Düşük Sıcaklık Sapması Plazma Pecvd Dielektrik Filmleri Graene Furnace

• Application: Industry, School, Lab
• özelleştirilmiş: özelleştirilmiş
• Certification: CE, TUV
• Structure: Desktop
• Material: Aluminum
• Type: Tubular Furnace
• Hayır. Modeli.: CY-O1200-4CPECVD
• çıkış gücü: 5 w
• yansıma gücü: maks 200 w
• gürültü: 50 db
• eşleştirme: otomatik
• tüp boyutu: özelleştirilmiş
• Taşıma Paketi: Wooden Box
• Teknik Özelikler: OD. 60mm
• Ticari Marka: CYKY
• Menşei: Zhengzhou, China
• HS Kodu: 85141090
• Üretim Kapasitesi: 2100 Sets Per Month

Ürün Açıklaması

CVD için kullanılan plazma Gelişmiş kimyasal buhar Deposition PECVD fırın grafik büyüme     

Giriş
 CY-PECVD-E uygun fiyatlı ve kompakt bir PE-CVD'dir  (Plazma Gelişmiş kimyasal buhar Dengisi) tüp fırını
otomatik kaydırılabilir mekanizmalı sistem.  300W RF plazma jeneratör, 2 inç O.D ayrık tüp fırını ve  
dahili kayar ray, ön ısıtma ve kaydırma yapmanızı sağlar 'ınızı almak için örnek bölgeye fırını verin örnek
yüksek sıcaklık altında anında pozlama.  Bu sistem, opsiyonaller ile gelişmiş modele güncellenebilir.  İdeal bir araçtır
 araştırmacı için sınırlı bütçeye uygun yenilikler yapmak.
    SiOx, SiNx, SiOxNy ve Amorfoz silikonu (a-si:H) dahil olmak üzere çok çeşitli malzeme pozisyonlarını yapmak için kullanılabilir
konum.
 Teknik özellik

Otomatik kaydırılabilir bölünmüş Tüp fırını	Giriş gücü: 208-240V AC, 1,2kW 1200°C < 60 dakika boyunca maksimum çalışma sıcaklığı Sürekli ısıtma için maks. 1100°C Yüksek saflıkta kuvars tüpü 2" OD x 1.7" ID x 39.4" Uzunluk   30 segmentli programlanabilir hassas dijital sıcaklık kontrolörü 8 inç (200 mm), tek bölge.  1000°C'de 2.3 inç (60 mm) (+/- 1°C   Tüp fırını parçası otomatik kayan RTP tüp fırınıdır ve kolay kullanım için dokunmatik ekran kontrol cihazına sahiptir. Kaydırma hızı otomatik kaydırma kontrolü ile kontrol edilebilir.
Plazma RF Jeneratörü	Çıkış Gücü:      5 W ±%1 stabilite ile ayarlanabilir RF frekansı:      13.56 MHz ± %0.005 stabilite Yansıma Gücü:   200 W maks Eşleştirme:         Otomatik RF Çıkış Portu:    50 Ω, N tipi, dişi Gürültü:            50 dB'dir.   Soğutma:           Hava soğutma. (talep üzerine su soğutması sağlanır ve su soğutucu  ayrı olarak sipariş edilebilir) Güç:           208 VAC, 50 Hz
Vakum flanşı ve bağlantı parçaları	Vakum flanş seti paslanmaz çelikten 304 üretilmiştir.   Sol flanş grubunda bir KF-25 vakum portu, iki KF-25 hızlı kelepçe, bir KF-25 sağ açılı valf, bir KF-25 vakum körüğü, bir flanş desteği 1/4 O.D hortum bağlantısı ve bir iğne valf bulunur. Sağ flanş grubu bir dijital pirani göstergesi, 1/4 O.D boru bağlantısı, 1/4" besleme ve bir iğne valf içerir.
Vakum pompası	AC 220 V 50 HZ 1 HP 375 W 2 litre/S veya 120 litre/m   Yağ tutucu (giriş) ve egzoz filtresi (çıkış) takılıdır. Maks. Vakum: Turbo pompalı 10-6 torr 0.1 Pa'dan daha düşük vakum derecesi için lütfen paletli döner vakum pompasını 760 torr.
Ürün Boyutları	Net ağırlık: 350 lb Nakliye ağırlığı: 480 lb
İsteğe bağlı	Lütfen bütçenize göre gaz dağıtım sistemlerini seçin   Düşük maliyetli Kompakt korozyon Önleyici üç Kanallı Gaz Karıştırıcısı Kompakt sıvı Buharlaştırma Sistemleri Üç kanallı MFC Gaz Kontrol Sistemi   Sabit sıcaklık kontrol modülü
Garanti	Kaldırma süresi desteğiyle bir yıllık sınırlı garanti (İşleme tüpleri, o-halkalar ve ısıtma elemanları gibi sarf malzemeleri  garanti kapsamında değildir,  lütfen aşağıdaki ilgili ürünlerden yedek parça sipariş edin.)
Uyumluluk	CE Sertifikalı  Sıcaklık kontrolörü KARŞILANDI ve CE Sertifikalı
Uyarı	Kuvars tüplü tüp fırınları , saban izi odasını yükselten vakum altında ve düşük basınç < 0.12 MPa (mutlak basınç) kullanılacak ve güvenli bir çalışma sağlayacak şekilde tasarlanmıştır.

Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd, bilimsel araştırmalarda kullanılan ekipmanların araştırma ve geliştirme, tasarım, üretim ve satışına büyük ölçüde katkıda bulunmaktadır. Şirketin tenet'i bağımsızlık ve yenilik. Ana ürünlerimiz arasında  tüp fırını, müreffek fırını, plazma temizleyici, elektrikli fırın, atmosfer fırını, CVD sistemi ve özelleştirilmiş ürünler yer alıyor
laboratuvar ekipmanı. Bizi ziyaret etmeye hoş geldiniz.