Özelleştirilmiş: | Özelleştirilmiş |
---|---|
Yapı: | Taşınabilir |
Malzeme: | Çelik |
Sertifika: | CE, TUV |
Uygulama: | Okul, Laboratuvar |
Tip: | Isıtma Tipi |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Model No | CY-O1200/50-3Z-PECVD |
Ekran | LED düğme ışığı |
Sıcaklığı sınırlama | 1200 ºC |
Çalışma sıcaklığı | ≤1100°C |
Isıtma oranı | 0 ºC/dak |
Isıtma Bölgesi uzunluğu | 440 mm, sabit sıcaklık bölgesi: 200 mm |
Kuvars tüpü çapı | OD50 * 1000 mm |
Sıcaklık hassasiyeti | ±1 ºC |
Isıtma elemanı | FE-CR-Al alaşımı Mo tarafından benimsendi |
Termal çift | K TIPI |
Soğutma yöntemi | Fan soğutmalı çift katmanlı yapı |
Sıcaklık kontrolü | 30 adımlı programlanabilir PID kontrolü |
Hazne malzemesi | Alüminyum fiber |
Aşırı sıcaklık alarmı | Evet |
Aşırı akım alarmı | Evet |
Vakum pompası | Mekanik vakum pompası |
Soğutma yöntemi | Hava soğutma |
Bağlantı borusu | paslanmaz çelik körükler, manuel klape valfi |
Gaz Karıştırıcı | 3 yönlü gaz mikseri, talep üzerine |
Doğruluk | ±%2 F.S. |
Doğruluğu tekrarla | ±%0.2 FS |
Doğrusal hassasiyet | ±%1 F.S. |
Çalışma basıncı: | -0,1 MPa~0,15 MPa |
MFC1 SiH4 Aralığı | 0 ~ 10 SCCM |
MFC2 NH3 Aralığı | 0 ~ 100 SCCM |
MFC3 BCl3 Aralığı | 0 ~ 100 SCCM veya özelleştirilmiş olarak |
RF frekansı | 13,56 MHz ± %0.005 |
Güç çıkış aralığı | 0 ~ 100 w, ayarlanabilir |
Soğutma yöntemi | Zorlamalı hava soğutma |
Çalışma gerilimi | AC220V Hz |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler