Yeni tasarımlı RF ve DC Güç Kaynağı Manyetron Püskürtme Sistemi İki hedefli

• Application: Industry, School, Lab
• Customized: Customized
• Certification: CE
• Structure: Vertical
• Material: Stainless Steel
• Type: Coating
• Hayır. Modeli.: CY-VTC-600-2HD
• Taşıma Paketi: Plastic Paper Inside,Polyfoam Filled,Wooden Box Ou
• Teknik Özelikler: customized
• Ticari Marka: CYKY
• Menşei: China
• HS Kodu: 8486202200
• Üretim Kapasitesi: 199/Month

Ürün Açıklaması

Yeni tasarlanmış RF ve DC güç kaynağı manyetron sputtering sistemi i̇ki hedefli

CY-VTC-600-2HD , çift hedef kaynağa sahip bir manyetron izleme sistemidir: 1) Metal kaplama için DC kaynağı
Bir kafa ve 2) RF kaynağı , diğer kafa üzerine metalik olmayan malzeme kaplaması içindir. Kullanıcının kaplama ilerlemesini kolayca izleyebilmesini ve verileri kaydedebilmesini sağlayan bir film kalınlığı takipçisi ile donatılmıştır.  
  
Bu model , çok çeşitli alt tabaka malzemelerinin (ferroelektrik, kablo kanalı, alaşım, yarı iletken, seramik, Dielektrik, optik, oksit, sert, PTFE vb.). ITS
Kompaktlık ve kullanım kolaylığı, bu ürünü Ar-Ge laboratuvarlarında kullanım için ideal bir kaplama sistemi haline getirir.  
Teknik Parametreler:
 

Giriş Gücü	220 VAC 50/60 Hz, tek fazlı 2000 W (pompa dahil)
Kaynak Gücü	İki ayrı güç kaynağı tek bir kontrol kutusuna entegre edilmiştir DC kaynağı: Metal malzemelerin kaplanması için 500W RF kaynağı: Metalik olmayan malzemelerin kaplanması için otomatik olarak 600W Kompakt 100 RF kaynağı ekstra maliyetle mevcuttur
Manyetron Püskürtme Kafası	1.  Su soğutmalı ceketli iki adet 2" Manyetron Püskürtme Kafası dahil İletken olmayan malzemeler için RF güç kaynağına bağlanır Bir diğeri kaplama için DC sputtering güç kaynağına bağlıdır metalik malzemeler 2.Hedef boyut gereksinimi: 2" çap metalik hedefler için 1/16" maks. kalınlık i̇letken olmayan hedefler için 1/4" maks. kalınlık Bir adet paslanmaz çelik ve bir adet Al2O3 seramik hedef dahildir demo testi için 3.Kafa suyu Soğutma: 10 ml/dak su akışı gerekir ve  her iki manyetron damlama kafasını soğutmak için bir adet 16 ml/dak dijital kontrollü devridaim yapan su soğutucu dahildir 4.Özel koltuk: Kablosuz iki DC kafa, RF sputluk, DC sputering'siz RF kafa, istek üzerine 3 RF kafa mevcuttur
Vakum Odası	Vakum Odası: 300 mm Çap x 300 mm yükseklik, paslanmaz çelikten yapılmıştır Gözlem Penceresi: 100 mm çap Havalı yay spor yapbozlar ile üst kısımda menteşeli tip kapak kolay hedef değiştirme
Numune tutucu	Numune tutucu boyutu: Için çapı 140 mm 4 inç yonga plakası maks Tutucu sıcaklığı RT ile 500°C arasında ayarlanabilir Maks /- 1.0 °C hassasiyetle
Gaz Akışı Kontrolü	Bir adet hassas dijital MFC (kütle akış kontrolörü) i̇ki tip gazın takılabilmesini sağlamak için takılır doldurduğu Akış hızı: 200 ml/dak maks Akış hızı 6 inç dokunmatik ekran kontrolünde ayarlanabilir panel
Vakum pompası İstasyonu	1.  Yüksek hızlı turbo vakum pompası sistemi, maksimum vakum seviyesi için doğrudan vakum haznesine takılır   2.Ağır hizmet tipi çift kademeli mekanik pompa turboya bağlıdır daha yüksek pompa hızı için pompa 3.Mobil pompa istasyonu ve kompakt sputtering koltuk birlikte verilir i̇stasyonun üstüne konabilir 4.Maks. Vakum seviyesi: -6^10 torr, oda pişirerek
Genel Boyutlar	U 1300 mm × G660 mm × Y 1200 mm
Net Ağırlık	160 kg
Garanti	Ömür boyu destek ile bir yıllık sınırlı garanti