Laboratuvar DC/RF Çift Kafalı 2 inç Manyetron Plazma Sputtering Coater-Cy-600-2HD

• Satış Sonrası Hizmet: çevrimiçi video
• Garanti: 1 yıl
• Özelleştirilmiş: Özelleştirilmiş
• Yapı: Masaüstü
• Malzeme: Çelik
• Sertifika: CE, tuv (tuv
• Hayır. Modeli.: CY-600-2HD
• Uygulama: Okul, Laboratuvar
• Tip: plazma
• ağırlık: 160 kg
• giriş gücü: 220 vac 50 hz
• dc kaynağı: 500 w
• rf kaynağı: 600 w
• gaz akışı kontrolü: 200 ml/dak maks
• Taşıma Paketi: Ply Wooden Carton
• Teknik Özelikler: 1600
• Ticari Marka: CYKY
• Menşei: Zhengzhou
• HS Kodu: 8486109000
• Üretim Kapasitesi: 20 Sets/Month

Ürün Açıklaması

Breif'ye Giriş

 CY-600-2HD, çift 2 inç hedef kaynağa sahip kompakt bir manyetron sallama sistemidir. Metal film kaplaması için DC kaynağı ve metalik olmayan malzeme kaplaması için diğer RF kaynağıdır. Bu kaplama sistemi, alaşım, ferroelektrik, yarı iletken, seramik vb. film kaplamaları için tasarlanmıştır

Teknik Parametreler

Giriş Gücü	1,220 VAC 50/60 Hz, tek fazlı 2,2000W  ( pompa dahil)
Kaynak Gücü	1.       İki sızma güç kaynağı tek bir kontrol kutusuna entegre edilmiştir
	2. DC kaynağı:    Metal malzemelerin kaplanması için 500 W
	3.RF kaynağı: Metalik     olmayan malzemelerin kaplanması için otomatik yol verme ile 600W ( Merkez)
	4.Compact 300 RF kaynağı    ekstra ücret karşılığında mevcuttur
Manyetron Püskürtme  Kafası	1.       Su soğutmalı ceketli iki adet 2" Manyetron Püskürtme Kafası   dahil   İletken         olmayan malzemeler için RF güç kaynağına bağlanır   Bir diğeri         kaplama için DC sputtering güç kaynağına bağlıdır  metalik malzemeler
	2.Hedef boyut gereksinimi: 2" çap
	3.Kalınlık Aralığı:       Hem metalik hem de iletken olmayan hedefler için 0.1 - 5 mm
	4. bir paslanmaz çelik ve  bir Al2O3 seramik hedef  dahildir   demo testi için
	5.Baş Su Soğutma: 10 ml/dak . Su akışı ve   16 ml/dak . Dijital   her        iki manyetronu soğutmak için kontrollü devridaim yapan su soğutucu dahildir  göz alıcı  başlıklar
	6.Özel koltuk:    Kablosuz iki DC kafa, RF yaylım,  RF kafa    DC sputering,      istek üzerine 3 RF başlığı mevcuttur
Vakum Odası	1.vakum Odası: 300 mm Çap x 300 mm yükseklik,   paslanmaz çelikten yapılmıştır
	2.Gözlem Penceresi:  100 mm çap
Numune tutucu	1.Numune tutucu boyutu: Için 140mm çap   4 inç yonga plakası maks
	2.Numune tutucu dönüş hızı  ayarlanabilir:      Tek tip kaplama için 1 - 20 dev/dak
	3. Tutucu sıcaklığı    RT ile 500°C arasında ayarlanabilir Maks  ile   Hassaslık +/- 1.0 °C
Gaz Akışı Kontrolü	1.Akış hızı:  200 ml/dak . Maks
	2.Akış hızı     6 inç dokunmatik ekran kontrolü ile ayarlanabilir  panel
Vakum pompası İstasyonu	Yüksek hızlı turbo vakum pompası sistemi  doğrudan  üzerine takılır   vakum    maks . vakum seviyesi için bölme
	Ağır hizmet tipi çift kademeli mekanik pompa    turboya bağlıdır    daha hızlı pompalama   pompa devri
	Mobil pompa istasyonu  ve   kompakt sputtering koater dahildir     giylenebilecek   i̇stasyon üstü
	Maks . Vakum seviyesi: -6^10 torr  ve oda pişirme
Kalınlık Monitörü	Bir adet Hassas kuvars kalınlık sensörü odaya dahil edilmiştir    kaplamayı izlemek için    Hassasiyetle kalınlık  0.10 Å
	LED Ekran Ünitesi  odanın dışında :
	Birlikte verilen veri tabanına göre kapanacak giriş malzemesi
	Toplam kaplamalı kalınlığı ve  kaplama hızını göster
	5 adet kuvars sensör (sarf malzemesi)  dahildir
	Su soğutması  gerekir
Genel Boyutlar	U 6600 mm × G660 mm × Y 1200 mm
Uygulama Notu	Odadan oksijen çıkarmak için     %5 Hytrojen +  %95 kullanmanızı tavsiye edin   Nitrojenden  klan haznesine 2-3 kez gitmesi    oksijeni   10 ppm'nin altına düşürür
	Lütfen plazma sputtering için > 5N saflık Argon gazı kullanın.     5N saflık AR'ı olsa da genellikle  10 - 100 ppm oksijen ve H2O içerir
Net Ağırlık	160 kg
Garanti	Ömür boyu destek ile bir yıllık sınırlı garanti