Tip: | Paslanmaz Çelik Isıtma Ekipmanı |
---|---|
Sertifika: | CE |
Yapı: | Yatay tür |
basınç göstergesi: | korozyon önleyici |
maks. sıcaklık: | 1100c |
sıvı buhar kazanlı ütü: | otomatik |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Kontrol Paneli | Buhar, ALD ve Gaz akışının tüm parametreleri tek bir mobil arabaya entegre edilir ve 6 inç dokunmatik ekran paneli ile PLC tarafından kontrol edilir: İki Kanallı ALD valfi MFC gaz dağıtımı kanalları için |
ALD valfi |
Darbe kontrol cihazlı iki ALD valfi (minimum 10 ms süre) Termal aktüatörlerle ısıtma kapasitesi |
Sıvı buhar Jeneratörü | Otomatik sıvı buhar jeneratörü dahildir ve ALD'a bağlanır valf |
Döner fırınlık |
Sürekli ısıtma için maks. 1100°C 30 segmentli iki programlanabilir hassas dijital sıcaklık kontrolörü. Giriş gücü: 208-240V AC girişi, maks 4 KW Dönüş hızı: 0 - 10 dev/dak |
Korozyon Önleyici basınç Göstergesi |
3,8x10 - 5 - 1125 Torr ölçüm aralığı Korozyon önleyici, gaz tipi bağımsız Güvenilir atmosfer basıncı için yüksek doğruluk ve tekrarlanabilirlik algılama Hızlı atmosfer algılama, bekleme süresini ortadan kaldırır ve işlem döngüsünü kısaltır Kolay değişim özellikli tak ve çalıştır sensör elemanı |
Vakum pompası (isteğe bağlı) |
10E-2 Torr vakumu işleme tüpü içinde elde edilebilir Vakum pompası dahil değildir, aşağıdaki resme tıklayarak CVD işlemi için kuru pompa sipariş etmenizi tavsiye edin |
Garanti | Ömür boyu destek ile bir yıllık sınırlı garanti |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler