DC/RF Çift Kafalı Yüksek vakum Manyetron Plazma Sputtering Sistemi ve Kalınlık İzleme

• Customized: Customized
• Structure: Desktop
• Material: paslanmaz çelik
• Certification: CE, TUV
• Application: Lab
• Type: Measurement Type
• Hayır. Modeli.: CY-VTC-600-2HD
• dc kaynağı: 500 w
• rf kaynağı: 600 w
• vakum odası: paslanmaz çelik
• gaz akışı kontrolü: kütle akış ölçer
• garanti: bir yıl
• Taşıma Paketi: Wooden Box
• Teknik Özelikler: 300 mm Dia x 300 mm height
• Ticari Marka: CY
• Menşei: Zhengzhou, China
• HS Kodu: 85141090
• Üretim Kapasitesi: 120 Sets/Month

Ürün Açıklaması

Çift Kafalı Manyetron Plazma Püskürtme sistemi  /Manyetron Çuplayan Koater
Kısa tanıtım
VTC-600-2HD, metalik film kaplama için bir DC kaynağı ve metalik olmayan malzeme kaplaması için bir başka RF kaynağı gibi çift 2 inç hedef kaynağı olan kompakt bir manyetron sallama sistemidir. Kullanıcının işlemi kolayca kontrol edebilmesini sağlamak için bir film kalınlığı takipçisi bulunur. Bu su kaması, alaşım, ferroelektrik, yarı iletken, seramik, Dielektrik, optik, PTFE vb. düşük maliyetle.  
 
Teknik özellik
 

Giriş Gücü	220 VAC 50/60 Hz, tek fazlı 2000 W (pompa dahil)
Kaynak Gücü	İki ayrı güç kaynağı tek bir kontrol kutusuna entegre edilmiştir DC kaynağı: Metal malzemelerin kaplanması için 500W RF kaynağı: Metalik olmayan malzemelerin kaplanması için otomatik olarak yol verme ile 600W (Merkez) Kompakt 300 RF kaynağı ekstra maliyetle mevcuttur
Manyetron Püskürtme Kafası	Su soğutmalı ceketlere sahip iki adet 2" Manyetron Püskürtme Kafası dahil İletken olmayan malzemeler için RF güç kaynağına bağlanır Bir diğeri kaplama için DC sputtering güç kaynağına bağlıdır metalik malzemeler Hedef boyut gereksinimi: 2" çap Kalınlık Aralığı: Hem metalik hem de iletken olmayan hedefler için 0.1 - 5 mm Bir adet paslanmaz çelik ve bir adet Al2O3 seramik hedef dahildir demo testi için Kafa suyu Soğutma: 10 ml/dak su akışı gerekir ve her iki manyetron damlama kafasını soğutmak için bir adet 16 ml/dak dijital olarak kontrol edilen devridaim yapan su soğutucu dahildir Özelleştirilmiş koltuk: Kablosuz iki DC kafa, RF yayılma, DC yaymasız RF kafa, istek üzerine 3 RF kafa mevcuttur
Vakum Oda	Vakum Odası: 300 mm Çap x 300 mm yükseklik, paslanmaz çelikten yapılmıştır Gözlem Penceresi: 100 mm çap Havalı yay spor yapbozlar ile üst kısımda menteşeli tip kapak kolay hedef değiştirme
Numune tutucu	Numune tutucu boyutu: Için çapı 140 mm 4 inç yonga plakası maks   (ayrıca, sizin gereksiniminiz olarak da tasarlanabilir) Numune tutucu dönüş hızı ayarlanabilir: Tek tip kaplama için 1 - 20 dev/dak Tutucu sıcaklığı RT ile 500°C arasında ayarlanabilir Maks /- 1.0°C hassasiyetle
Gaz Akışı Kontrol	İki hassas dijital MFC (kütle akış kontrolörü) i̇ki  tip gazın takılabilmesini sağlamak için takılır doldurduğu Akış hızı: 200 ml/dak maks Akış hızı 6 inç dokunmatik ekran kontrolünde ayarlanabilir panel
Vakum pompası İstasyon	Yüksek hızlı turbo vakum pompası sistemi (Almanya'da üretilmiştir), maksimum vakum seviyesi için doğrudan vakum haznesine takılır Ağır hizmet tipi çift kademeli mekanik pompa turboya bağlıdır daha yüksek pompa hızı için pompa Mobil pompa istasyonu ve kompakt sputtering koater dahildir i̇stasyonun üstüne konabilir Maks. Vakum seviyesi: -6^10 torr ve oda pişirme
Kalınlık İzleme	Bir adet Hassas kuvars kalınlık sensörü odaya dahil edilmiştir Kaplama kalınlığını 0.10 Å hassasiyetle izlemek için LED Ekran Ünitesi odanın dışında 5 adet kuvars sensör (sarf malzemesi) içinde oluyorsun Birlikte verilen veri tabanına göre kapanacak giriş malzemesi Toplam kaplamalı kalınlığı ve kaplama hızını göster Su soğutması gerekir
Genel Boyutlar	U 1300 mm × G660 mm × Y 1200 mm
Net Ağırlık	160 kg
Garanti	Ömür boyu destek ile bir yıllık sınırlı garanti
Uygulama Notu	Odadan oksijen çıkarmak için 2-3 kez %5 Hytrojen + %95 Nitrojen kullanmanızı tavsiye edin; bu, oksijeni 10 ppm'nin altına düşürebilir Lütfen plazma sputtering için > 5N saflık Argon gazı kullanın. 5N saflık AR'ı olsa da genellikle 10 - 100 ppm oksijen ve H2O içerir

Paket



Servis
1.en iyi kalitede fabrika fiyatları.
2.tüm dental ekipman için bir yıllık ücretsiz bakım
3.Özel talep için özelleştirilmiş servis
4.Hızlı ve esnek dağıtım, deniz, hava, ekspres
5.24 saat içinde hızlı yanıt
Nasıl sipariş vermeliolur
1.ürünlerimizle ilgileniyorsanız lütfen model numarasını ve miktarını belirtin.
2.Siparişleriniz için bir proforma fatura hazırlayacağız.
3.Ödeme alındığında ürün ASAP'si teslim edeceğiz
Sağlanamayacağı
1.Sevkıyattan sonra bir yıl garanti.
Ödeme
1.Western Union
2.PayPal
3.Alibaba ile Güvenli Ödeme
4.Telegrafik aktarım
5.L/C

Fabrika

Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd, bilimsel araştırmalarda kullanılan ekipmanların araştırma ve geliştirme, tasarım, üretim ve satışına büyük ölçüde katkıda bulunmaktadır. Şirketin tenet'i bağımsızlık ve yenilik. Ana ürünlerimiz arasında  tüp fırını, mücaz fırını, plazma temizleyici, elektrikli fırın, atmosfer fırını, CVD sistemi ve özelleştirilmiş laboratuvar ekipmanları yer alıyor. Bizi ziyaret etmeye geldiniz.  


Sergiye