Application: | Industry, School, Lab |
---|---|
Customized: | Customized |
Certification: | CE |
Structure: | Desktop |
Material: | Stainless Steel |
Type: | Tubular Furnace |
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Yüksek kaliteli 1200C Mini grafik hazırlığı CVD vakum tüpü fırını satılık
Bu CVD sistemi, yüksek hassasiyetli kütle akış ölçer ve ince film vakum göstergesi ile donatılmış 1200ºC mini tüp fırını kullanan grafik üretimi için özel olarak tasarlanmıştır. Geleneksel Pirani direnç göstergesine kıyasla ince film ölçerin değeri doğrudur ve vakum kaplama işlemi için çok uygun olan gaz türünden etkilenmez. Aynı zamanda ekipmanda, hava çıkışında bir solenoid valfe bağlı olan bir yanıcı gaz algılama cihazı bulunur. Sızıntı olduğunda, güvenliği sağlamak için solenoid valf kapatılabilir.
Bu ekipman seti az yer kaplar ve CVD'nin laboratuvar hazırlığı için çok uygundur.
1200ºC Mini Tüp Fırını Parametreleri: |
|
Besleme gerilimi |
AC220V Hz |
Maksimum güç |
2 KW |
Isıtma bölgesi |
Tek ısıtma bölgesi 200 mm |
Sabit sıcaklık bölgesi uzunluğu |
100 mm |
Isıtma elemanı |
Isıya dayanıklı alaşım tel |
Termokupl |
K tipi |
Çalışma sıcaklığı |
≤ 1150ºC |
Isıtma oranı |
≤ 10ºC/dak tavsiye edin |
Sıcaklık kontrolü doğruluğu |
±1 ºC |
Sıcaklık kontrolü yöntemi |
Aşırı ısınma ve yanmalara karşı korumalı AI-PID 30 segmentli işlem eğrisi |
Fırın borusu malzemesi |
Yüksek saflıkta kuvars |
Fırın borusu boyutu |
Φ50 mm O.D x 450 mm U |
Vakum pompası |
Mekanik pompa pompa pompa pompa pompa devri 1,1 L/sn |
Üstün vakum |
5 Pa |
Üç kanallı kütle akış ölçer parametreleri: |
|
Valf tipi |
Paslanmaz çelik iğne valfi |
Gaz yolu sayısı |
Üç |
Basınç aralığı |
0.05 ~ 0,3 MPa |
Aralık |
AR 0 ~ 500 sccm H2 0 ~ 200 sccm CH4 0 ~ 10 sccm |
Akış kontrol aralığı |
±%1.5 |
Karıştırma tankı hacmi |
750 ml |
Gaz yolu malzemesi |
304 paslanmaz çelik |
Boru arabirimi |
6,35 mm yüksük konektör |
Güç kaynağı |
AC220V 50 Hz |
Mini CVD tüp fırın resimleri:
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler