Application: | Industry, School, Lab |
---|---|
Customized: | Customized |
Certification: | CE |
Structure: | Desktop |
Material: | Stainless Steel |
Type: | Tubular Furnace |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Yüksek kaliteli polikristalli serbest duran elmas filmlerin hazırlanması;
Yüksek kaliteli polikristalli elmas filmlerin hazırlanması;
Grafik, karbon nanomestler, doluluk dolusu ve elmas filmler gibi çeşitli karbon nano filmlerin hazırlanması.
Özellikler
a. Paslanmaz çelik boşluk tipi 6 kw mikrodalga plazma ekipmanı, yüksek güç yoğunluğu;
b. Su soğutmalı substrat aşaması ve su soğutmalı metal bölme, sistemin uzun süre boyunca sürekli çalışmasını sağlar;
c. Alt tabaka sıcaklığı, mikrodalga plazmanın kendi kendine ısıtılmasıyla elde edilir;
d. Vakum ölçüm aleti, arka plan vakumu ve çalışma gazı basıncını doğru bir şekilde ölçebilen tam aralıklı bir vakum göstergesi kullanır;
e. Vakum pompası ve valfi turbo moleküler pompayı (en yüksek vakum 1 × 10 Pa'dır) ve döner kanatlı mekanik vakum pompasını (en yüksek vakum 1 Pa'dır) benimser ve sistem, konum tahliye basıncını otomatik olarak kontrol edebilir;
f. Cihazın yüksek güç altında uzun süreli güvenli ve dengeli çalışmasını sağlamak için soğutma suyu devridaim sistemi;
g. 15 inç dokunmatik ekran, PLC otomatik kontrol, sıcaklığı veya basıncı sabit olarak ayarlayabilir, 20 set proses dosyası kaydedebilir ve yeniden kullanılabilir;
Yüksek kaliteli elmas filmleri ve kristalleri sağlam ve güvenilir bir şekilde hazırlayabilen tam otomatik proses kontrol modülü
Teknik özellikler:
Mikrodalga sistemi |
mikrodalga frekansı |
2450 ± 25 MHz |
çıkış gücü |
0,6 kw sürekli ayarlanabilir |
|
Mikrodalga ayarı |
3-stub tuner Mod dönüştürme anteni |
|
Mikrodalga yansıma koruması |
Dairesel, su yükü |
|
Mikrodalga çalışma modu |
TM013 |
|
mikrodalga sızıntısı |
≤ 2 mw/cm2 |
|
vakum sistemi |
Çalışma basıncı aralığı |
10 ~ 250 Torr |
Otomatik basınç kontrolü |
40 ~ 250 Torr |
|
Vakum pompası |
4,4 L/s döner kanatlı vakum pompası |
|
Vakum bütünlüğü |
<1,0x10 - 9 Pa * m3 /sn (Helyum sızıntı dedektörü ile) |
|
Basınç tutma kapasitesi |
Basınç artışı her 24'de 0.2 Torr'dan azdır saat |
|
Üstün vakum |
0,1 Pa (7.5 x10-4 Torr) |
|
Vakum ölçümü |
Marka film göstergesi |
|
Vakum reaktörü |
Reaktör malzemeleri ve yapıları |
çift katmanlı su soğutmalı paslanmaz çelik |
Vakum contası |
Metal conta + flüorubber halka conta (yükleme kapısı) |
|
Reaktör Kimliği |
φ140 mm |
|
Numune tablosu penceresi |
105 x 50 mm Dikdörtgen bağlantı noktası, Ön kapı florin O-halkası ile mühürlendi |
|
Saat penceresi |
Iki bağlantı noktası, CF35 büyük delik, 180° dağıtım |
|
Sıcaklık ölçüm penceresi |
İki camın yatay açısı 25 ~ 30°'dir, 180° dağıtım; Pencere, sıcaklık değerini algılayabilir üst kısmın oblik açısından örnek aşama reaktörün aşağı doğru |
|
Örnek aşaması |
Elektrikli kaldırma suyu soğutmalı substrat platformu Φ100 mm, ayarlanabilir yükseklik aralığı 0 ~ 70 mm |
|
Molibden substrat çapı ≥50 mm olduğunda, plazma ateş topu tüm substrat aşamasını 5000 W ve 180 torr değerinde kaplayabilir |
||
Substrat Sıcaklığı 250~1400ºC Proses parametrelerine bağlı olarak |
||
Gaz kanalı |
Debiölçer ve akış kumanda valfi Japonya'dan ithal edilmiştir |
|
Sistem tarafından sağlanan 4 kanallı MFC |
||
4MFC maksimum akış: H2:1000 sccm, CH4:100 sccm, O2:20 sccm, N2:2 sccm |
||
Sıcaklık ölçüm sistemi |
Alman Raytek kızılötesi sıcaklık ölçüm sistemi, sıcaklık aralığı: 300 ~ 1300 ºC |
|
Sistem yazılımı |
PLC kontrollü 15 inç dokunmatik ekran, kullanıcı dostu çalışma arayüzü |
|
Sistem iki kullanıcı seviyesini destekler: Mühendis ve operatör ve kullanıcı yetki yönetimi işlevi sağlar |
||
Sistemde su eksikliği, hava eksikliği, güç kaynağı faz arızası, ateş topu atlama, aşırı sıcaklık aşırı yükü, ateşleme vb. gibi otomatik koruma bulunur |
||
10'e kadar proses reçeleri ayarlanabilir, her sette 40 sıra veri bulunur, üretim süreci süreç reçeteleri tarafından otomatik olarak kontrol edilir ve işlem verileri U disk ile yedeklenebilir ve dışa aktarılabilir |
||
Sistem, kullanıcıların kolayca çalıştırabilmesi için tam otomatik hava çıkışı, ateşleme, ısıtma, soğutma ve önceden ayarlanmış diğer süreçlerle birlikte gelir |
||
Tam otomatik sıcaklık kontrolü ve hava basıncı kontrolü büyük ölçüde azalır sistem operatörlerinin iş yükü |
Ekipman fotoğrafları:
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler