Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Denetlenen Tedarikçi |
Ürün adı |
Geçiş odalı çift hedef manyetron sputtering kovası |
|
Ürün modeli |
CY-MSP325G-2T-DVC-2DC (çift vakum haznesi) |
|
Kurulum koşulları |
1. Çalışma ortamı sıcaklığı 25ºC ± 15ºC, nem %55 RH ±%10 RH; 2. Ekipman güç kaynağı: AC220V, 50Hz, iyi topraklanmış olmalıdır; 3. nominal güç: 5000W; 4. Ekipman gazı: Ekipman bölmesinin temizlik için argon ile doldurulması ve müşterinin argon hazırlaması gerekir; saflık derecesi ≥ %99.99; 5. mekanın büyüklüğü 1200 mm × 1200 mm × 2000 mm'dir; 6. Yerleştirme konumu iyi havalandırma ve ısı yayılımı gerektirir. |
|
Teknik parametreler |
1. Dallandırıcı güç kaynağı: DC güç kaynağı 500W x2; maksimum çıkış gerilimi 600V, sınır çıkış akımı 1000mA 2. Manyetron hedefi: Manyetik bağlantılı deflektör ile 2 inç dengeli hedef; 3. Manyetron hedefi için geçerli hedef malzeme: Φ50mm x 3mm kalınlığında iletken metal hedef malzemesi 4. boşluk boyutu: Ana boşluk φ325mm x 410mm; geçiş boşluğu 150x150x150mm 5. Oda fonksiyonu: Ana odada bir sızdırmazlık halkası ile sızdırmaz yan kapı, deflektör ile kuvars gözlem penceresi ve numune aktarımı için manuel çalıştırma çubuğu bulunur. Geçiş odasında bir sızdırmazlık halkası ile sızdırmaz hale getirilerek kuvars pencereli bir üst kapak, ana bölmeye numune taşımak için manyetik bağlantılı bir itme çubuğu ve bağımsız bir vakum sistemi bulunur. 6. boşluk malzemesi: Paslanmaz çelik 304 7. döner ısıtma numune tablosu: Devir 1 ila 20 dev/dak arasında sürekli olarak ayarlanabilir; ısıtma sıcaklığı 500°C'ye kadar ve ısıtma hızı 10°C/dak ve maksimum sıcaklık 20°C/dak'dır 8. Soğutma yöntemi: Manyetron hedef ve moleküler pompanın devridaim yapan su soğutucusuna ihtiyacı vardır; 9. Su soğutucu: Su deposu hacmi 9 L, akış hızı 10 L/dak 10.Gaz besleme sistemi: Kütle akış ölçer, gaz tipi AR gaz, akış hızı 1~200sccm (özelleştirilebilir); 11.Akış metre doğruluğu: ±%1.5 aralığı 12. vakum odasının pompalama arabirimi CF160'dir; 13. Hava giriş arabirimi 1/4 inçlik bir çift yüksfer mafsalıdır; 14. Ekran, 14 endüstriyel bilgisayar hepsi bir arada bilgisayardır; 15. Sputtering akımı ayarlanabilir ve sputtering güvenli akım değeri ve güvenli vakum değeri ayarlanabilir; 16. Güvenlik koruması: Aşırı akım ve vakum çok düşük olduğunda, hava akımı otomatik olarak kesilir; 17. vakum sistemi: Ana odada , 600 L/sn pompalama hızına sahip bir CY-GZK103 yüksek vakum moleküler pompa bulunur; geçiş odasında 60 L/sn pompalama hızına sahip küçük bir moleküler pompa bulunur İki vakum sistemi seti bağımsız olarak çalışabilir ve kontrol edebilir. Hazneler ve vakum sistemindeki pnömatik valflerin tümü , kullanışlı ve hızlı tek tuşla işlem gerçekleştirebilen programlarla kontrol edilir. 18.Ultimate vakum: 5E - 4Pa (moleküler pompalı); 19. vakum ölçümü kompozit bir vakum göstergesidir ve aralığı 10 Pa ~ 105 Pa'dır |
|
Önlemler |
1. daha yüksek oksijensiz bir ortam elde etmek için vakum odası en az 3 kez yüksek saflıkta soy gaz ile temizlenmelidir. 2. Manyetron titrme, giriş havası hacmine daha duyarlıdır ve giriş havası hacmini kontrol etmek için kütle akış ölçerin kullanılması gerekir. 3. Ekipman kullanımda değilken boşluğu vakumda tutun. 4. Uzun bir süre boyunca elektrik süpürgesiyle temizlenmezse , vakum performansını artırmak için tekrar kullanıldığında gaz tahliye edilmelidir. |
|
İsteğe bağlı aksesuarlar |
|
|
Film kalınlığı monitörü |
1.Film kalınlığı çözünürlüğü:0,0136Å (alüminyum) 2.Film kalınlığı doğruluğu: ±%0.5, proses koşullarına, özellikle sensörün konumuna, malzeme gerilime, sıcaklığa ve yoğunluğa bağlı olarak 3. Ölçüm hızı: 100ms-1s/zaman, ölçüm aralığı 500000Å (alüminyum) olarak ayarlanabilir 4. Standart sensör kristali: 6 MHz 5. geçerli yonga frekansı: 6 MHz geçerli yonga boyutu: Φ14 mm Montaj flanşı: CF35 |
|
Diğer aksesuarlar |
1. CY-CZK103 serisi yüksek performanslı moleküler pompa seti (bileşik vakum göstergesi, 10 Pa ~ 105 Pa ölçüm aralığı dahil); CY-GZK60 serisi küçük moleküler pompa seti (bileşik vakum göstergesi dahil, ölçüm aralığı 10 Pa~102Pa) VRD-4 bipolar döner kanatlı vakum pompası; 2. KF25/40 vakum körüğü; uzunluk 0,5 m, 1 m, 1,5 m olabilir; KF25 kelepçe braketi 3. Film kalınlığı ölçerin kristal osilatörü; |
İletişim Bilgileri: 
Doğrulanmış işletme lisanslarına sahip tedarikçiler
Denetlenen Tedarikçi 
