Özelleştirilmiş: | Özelleştirilmiş |
---|---|
Yapı: | Masaüstü |
Malzeme: | Çelik |
Sertifika: | CE, TUV |
Uygulama: | Laboratuvar |
Tip: | Isıtma Tipi |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Fırın Yapı |
Hava soğutmalı çift katmanlı çelik muhafaza Maksimum enerji tasarrufu için yüksek saflıkta alüminyum fiber yalıtım Kolay tüp değişimi için dölebilir kapak |
Güç Tüketim |
5 KW |
Giriş gerilimi | AC 208-240V Tek Fazlı, 50 veya 60 Hz |
Maksimum Sıcaklık |
1200 C |
Sürekli Sıcaklık |
1100 C |
Maksimum Isıtma Oranı |
<= 20 C /dak |
Isıtma Bölgesi Uzunluk |
Üç bölge: (880 mm, toplam 35 inç) Bölge 1: 220 mm (8.6 inç ) Bölge 2: 440 mm (17.3 inç) Bölge 3: 220 mm (8.6 inç) |
Sabit Sıcaklık Bölge |
Üç bölge aynı sıcaklıkta ayarlanmışsa sabit sıcaklık bölgesi 25 inç /- 1oC sıcaklık farkı ile (625 mm) uzunluğunda. Yalnızca bir bölge ( orta bölge) kullanılıyorsa sabit sıcaklık bölgesi 4.3" (110 mm) / - 1oC sıcaklık farkı ile uzun. |
Sıcaklık Doğruluk |
/- 1oC |
Isıtma Güçleriyle |
FE-CR-Al Alaşım Mo tarafından doped |
Sıcaklık Kontrol cihazı |
Üç bölgeyi ayrı ayrı kontrol etmek için üç hassas sıcaklık kontrol cihazı. Hassas kontrol için 30 programlanabilir segmentli PID otomatik kontrolü ısıtma hızı, soğutma hızı ve bekleme süresi. Dahili aşırı ısınma ve kırık termokupl koruması. Aşırı sıcaklık koruması ve alarm katılımcı(lar). +/- 1 C sıcaklık doğruluğu. RS485 İletişim Bağlantı Noktası.. |
Kuvars Tüp ve Sızdırmazlık flanşları |
80 mm O.D x 72 mm çap x 1400 mm sigortalı kuvars tüp dahildir. Valflere ve basınç göstergesine sahip vakum flanşları dahildir. Termal blok , çizimde gösterildiği gibi tüpün içine yerleştirilmelidir altında |
Vakum sızdırmazlığı Flanşlar |
Vakum göstergeli ve valfli iki paslanmaz çelik flanş dahildir. Mekanik pompa tarafından elde edilen min. Vakum basıncı 5.5 m-torr. ( 5,5x10^-3 gövde). Basınç , mekanik + moleküler pompa kullanılarak 10^-5 torr değerine ulaşabilir. Sızıntı oranı < 5 m - torr / dak ve 24 saat sonra sabit vakum basıncı 2 torr. |
Oksijen İzleme | Oksijen Sensörü , oksijeni izlemek için kullanılabilir kullanılan gaz seviyesi CVD sistemlerinde oksidasyonu önlemek veya azaltmak için. Lütfen aşağıdaki resmi tıklatarak daha fazla bilgi edinin: |
Vakum pompası | 120 L/m döner Kanat vakum pompası , maksimum vakum basıncı ile birlikte verilir 10^-2torr. Boruya bağlantı için paslanmaz çelik hortum borusu dahildir fırın. |
Gaz Akışı Ölçer ve Basınç Ölçer |
Üç gaz akış metre (%4 doğruluk FS) mobil çantanın içine kurulmuştur ila gaz akış hızlarının izlenmesini sağlar Kompakt doğrudan okuma akış ölçer, 10-100 cc/dak Kompakt doğrudan okuma akış ölçer, 16-160 cc/dak Kompakt doğrudan okuma akış ölçer, 25-250 cc/dak |
Valfler | Yan panele dört adet paslanmaz çelik valf takılmıştır mobil kart üç emme gazının ayrı ayrı karıştırılmasını kontrol edin |
Boyutlar | Fırın: 1100 X 450 x 670 mm Alt Mobil çanta: 600x600x597 mm |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler