After-sales Service: | Online Support |
---|---|
Warranty: | 1 Year |
Customized: | Non-Customized |
Structure: | Desktop |
Material: | Stainless Steel |
Certification: | CE |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
CYKY-PECVD , 500W RF plazma kaynağı, bölünmüş tüp fırını, gaz karıştırma tankına sahip 4 kanallı hassas kütle akış ölçüm cihazı ve yüksek kaliteli mekanik pompadan oluşan kompakt bir PE-CVD (Plazma Gelişmiş kimyasal buhar haznesi) tüp fırını sistemidir. PE-CVD fırın, ince filmleri yerleştirmek veya nano teli bir gaz durumundan (buhar) katı bir duruma getirmek için ideal ve ekonomik bir araçtır ve SiOx, SiNx, SiOxNy ve Amorfos silikonu (a-si:H) birikim gibi çok çeşitli malzeme biriktirme olanakları sunar.
PECVD sisteminin özellikleri:
Ayrık Tüp fırını |
· 60 dakikadan az süren maksimum 1200 ºC Çalışma Sıcaklığı · Sürekli ısıtma için 1100°C Maks · 30 segmentli programlanabilir hassas dijital sıcaklık kontrolörü · Tüp çapı: 300 mm · Bir çift vakumlu sızdırmaz flanş ve valfler o 2 inç OD x 1.7 inç ID x 48 inç Uzunluk o 3.14 inç OD x 2.83 inç ID x 48 inç Uzunluk · Giriş gücü: 208-240V AC girişi, maks 4 KW · 3-8 bölge, ayrı tüp fırını ekstra maliyetle isteğe bağlıdır |
Plazma RF Güç Kaynağı |
· Çıkış Gücü: ±%1 stabilite ile 5-500W ayarlanabilir · RF frekansı: 13.56 MHz ± %0.005 stabilite · Yansıma Gücü: 200 W maks · Eşleştirme: Otomatik · RF Çıkış Portu: 50 Ω, N tipi, dişi · Gürültü: < 50 dB. · Soğutma: Hava soğutma. · Güç: 208 VAC, 50 Hz · Not: Bu RF güç kaynağı, flanşı değiştirerek 50 - 80 mm Maks. Kuvars tüpü kabul edebilir |
Korozyon Önleyici basınç Göstergesi |
· 3,8x10 - 5 - 1125 Torr ölçüm aralığı · Korozyon önleyici, gaz tipi bağımsız |
Vakum pompası ve valfi |
· Alt çantada maksimum vakum basıncı 10-2 torr. Olan İki kademeli Egzoz sistemine sahip Ağır Hizmet Tipi döner Kanat vakum pompası · KFD25 adaptör ve paslanmaz çelik boru pompa arasına bağlıdır ve hassas bilyeli valfli tüp flanşı · Dijital vakum basınç göstergesi ve ekranı fırın |
Kütle Akış Ölçüm cihazları |
· Gaz akış hızını otomatik olarak kontrol etmek için alt kısma dijital ekranlı dört hassas kütle akış ölçer (%0.02 doğruluk) takılmıştır. · MFC 1: 0~100 sccm arasında gaz akış aralığı · MFC 2 ve 3: 0~200 sccm arasında kontrol aralığı · MFC 4: 0~500 sccm arasında kontrol aralığı · Bir gaz karıştırma tankı, ile birlikte alt çantaya takılır sıvı tahliye valfi · sol tarafa 4 adet paslanmaz çelik iğne valf takılmıştır 4 tipi gazları manuel olarak kontrol etmek için alt kutu · Gaz giriş bağlantısı: Dört 1/4NPS · Gaz çıkışı bağlantısı: Dört adet 1/4NPS |
Genel boyutlar |
· Fırın: 550 mm (U) x 380 mm (G) x 520 mm (Y) · 2 Mobil alt kutu birlikte: 1200 mm (U) x 1200 mm (G) x 1200 mm (Y) · Net ağırlık: 220 lb |
Garanti |
Bir yıllık sınırlı garanti |
Satış sonrası hizmetlerimiz, değerli müşterilerimize kapsamlı ve güvenilir destek sağlamayı taahhüt eder. Ürünlerinizin sorunsuz çalışmasını sağlamak ve ortaya çıkabilecek sorunları çözmek için tasarlanmış çok çeşitli hizmetleri kapsar.
İlk olarak, satın alma işleminden sonra belirli bir süre içinde ortaya çıkabilecek arıza ve arızaları kapsayan bir garanti hizmeti sunuyoruz. Bu tür sorunlarla karşılaşırsanız ekibimiz, ürününüzü en iyi duruma getirmek için derhal onarım veya değiştirme hizmeti verecektir.
Ayrıca, müşterilerin ürünlerini etkili bir şekilde anlamaları ve çalıştırmalarına yardımcı olmak için teknik destek de sağlıyoruz. Deneyimli profesyonellerden oluşan ekibimiz, soruları yanıtlamak veya kurulum, yapılandırma ve kullanım konusunda rehberlik sağlamak için mevcuttur.
Ayrıca, ürünlerinizin uzun vadeli performansını sağlamak için düzenli bakım hizmetleri de sunuyoruz. Bu, aşınma ve yıpranma olup olmadığının kontrol edilmesini, yazılım veya ürün yazılımının güncellenmesini ve gerekli ayarların veya kalibrasyonların yapılmasını içerir.
Son olarak, her zaman mükemmel müşteri hizmeti sunmaya kararlıyız. Ekibimiz, ürün ve hizmetlerimizle ilgili mümkün olan en iyi deneyimi yaşamanızı sağlamak için tüm endişelere ve geri bildirimlere hızlı ve profesyonel bir şekilde yanıt vermek için tasarlanmıştır.
Özet olarak, satış sonrası hizmetlerimiz müşterilere iç rahatlığı sağlamak ve ürünlerinin gelecek yıllarda optimum durumda kalmasını sağlamak için tasarlanmıştır. Müşterilerimizle uzun vadeli ilişkiler kurmaya çalışıyoruz ve onların memnuniyeti ve başarısına bağlıyız.
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler