Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Denetlenen Tedarikçi MPCVD tekli kristal elmas depozisyon ekipmanı
MPCVD mikrodalga plazma kimyasal buhar boşaltma (MPCVD) sistemi temel olarak tekli kristal elmas ve poli kristal elmas filmlerde, elmas büyümüş, elmas film kimyasal buhar depozisyon (CVD), malzeme yüzey işleme ve modifikasyonu, düşük sıcaklık oksit büyümesi ve diğer alanlarda kullanılır.
Uygulama
Yüksek kaliteli tek kristal elmas hazırlama;
Yüksek kaliteli polikristalli serbest duran elmas filmlerin hazırlanması;
Yüksek kaliteli polikristalli elmas filmlerin hazırlanması;
Grafik, karbon nanomestler, doluluk dolusu ve elmas filmler gibi çeşitli karbon nano filmlerin hazırlanması.
Özellikler
1) Yüksek üretim verimliliği, büyük çıktı, yüksek kalite, 7 * 7--81 elmas, 8 * 8--65 elmas, 9 * 9 --51 elmaslar, 10 * 10--42 elmaslar, 12 * 12--26 elmaslar, 15 * 15--17 elmaslar
Farklı boyutlarda, farklı elmas sayısı.
2) Ekipman endüstriyel üretime ulaşmıştır. Molibden aşaması 90 mm geniştir ve hızlı büyüme hızı, yüksek verim oranı ve iyi stabilite sağlar.
3) Ekipman şu anda hem yurtiçi hem de yurtdışında tek kristal elmas üretimine ulaşmayı sağlayan ilk ana ekipmandır. İşlenen bileşenlerin hassasiyeti ve kalitesi son derece yüksektir.
4) ekipmanlarımızın işleme kalitesi oldukça mükemmel. Müşterilerin nitelikli ürün üretmesini sağlamak için gelişmiş üretim teknolojisiyle donatılmıştır.
Teknik özellikler
| Vakum | Vakum ölçümü | Piezo dirençli gösterge 0.1-100kpa Kapasitans göstergesi 0-1000Pa |
| Çalışma basıncı aralığı | 4 kPa | |
| Vakum sızıntı oranı | 1 * 10-9 Pa·m 3 /s | |
| Basınç kontrolü | Otomatik Kontrol | |
| Boşluk malzemesi | Alüminyum alaşım uyarma odası, kuvars vakum odası | |
| Gözlem penceresi | 10 mm çaplı sıcaklık ölçüm deliği ve gözlem penceresi delikli | |
| Soğutma modu | Soğutma modu | Su soğutma + hazne hava soğutma |
| Örnek tablo boyutu | Molibden kademe Φ 85 mm, tek tip alan Φ 50 mm | |
| Sıcaklık ölçümü | Kızılötesi termometre, aralık 300-1400 ºC | |
| Soğutma suyu akışı | 50 L/dak | |
| Soğutma suyu sıcaklığı | 20 ºC | |
| Soğutma suyu arabirimi | 1 inç dış kablo arabirimi | |
| İşletim sistemi | İşletim sistemi | PLC kontrolü, 15 inç dokunmatik ekran kontrolü |
| İşlem Menüsü | 10 i̇şlem menüsü, her biri için 25 satır | |
| Mikrodalga ve güç kaynağı | Mikrodalga frekansı | 2.45 ± 0,1 GHz |
| Çıkış gücü | 1.5-10Kw (10 kw ev tipi mikrodalga güç kaynağı ile donatılmıştır) | |
| Giriş gücü elektrik | 380 AC/50 Hz, üç fazlı beş kablo (3 * 10 + 2 * 6 güç hattı), > 15 kW | |
| Mikrodalga sızıntı hızı | Mikrodalga sızıntı hızı ekipmandan 5 cm veya daha fazla mesafede | |
| Proses gazı | Akış ölçer ve arabirim | H2 (1000SCCM) CH4 (50SCCM) N2 (10SCCM) O2 (10SCCM) 1/4 INÇ VCR Dişi basınçlı hava 8 mm PU boru hızlı fiş |
| Akış ölçer, içinden kullanılan gazın tipini değiştirebilir yazılım | ||
| Hava besleme basıncı | 0.3 MPa | |
| Basınçlı hava basıncı | 0.5 MPa | |
| Vakum pompası | Döner kanatlı vakum pompası | Yağ pompası |
| Pompalama hızı | 4 L/SN | |
| Güç kaynağı | AC 380 V (±%10) | |
| Arabirim | Hava çıkışı KF25, hava çıkışı KF25 | |
| Çalışma ortamı | Ortam sıcaklığı ve nem | Oda sıcaklığı 26 ºC'nin altında ve nem oranı %40'den düşük |
| Genel boyutlar | Boyut | 1250 (U) × 800 (G) × 2100 (Y) MM |
| Ekipman kabul koşulları: | 1.Ekipman kurulumu: Ekipman kurulumu tamamlandıktan sonra, A ve B Partisi tesis içi devreye alma işlemini yürütür ve B Partisi teknisyenleri A Partisinden sorumlu kişi için ekipman kullanımı, güvenlik ve bakım eğitimi yürütür | |
| 2. Sistem testi: Sistem normal şekilde başlatılabiliyor ve çalıştırılabiliyor ve yerinden çıkmış ateş topu atlamadan sabit. | ||
| 3. Mikrodalga sızıntısı: Mikrodalga sızıntısı 5mW/cm2'den azdır (mikrodalga kaynağının çıkış gücü %80'den, ekipmandan 10 cm uzaktır) | ||
İletişim Bilgileri:
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Denetlenen Tedarikçi 
