PECVD Plazma Geliştirilmiş CVD Ocağı ve RF Güç Kaynağı
PECVD Furnace ürün açıklaması
Plazma geliştirilmiş CVD fırını bir plazma jeneratör, üç ısıtma bölgeli tüp fırını, tek ısıtma bölgeli tüp fırını, RF güç kaynağı ve vakum sisteminden oluşur.
Kimyasal reaksiyonun daha düşük bir sıcaklıkta gerçekleşebilmesi için reaksiyonu desteklemek amacıyla plazma etkinliği kullanılır ve böylece CVD, plazma geliştirilmiş kimyasal buhar deposition (PECVD) olarak adlandırılır. PECVD grafik film hazırlama cihazı, 13.56 MHz RF çıkışı aracılığıyla film oluşturan bir atom içeren gazı iyonlaştırır, vakum odasında plazma oluşturur, plazmanın güçlü kimyasal aktivitesini kullanır, reaksiyon koşullarını iyileştirir ve reaksiyonu desteklemek için plazma aktivitesini kullanır, ardından alt tabakaya istenilen bir film bırakır.
uygulamalar:
Bu PECVD fırın, grafik hazırlama, sülfür hazırlama ve nanometre malzeme hazırlama gibi çeşitli test yerlerinde kullanılabilir. SiOx, SiNx, amorf silikon, mikro kristalli silikon, nano silikon gibi çeşitli filmler, SIC, elmas benzeri vb. bir şekilde bir sac veya benzer şekilli bir numunenin yüzeyine yerleştirilebilirdir ve p tipi ve n tipi doped filmler de saklanmış olabilir. Yerleştirilen film iyi bir bütünlük, kompaktlık, yapışma ve yalıtım sağlar. Kesici, yüksek hassasiyetli kalıplar, sert kaplamalar, üst düzey dekorasyon vb. alanlarda yaygın olarak kullanılır
PECVD Ocağı teknik parametreleri
| Üç ısıtma bölgeli boru fırınları |
Model |
CY-O1200-50IIIT |
| Tüp malzemesi |
Yüksek saflıkta kuvars |
| Tüp Çapı |
50 mm |
| Tüp uzunluğu |
2830 mm |
| Fırın odası uzunluğu |
660 mm |
| Isıtma bölgesi uzunluğu |
200 mm + 200 mm + 200 mm |
| Çalışma sıcaklığı |
0 ~ 1100 ºC |
| Sıcaklık kontrolü doğruluğu |
±1 ºC |
| Sıcaklık kontrol modu |
30 veya 50 segmentli program sıcaklık kontrolü |
| Ekran modu |
LCD |
| Sızdırmazlık yöntemi |
304 paslanmaz çelik vakum flanşı |
| Flanş arayüzü |
1/4" yüksfer konektörü, KF16/25/40 bağlantı |
| Vakum |
4,4E-3Pa |
| Güç kaynağı |
AC: 220V 50 Hz |
| Tek ısıtma bölgeli boru fırınları |
Model |
CY-O1200-50IT |
| Tüp malzemesi |
Yüksek saflıkta kuvars |
| Tüp Çapı |
50 mm |
| Tüp uzunluğu |
2830 mm |
| Fırın odası uzunluğu |
440 mm |
| Isıtma bölgesi uzunluğu |
400 mm |
| Sabit sıcaklık bölgesi |
200 mm |
| Çalışma sıcaklığı |
0 ~ 1100 ºC |
| Sıcaklık kontrolü doğruluğu |
±1 ºC |
| Sıcaklık kontrol modu |
30 veya 50 segmentli program sıcaklık kontrolü |
| Ekran modu |
LCD |
| Sızdırmazlık yöntemi |
304 paslanmaz çelik vakum flanşı |
| Flanş arayüzü |
1/4" yüksfer konektörü, KF16/25/40 bağlantı |
| Vakum |
4,4E-3Pa |
| Güç kaynağı |
AC: 220V 50 Hz |
| RF çıkış sistemi |
Güç aralığı |
0 ~ 500 W ayarlanabilir |
| Çalışma frekansı |
13,56 MHz + %0.005 |
| Çalışma modu |
Sürekli çıkış |
| Ekran modu |
LCD |
| Eşleşen empedans modu |
Eşleşebilir, parıltı üç ısıtma bölgeli fırın tüpü ile eşit şekilde kaplıdır |
| Güç kararlılığı |
≤ 2 W |
| Normal çalışma yansıyan güç |
≤ 3 W |
| Yansıtılan gücü güçlendirin |
≤70 W |
| Harmonik bileşen |
≤ -50 dBc |
| Makine verimliliği |
≥ %70 |
| Güç Faktörü |
≥ %90 |
| Besleme gerilimi/frekansı |
Tek fazlı AC (187 V ~ 153 V) Frekans 50 Hz |
| Kontrol modu |
Dahili kontrol/PLC analog/RS232/485 iletişimi |
| Güç koruma ayarları |
DC aşırı akım koruması, aşırı sıcaklık koruması üzerinde güç amplifikatörü, yansıyan güç koruması |
| soğutma yöntemi |
Zorlamalı hava soğutma |
| Işıma uzunluğu |
AR'de RF güç kaynağı ve bobin, parlamak için birleştirilmiştir ve ısıtma, üç ısıtma bölgesindeki fırının uzunluğunu doldurabilir. |
| Gaz besleme sistemi |
Dört kanallı kütle akış ölçer |
Kütle akış ölçer |
| Akış aralığı |
MFC1 aralığı: 0 ~ 200 sccm
MFC2 aralığı: 0 ~ 200 sccm
MFC3 aralığı: 0 ~ 500 sccm
MFC4 aralığı: 0 ~ 500 sccm
H2, CH4, N2, AR gazlarına karşılık gelen, |
| ölçüm doğruluğu |
±%1.5 F.S |
| Tekrarlanabilirlik |
±%0.2 FS |
| Doğrusal hassasiyet |
±%1 F.S. |
| Yanıt süresi |
≤4 sn |
| Çalışma basıncı |
-0,15 Mpa~0,15 Mpa |
| akış kontrolü |
LCD dokunmatik ekran kontrolü, dijital ekran, her kanal gazı, bağımsız kontrol için iğne valf içerir |
| Giriş arabirimi |
1/4NPS'ye veya 6 mm dış çapa paslanmaz bağlanabilir çelik boru |
| Çıkış arabirimi |
1/4NPS'ye veya 6 mm dış çapa paslanmaz bağlanabilir çelik boru |
| Bağlantı yöntemi |
Çift yüksfer konektörü |
| Çalışma sıcaklığı |
5 ~ 45 ºC |
| Gaz galası |
Gaz prömiyeri ile donatılmış |
| Egzoz sistemi |
Mekanik pompa |
Döner kanatlı pompa |
| Pompalama hızı |
1,1 L/S |
| Egzoz arabirimi |
KF16 |
| Vakum ölçümü |
Direnç göstergesi |
| Üstün vakum |
1,0E-1Pa |
| Güç kaynağı |
AC: 220V 50 Hz |
| Pompalama arayüzü |
KF16 |
| Ray |
Ray uzunluğu |
2,5 m~3 m
Üç ısıtma bölgesi fırında bir fırın konumu uzunluğunun kaymasını fark edebilir ve böylece hızlı sıcaklık artışı ve düşüşü elde edebilirsiniz. |
NOT: Deneyin ihtiyaçlarına göre sıcaklık, sıcaklık bölgesi, fırın boyutu, vakum sistemi ve akış ölçeri seçebilirsiniz.
PECVD Furnace ile ilgili fotoğraflar
tüp fırını
Egzoz sistemi (vakum pompası)
2005 yılında kurulan Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd., laboratuvar teknolojisi araştırma ekipmanlarının geliştirilmesi ve üretimi konusunda uzmanlaşmış bir şirkettir. Ürünler karıştırılır, preslenmiş, yanmış, kesilmiş, taşlıdır, cilalı, kaplamalı, analitik ekipman ve ilgili sarf malzemeleri. Ürünler arasında laboratuvar sinterleme ekipmanı, kaplama ekipmanı ve diğer ürünler yer alır. Şu anda ABD, Avrupa ve Güneydoğu Asya gibi 25 ülke ve bölgeye ihraç edilen ülke, çeşitli bilimsel araştırma birimleri tarafından da iyi karşılandı.
Gelişmiş bir teknoloji araştırma ve geliştirme ekibimiz var, teknisyen sayısı 33, şirketin 150 çalışanı, 500 metrekareden fazla ofis alanı var, fabrika Zhengzhou Yüksek Teknoloji Bölgesi Elektronik Endüstriyel Park'ta bulunan yaklaşık 1,500 metrekarelik bir alanı kapsıyor. Ürünler daha çok araştırma pazarında yer alıyor ve üniversitelerin ve üniversitelerin laboratuvarlarında bilimsel araştırmalar yapıyor ve ürünleri ihtiyaçlarınıza göre özelleştirebiliyor.
S. bir üretici veya ticari şirket misiniz?
A. Profesyonel laboratuvar cihazı üreticiyiz, kendi tasarım ekibi ve fabrikamız var, olgun teknik deneyime sahibiz ve ürünlerin kalitesini ve optimum fiyatı garanti edebiliriz.
S. şirketinizin ürün satış sonrası servis sistemi nasıl?
A. Ürün garanti süresi 12 aydır, ömür boyu bakım sağlayabiliriz. Teknik sorunları çözmek için 24 saat içinde size yanıt verebilecek profesyonel satış öncesi ve satış sonrası departmanlarımız var.
S. Teslimat zamanınız ne kadar? Cihazı özelleştirmek istersem ne kadar sürer?
A. 1. Mallar stokta ise 5-10 gündür. 2.Müşterilerimiz için özelleştirilmiş hizmetler sağlayabiliriz. Özel cihazın teknik özelliklerine bağlı olarak genellikle 30-60 gün sürer.
S. Ülkemizin güç kaynağı ve fişi farklıdır. Nasıl çözüyorsunuz?
A. farklı ülkelerin elektrik fişlerine göre yerel gereksinimlerinize uygun bir transformatör ve fiş tedarik edebiliriz.
S. nasıl ödeme yapılır?
A.T/T, L/C, D/P vb..., Alibaba Ticaret Garantisi'nin kullanılması önerilir.
S. malların paketi nasıl? Teslimat yöntemleri?
A. 1. Standart ihracat fumigation işareti ahşap kutu ambalaj 2. Müşteri gereksinimlerine göre hızlı hava, deniz taşımacılığı, en uygun yolu bulun.
Daha fazla soru için lütfen müşteri hizmetleriyle iletişime geçin
Denetlenen Tedarikçi 
