Plazma Enhance Atomic Layer Deposition System (PEALD) Tek Plaka Deposition System (Atomik Katman Deplasman Sistemi

• Type: Coating Production Line
• Coating: Vacuum Coating
• Certification: CE
• Condition: New
• plaka boyutu: 12 inç ve altı
• yonga plakası sıcaklığı: rt-500c, hassasiyet kontrolü +-0,1c
• önlük sayısı: üç ön ürör hattı, isteğe bağlı daha fazla hat
• ön ürör hatlarının sıcaklığı: rt-200c, hassasiyet kontrolü +-0,1c
• ald valfi: bataklık zümrüt hızlı valfi
• arka plan vakumu: 5 * 10 - 3 torr
• gaz taşıyıcı sistemi: n2 veya ar
• Taşıma Paketi: Standard Export Wooden Box Packaging
• Ticari Marka: CYKY
• Menşei: Zhengzhou Henan China
• HS Kodu: 8412800090
• Üretim Kapasitesi: 200 Sets Per Month

Ürün Açıklaması

Plazma Enhance Atomic Layer Deposition (PEALD) (Plazma Geliştirme Atom Katmanı Konum Ayırma) sistemi (PEALD) tek plaka konum atma sistemi


 Ped sisteminin tanıtımı:
PEALD sistemi, özel uygulama alanında bilimsel araştırma ve endüstri kullanımı için özel olarak tasarlanmış tek gözlü bir konumlanma sistemidir. Sistemin elektriği CE kriterine tamamen uygun. Sistem, preursor kaynağı seçimini, filmin gelişmiş depozisyon oranını, azalan depozisyon sıcaklığını genişletmiştir, bu nedenle sıcaklık ve yumuşak alt katmandaki filmlere duyarlı malzemelerin film konumunda yaygın bir şekilde kullanılmaktadır.

Ürün Avantajı
Gelişmiş yazılım kontrol sistemi: Teknolojik formülasyon, parametre ayarı, popedom stetting, interlocking alarming ad state Supervisory control dahil olmak üzere birçok işlev sisteme entegre edilmiştir.

ALD Filmleri
Temel Madde: Co, Cu, ta, Ti, W, GE, Pt, RU, ni, Fe…
Nitrür: Kalay, sin, AlN, tan, ZrN, HfN, WN…
Oksit: TiO2, HfO2, SiO2, ZnO, ZrO2, Al2O3, La2O3, SnO2…
Diğerleri: Gaa'lar, Alp, InP, GAP, COA'lar, LaHfxOy, SrTiO3, SrTaO6…

Ped uygulama alanları
Yüksek-k geçit oksitleri
Depolama kapasitörü dielektrik
Cu ara bağlantıları için yüksek en boy oranı difüzyon bariyerleri
OLED'ler ve polimerler için deliksiz pastırma katmanları
MEMS uygulamaları için son derece konformal kaplamalar
Nanoforezi yapıları kaplama
Özel fiberin doping'i
Güneş pili
Düz plaka ekranı
Optik ince film
Diğer özel yapılardan Nano film

 Ped sisteminin teknik parametreleri:

Yonga Boyutu		12 inç ve altı
Yonga plakası sıcaklığı		RT-500ºC, kontrol hassasiyeti ±0,1ºC
Önlük sayısı		Üç ön ürör hattı, isteğe bağlı daha fazla hat
Ön ürör hatlarının sıcaklığı		RT-200ºC, hassasiyeti kontrol etme ±0,1ºC
Kaynak şişelerinin sıcaklığı		RT-200ºC, hassasiyeti kontrol etme ±0,1ºC
ALD Valfi		Svagelok ALD döner valf
Arka plan vakumu		5 * 10^- 3Torr
Gaz taşıyıcı sistemi		N2 veya AR
Büyüme modu		Ardışık veya aralık konum değiştirme modu
Plazma güneyi		300W uzak ICP deşarjı plazma
Plazma deşarjının gaz kaynağı		Üç standart çizgi, isteğe bağlı daha fazla çizgi
Kontrol sistemi		PLC Plus dokunmatik ekran veya ekran
Güç kaynağı		50 HZ, 220 V/20 A AC
Mevduat heterojenliği		Heterojenite < ± %1,
Cihazın boyutu		1000 mm x 750 mm x 1600 mm

 PEALD sisteminin ilgili fotoğrafları:

2005 yılında kurulan Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd., laboratuvar teknolojisi araştırma ekipmanlarının geliştirilmesi ve üretimi konusunda uzmanlaşmış bir şirkettir. Ürünler karıştırılır, preslenmiş, yanmış, kesilmiş, taşlıdır, cilalı, kaplamalı, analitik ekipman ve ilgili sarf malzemeleri. Ürünler arasında laboratuvar sinterleme ekipmanı, kaplama ekipmanı ve diğer ürünler yer alır. Şu anda ABD, Avrupa ve Güneydoğu Asya gibi 25 ülke ve bölgeye ihraç edilen ülke, çeşitli bilimsel araştırma birimleri tarafından da iyi karşılandı.

Gelişmiş bir teknoloji araştırma ve geliştirme ekibimiz var, teknisyen sayısı 33, şirketin 150 çalışanı, 500 metrekareden fazla ofis alanı var, fabrika Zhengzhou Yüksek Teknoloji Bölgesi Elektronik Endüstriyel Park'ta bulunan yaklaşık 1,500 metrekarelik bir alanı kapsıyor. Ürünler daha çok araştırma pazarında yer alıyor ve üniversitelerin ve üniversitelerin laboratuvarlarında bilimsel araştırmalar yapıyor ve ürünleri ihtiyaçlarınıza göre özelleştirebiliyor.

S. bir üretici veya ticari şirket misiniz?

A. Profesyonel laboratuvar cihazı üreticiyiz, kendi tasarım ekibi ve fabrikamız var, olgun teknik deneyime sahibiz ve ürünlerin kalitesini ve optimum fiyatı garanti edebiliriz.

S. şirketinizin ürün satış sonrası servis sistemi nasıl?

A.  Ürün garanti süresi 12 aydır, ömür boyu bakım sağlayabiliriz. Teknik sorunları çözmek için 24 saat içinde size yanıt verebilecek profesyonel satış öncesi ve satış sonrası departmanlarımız var.

S. Teslimat zamanınız ne kadar? Cihazı özelleştirmek istersem ne kadar sürer?

A. 1. Mallar stokta ise 5-10 gündür. 2.Müşterilerimiz için özelleştirilmiş hizmetler sağlayabiliriz. Özel cihazın teknik özelliklerine bağlı olarak genellikle 30-60 gün sürer.

S. Ülkemizin güç kaynağı ve fişi farklıdır. Nasıl çözüyorsunuz?

A. farklı ülkelerin elektrik fişlerine göre yerel gereksinimlerinize uygun bir transformatör ve fiş tedarik edebiliriz.

S. nasıl ödeme yapılır?

A.T/T, L/C, D/P vb..., Alibaba Ticaret Garantisi'nin kullanılması önerilir.

S. malların paketi nasıl? Teslimat yöntemleri?

A. 1. Standart ihracat fumigation işareti ahşap kutu ambalaj 2. Müşteri gereksinimlerine göre hızlı hava, deniz taşımacılığı, en uygun yolu bulun.

Daha fazla soru için lütfen müşteri hizmetleriyle iletişime geçin.