
Gaz tipi | Argon, nitrojen, oksijen ve diğer atıl gazlar | |
Kontrol valfi tipi | Solenoid valfi | |
Kontrol valfi statik durumu | Normalde Kapalı | |
Doğrusallığı ölçme | ±%1.5 F.S | |
Ölçüm tekrarlanabilirliği | ±%0.2 F.S | |
Yanıt süresini ölçme | ≤ 8 saniye (T95) | |
Çalışma basıncı aralığı | 0,3 MPa | |
Valf gövdesi basıncı | 3 MPa | |
Çalışma sıcaklığı | (5 ~ 45) Cº | |
Gövde malzemesi | Paslanmaz çelik 316L | |
Valf gövdesi sızıntı hızı | 1 × 10 Pa.m3/sn | |
Boru bağlantıları | 1/4> Sıkıştırma bağlantısı | |
Giriş ve çıkış sinyali | 0 ~ 5 V | |
Güç kaynağı | ±15 V (±%5) (+15 V 50 mA, -15 V 200 mA) | |
Genel boyutlar (mm) | 130 (genişlik) × 102 (yükseklik) × 28 (kalınlık) | |
İletişim Arabirimi | RS485 MODBUS protokolü | |
DC güç kaynağı | Güç kaynağı | 500 W |
Çıkış gerilimi | 0 ~ 600 V | |
Maksimum çıkış akımı | 1 A | |
Zamanlama uzunluğu | 65000 S | |
Başlangıç zamanı | 1 ~ 10 SN | |
Miktar | 2 set | |
RF güç kaynağı | Güç kaynağı | 500 W |
Güç çıkış aralığı | 0 W - 500 W, otomatik eşleşme ile | |
Maksimum yansıyan güç | 100 W | |
RF frekansı | 13,56 MHz +/- %0.005 kararlılık | |
Güç kararlılığı | ≤ 5 W | |
Harmonik bileşen | 50 db'den az | |
Miktar | 1 set |
2005 yılında kurulan Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd., laboratuvar teknolojisi araştırma ekipmanlarının geliştirilmesi ve üretimi konusunda uzmanlaşmış bir şirkettir. Ürünler karıştırılır, preslenir, yakılır, kesilir, topraklanır, cilalı, kaplamalı, analitik ekipman ve ilgili sarf malzemeleri. Ürünler arasında laboratuvar sinterleme ekipmanı, kaplama ekipmanı vb. bulunur. Şu anda ABD, Avrupa ve Güneydoğu Asya gibi 25 ülke ve bölgeye ihraç edilmiş olan şirket, çeşitli bilimsel araştırma birimleri tarafından iyi karşılandı.
Gelişmiş bir teknoloji araştırma ve geliştirme ekibimiz var, teknisyen sayısı 33, şirketin 150 çalışanı, 500 metrekareden fazla ofis alanı var, fabrika Zhengzhou Yüksek Teknolojili Bölge Elektronik Endüstriyel Park'ta bulunan yaklaşık 1,500 metrekarelik bir alanı kapsıyor. Ürünler daha çok araştırma pazarında yer alıyor ve üniversitelerin ve üniversitelerin laboratuvarlarında bilimsel araştırmalar yapıyor ve ürünleri ihtiyaçlarınıza göre özelleştirebiliyor.
S. bir üretici veya ticari şirket misiniz?
A. Profesyonel laboratuvar cihazı üreticileriz, kendi tasarım ekibi ve fabrikamız var, olgun teknik deneyime sahibiz ve ürünlerin kalitesini ve optimum fiyatı garanti edebiliriz.
S. şirketinizin ürün satış sonrası servis sistemi nasıl?
A. Ürün garanti süresi 12 aydır, ömür boyu bakım sağlayabiliriz. Teknik sorunları çözmek için 24 saat içinde size yanıt verebilecek profesyonel satış öncesi ve satış sonrası departmanlarımız var.
S. Teslimat süreniz ne kadar? Cihazı özelleştirmek istersem ne kadar sürer?
A. 1. Mallar stokta ise 5-10 gündür. 2.Müşterilerimiz için özelleştirilmiş hizmetler sağlayabiliriz. Özel cihazın teknik özelliklerine bağlı olarak genellikle 30-60 gün sürer.
S. Ülkemizin güç kaynağı ve fişi farklıdır. Nasıl çözüyorsunuz?
A. farklı ülkelerin elektrik fişlerine göre yerel gereksinimlerinize uygun bir transformatör ve fiş tedarik edebiliriz.
S. nasıl ödeme yapılır?
A.T/T, L/C, D/P vb..., Alibaba Ticaret Garantisi'nin kullanılması önerilir.
S. Ürün paketi nasıl? Teslimat yöntemleri?
A. 1. Standart ihracat fumigation işareti ahşap kutu ambalaj 2. Müşteri gereksinimlerine göre hızlı hava, deniz taşımacılığı, en uygun yolu bulun.
Daha fazla soru için lütfen müşteri hizmetleriyle iletişime geçin
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler